本技術(shù)涉及廢氣收集，具體的說是一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置。

背景技術(shù)：

1、在cz法中，n型重摻單晶摻雜劑主要有磷、砷和銻。銻在硅晶格中的固溶度遠小于砷和磷，因此注定銻無法使硅單晶具有特別低的電阻率值，所以需要使用砷和磷令硅單晶降低電阻率值。但是砷的氧化物為劇毒物質(zhì)、磷超標會對人體造成多種危害。所以為獲得低電阻率的硅單晶，摻磷、摻砷的硅單晶拉制必須進行一定的防護。

2、而在實際車間生產(chǎn)中，單晶爐主體分為上爐室和下爐室，也叫副爐室和主爐室。通常單晶爐主體由于在硅單晶拉制過程中揮發(fā)物多的原因，所以將副爐室設(shè)計采用平開門式結(jié)構(gòu)，以便更好的清掃揮發(fā)物，單晶爐主體采用真空系統(tǒng)，來將砷、磷等重摻單晶爐內(nèi)的雜質(zhì)揮發(fā)物、氧化物，隨抽空管道進入廢氣處理系統(tǒng)。同時為了高效的對單晶爐主體內(nèi)的廢氣進行收集，并在一定程度上增加單晶爐主體的散熱效率且降低長時間使用真空系統(tǒng)所造成的能源消耗，同時也是為了避免主爐室直接與外界接觸造成單晶爐主體的結(jié)構(gòu)損傷，以及工作人員控制副爐室與主爐室分離過程中因單晶爐主體內(nèi)過高的余溫造成人員受傷的原因，所以在使用真空系統(tǒng)抽吸大部分廢氣后，則將副爐室的平開門打開露出進出口與廢氣處理系統(tǒng)直接相連，從而達到高效收集廢氣且在一定程度上輔助單晶爐主體散熱的目的，即保持穩(wěn)定且較高的重摻單晶制備效率。

3、但是從副爐室處收集廢氣的過程中，主爐室內(nèi)的溫度會因間隔副爐室而造成溫度下降緩慢，所以持續(xù)從副爐室的平開門進出口處進行廢氣收集無疑會影響到重摻單晶制備效率，故而在副爐室的平開門進出口處進行廢氣收集并溫度降低一定程度后，則需要將副爐室與主爐室分離將主爐室與副爐室的對接口露出，進而進行更為高效的散熱以及后續(xù)的清潔工作，并且在將副爐室的對接口露出后為了進一步加速副爐室的散熱，還需將副爐室豎向移動令更多的副爐室表面從單晶爐主體中露出，進而達到進一步提高散熱效率的目的，從而保持重摻單晶的制備效率。

4、但是在主爐室的對接口露出后，主爐室還將會因主爐室的余溫以及揮發(fā)物和外界接觸仍舊排出廢氣，進而對工作環(huán)境造成污染并對工作人員造成身體傷害。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型旨在提供一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，以在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持對重摻單晶的制備效率。

2、為了解決以上技術(shù)問題，本實用新型采用的具體方案為：一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，包括收集筒以及與收集筒密封連通的輸送管，收集筒與單晶爐主體的主爐室對接口間隙配合，輸送管用于將收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒處，從而提高收集筒收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管連接有用于穩(wěn)定收集筒位置的承載架，承載架固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件上，豎向伸縮件固定連接在底座上，底座底部設(shè)有滾輪。

3、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述收集筒為圓錐筒狀，收集筒擴口端用于與主爐室對接口間隙配合，收集筒收窄端用于與輸送管密封連通。

4、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述輸送管由固定連管以及彈性管組成，固定連管一端與收集筒固定連通，固定連管另一端與彈性管密封連通，固定連管與承載架卡接，用于將收集筒定位且便于快速拆裝，彈性管用于伸縮配合固定連管令收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通。

5、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述豎向伸縮件包括與承載架固定連接的伸縮筒，伸縮筒內(nèi)滑動連接有固定柱，固定柱設(shè)置在與底座固定連接的底部架上。

6、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述底座與底部架之間設(shè)有加固桿，加固桿用于配合底座與底部架呈三角形，來保持底部架與底座的連接穩(wěn)定。

7、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述承載架包括與豎向伸縮件中伸縮筒固定連接的承載板，承載板內(nèi)滑動連接有收縮架，收縮架上固定有與輸送管配合的束縛箍。

8、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述收縮架上均勻開設(shè)有多個調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔與承載板上開設(shè)的鎖定孔適配，鎖定孔內(nèi)滑動連接有用于配合調(diào)節(jié)孔將收縮架定位的鎖定釘。

9、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述底座背離收集筒的一端固定有卡接筒，卡接筒卡接有用于輔助推動收集筒位移的推動把。

