一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒。
【背景技術(shù)】
[0002]目前為降低單晶生長成本，最有效的辦法就是降低熱場(chǎng)消耗和提高晶體的生長技術(shù)。單單使用內(nèi)外導(dǎo)流筒并不能有效降低熱場(chǎng)的熱量損失。另外，在提拉單晶生長工藝過程中，保護(hù)氣從爐頂進(jìn)入到爐體中，若單晶棒與導(dǎo)流體之間的氣流流動(dòng)不穩(wěn)定，將會(huì)引起單晶棒的晃動(dòng)，從而影響單晶的正常生長。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒。
[0004]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒本體為倒錐臺(tái)形，包括外導(dǎo)流筒和內(nèi)導(dǎo)流筒，所述的外導(dǎo)流筒和內(nèi)導(dǎo)流筒之間設(shè)有填充保溫隔熱材料的空腔，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒含有真空腔，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒內(nèi)壁還設(shè)有起導(dǎo)流保溫作用的導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)流筒的下端部內(nèi)外兩側(cè)均設(shè)有呈環(huán)狀均勻分布的若干分流槽。
[0006]所述分流槽的徑向界面為拱形或其他形狀。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:內(nèi)導(dǎo)流筒的真空腔、內(nèi)導(dǎo)流筒與外導(dǎo)流筒之間的空腔填充的保溫材料、內(nèi)導(dǎo)流筒設(shè)置的倒流保溫層結(jié)構(gòu)，這些都有有效地減少了熱場(chǎng)熱量損失，起到保溫隔熱的作用；分流槽的設(shè)置改變保護(hù)氣的流動(dòng)形態(tài)，穩(wěn)定了保護(hù)氣的流動(dòng)，降低氣體的流動(dòng)對(duì)單晶生長的影響。以上都有效提聞了單晶生長的穩(wěn)定性，提聞了生廣效率。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本發(fā)明分流槽結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]附圖中，I為導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)，2為真空腔，3為內(nèi)導(dǎo)流筒，4為空腔，5為外導(dǎo)流筒，6為分流槽，7為導(dǎo)流筒本體。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明；
[0012]參見圖1、圖2所示，一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒本體7為倒錐臺(tái)形，包括外導(dǎo)流筒5和內(nèi)導(dǎo)流筒3，所述的外導(dǎo)流筒5和內(nèi)導(dǎo)流筒3之間設(shè)有填充保溫隔熱材料的空腔4，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒3含有真空腔2，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒3內(nèi)壁還設(shè)有起導(dǎo)流保溫作用的導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)1，所述導(dǎo)流筒7的下端部內(nèi)外兩側(cè)均設(shè)有呈環(huán)狀均勻分布的若干分流槽6。
[0013]所述分流槽6的徑向界面為拱形或其他形狀。
[0014]在本發(fā)明中，分流槽6為12個(gè)均勻分布，徑向界面為拱形。
[0015]內(nèi)導(dǎo)流筒3的真空腔2、內(nèi)導(dǎo)流筒3與外導(dǎo)流筒5之間的空腔4填充的保溫材料、內(nèi)導(dǎo)流筒3設(shè)置的導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)1，這些都有有效地減少了熱場(chǎng)熱量損失，起到保溫隔熱的作用；導(dǎo)流筒7內(nèi)外兩側(cè)分流槽6的設(shè)置改變保護(hù)氣的流動(dòng)形態(tài)，穩(wěn)定了保護(hù)氣的流動(dòng)，降低氣體的流動(dòng)對(duì)單晶生長的影響。以上都有效提聞了單晶生長的穩(wěn)定性，提聞了生廣效率。
[0016]本發(fā)明并不局限于所述的實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒本體(7)為倒錐臺(tái)形，包括外導(dǎo)流筒(5)和內(nèi)導(dǎo)流筒(3)，所述的外導(dǎo)流筒(5)和內(nèi)導(dǎo)流筒(3)之間設(shè)有填充保溫隔熱材料的空腔(4)，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒(3)含有真空腔(2)，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒(3)內(nèi)壁還設(shè)有起導(dǎo)流保溫作用的導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)(I)，其特征在于:所述導(dǎo)流筒(7)的下端部內(nèi)外兩側(cè)均設(shè)有呈環(huán)狀均勻分布的若干分流槽(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒，其特征在于:所述分流槽(6)的徑向界面為拱形或其他形狀。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種改進(jìn)型單晶爐熱屏導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒本體為倒錐臺(tái)形，包括外導(dǎo)流筒和內(nèi)導(dǎo)流筒，所述的外導(dǎo)流筒和內(nèi)導(dǎo)流筒之間設(shè)有填充保溫隔熱材料的空腔，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒含有真空腔，所述的內(nèi)導(dǎo)流筒內(nèi)壁還設(shè)有起導(dǎo)流保溫作用的導(dǎo)流保溫層結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)流筒的下端部內(nèi)外兩側(cè)均設(shè)有呈環(huán)狀均勻分布的若干分流槽。內(nèi)導(dǎo)流筒的真空腔、內(nèi)導(dǎo)流筒與外導(dǎo)流筒之間的空腔填充的保溫材料、內(nèi)導(dǎo)流筒設(shè)置的倒流保溫層結(jié)構(gòu)，這些都有有效地減少了熱場(chǎng)熱量損失，起到保溫隔熱的作用；導(dǎo)流筒內(nèi)外兩側(cè)分流槽的設(shè)置改變保護(hù)氣的流動(dòng)形態(tài)，穩(wěn)定了保護(hù)氣的流動(dòng)，降低氣體的流動(dòng)對(duì)單晶生長的影響,以上都有效提高了單晶生長的穩(wěn)定性，提高了生產(chǎn)效率。
【IPC分類】C30B15-00
【公開號(hào)】CN104711666
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310682433
【發(fā)明人】潘燕萍
【申請(qǐng)人】常州市天龍光電設(shè)備有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2013年12月12日