10、作為本實用新型一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置的進一步優(yōu)化，所述滾輪為具有鎖定結(jié)構(gòu)的萬向輪。

11、本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比存在的有益效果為：

12、本實用新型通過設(shè)置收集筒與主爐室的對接口對接配合，同時通過輸送管與廢氣收集系統(tǒng)對接口的連接，來配合廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力進行高效的廢氣抽吸，進而既避免了有害雜質(zhì)廢氣對工作環(huán)境的污染和工作人員的損傷，又避免了長時間的廢氣收集以及余熱消散工作阻礙后續(xù)重摻單晶的制備，即保持重摻單晶的制備效率。從而在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持重摻單晶的制備效率。

13、作為本實用新型的進一步優(yōu)化，通過設(shè)置伸縮筒、固定柱以及底部架的配合能夠根據(jù)具體情況將收集筒拉取到合適高度，進而方便工作人員將收集筒與主爐室對接口連接，來達到收集有害雜質(zhì)廢氣的目的，同時還可適應(yīng)主爐室上移加速散熱的情況。通過設(shè)置承載板以及收縮架能夠令束縛箍帶動收集筒移動位置，進而避免底座受到阻礙物影響使收集筒不能與主爐室配合的現(xiàn)象，同時還可通過調(diào)節(jié)孔、鎖定孔以及鎖定釘?shù)呐浜线M行位置鎖定，方便工作人員在環(huán)境變動較小的工作環(huán)境內(nèi)使用。并且設(shè)置束縛箍能夠便于工作人員拆卸更換檢修收集筒。

技術(shù)特征：

1.一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：包括收集筒(8)以及與收集筒(8)密封連通的輸送管(7)，收集筒(8)與單晶爐主體的主爐室對接口間隙配合，輸送管(7)用于將收集筒(8)與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒(8)處，從而提高收集筒(8)收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管(7)連接有用于穩(wěn)定收集筒(8)位置的承載架(6)，承載架(6)固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件(5)上，豎向伸縮件(5)固定連接在底座(2)上，底座(2)底部設(shè)有滾輪(1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述收集筒(8)為圓錐筒狀，收集筒(8)擴口端用于與主爐室對接口間隙配合，收集筒(8)收窄端用于與輸送管(7)密封連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述輸送管(7)由固定連管(71)以及彈性管(72)組成，固定連管(71)一端與收集筒(8)固定連通，固定連管(71)另一端與彈性管(72)密封連通，固定連管(71)與承載架(6)卡接，用于將收集筒(8)定位且便于快速拆裝，彈性管(72)用于伸縮配合固定連管(71)令收集筒(8)與廢氣處理系統(tǒng)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述豎向伸縮件(5)包括與承載架(6)固定連接的伸縮筒(53)，伸縮筒(53)內(nèi)滑動連接有固定柱(52)，固定柱(52)設(shè)置在與底座(2)固定連接的底部架(51)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述底座(2)與底部架(51)之間設(shè)有加固桿(54)，加固桿(54)用于配合底座(2)與底部架(51)呈三角形，來保持底部架(51)與底座(2)的連接穩(wěn)定。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述承載架(6)包括與豎向伸縮件(5)中伸縮筒(53)固定連接的承載板(61)，承載板(61)內(nèi)滑動連接有收縮架(64)，收縮架(64)上固定有與輸送管(7)配合的束縛箍(65)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述收縮架(64)上均勻開設(shè)有多個調(diào)節(jié)孔(66)，調(diào)節(jié)孔(66)與承載板(61)上開設(shè)的鎖定孔(63)適配，鎖定孔(63)內(nèi)滑動連接有用于配合調(diào)節(jié)孔(66)將收縮架(64)定位的鎖定釘(62)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述底座(2)背離收集筒(8)的一端固定有卡接筒(3)，卡接筒(3)卡接有用于輔助推動收集筒(8)位移的推動把(4)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，其特征在于：所述滾輪(1)為具有鎖定結(jié)構(gòu)的萬向輪。

技術(shù)總結(jié)
一種輔助清潔重摻單晶爐的廢氣收集裝置，涉及廢氣收集技術(shù)領(lǐng)域，包括收集筒以及與收集筒密封連通的輸送管，收集筒與單晶爐主體的主爐室對接口間隙配合，輸送管用于將收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒處，從而提高收集筒收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管連接有用于穩(wěn)定收集筒位置的承載架，承載架固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件上，豎向伸縮件固定連接在底座上，底座底部設(shè)有滾輪。以在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持重摻單晶的制備效率。

技術(shù)研發(fā)人員：馬武祥,范吉祥,馬三寶
受保護的技術(shù)使用者：麥斯克電子材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240219
技術(shù)公布日：2024/12/19