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一種直拉單晶爐用石墨坩堝的制作方法

文檔序號:40448824發(fā)布日期:2024-12-27 09:13閱讀:3來源:國知局
一種直拉單晶爐用石墨坩堝的制作方法

本技術(shù)涉及石墨坩堝,具體為一種直拉單晶爐用石墨坩堝。


背景技術(shù):

1、單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備;

2、經(jīng)檢索,專利申請?zhí)枮閏n202121680904.5的申請書中,公開了一種單晶爐用便于拆裝的石墨坩堝,包括:箱體,箱體底部固定連接有第一液壓桿,第一液壓桿頂部輸出端固定連接有支撐桿,支撐桿遠(yuǎn)離第一液壓桿一端固定連接在箱體底部,第一液壓桿中部固定連接有固定板,固定板頂部固定連接有第二液壓桿,第二液壓桿頂部輸出端固定連接有擋板,第二液壓桿穿過擋板一端固定連接有裝載臺;

3、上述申請文件能夠電動推桿的設(shè)置來實現(xiàn)對于石墨坩堝的拆裝,但是采用彈簧組件作為限定組件,穩(wěn)定性有限,并且從底側(cè)拆卸,同時采用傳統(tǒng)的坩堝,拉晶效果有限。

4、因此,我們提出了一種直拉單晶爐用石墨坩堝。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種直拉單晶爐用石墨坩堝,解決了現(xiàn)有限位機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性有限并且拆裝效率較低的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種直拉單晶爐用石墨坩堝,包括設(shè)置在單晶爐爐體中的石墨坩堝;

3、所述石墨坩堝的底側(cè)卡裝有環(huán)座,且環(huán)座固定安裝在爐體內(nèi)壁上;

4、所述石墨坩堝的主體為坩堝座,所述坩堝座的頂部固定安裝有坩堝斗,且坩堝座與坩堝斗之間裝配有搭裝部,所述搭裝部的底部固定安裝有卡塊;

5、所述環(huán)座由外環(huán)板及內(nèi)環(huán)板組成,且內(nèi)環(huán)板的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有與卡塊規(guī)格相適配的卡槽。

6、優(yōu)選的,所述卡塊為斜向三角塊,且卡塊外斜向邊緣為尖狀邊緣;

7、其中,卡塊形狀的設(shè)置便于將石墨坩堝卡裝在環(huán)座內(nèi)側(cè)的卡槽中,保證對于石墨坩堝放置的穩(wěn)定性。

8、優(yōu)選的,所述坩堝座的頂側(cè)與坩堝斗的底側(cè)之間設(shè)置有呈環(huán)形的弧滑部;

9、其中,弧滑部的設(shè)置便于配合坩堝斗形狀的設(shè)置,能夠使拉晶過程中的材料自動化滑落至下方的坩堝座中,避免材料外泄粘連的情況發(fā)生。

10、優(yōu)選的,所述坩堝座的底部開設(shè)有與其外側(cè)弧度相適配的導(dǎo)溫槽,且導(dǎo)溫槽的內(nèi)壁緊貼有保溫壁上的保溫條;

11、其中,導(dǎo)溫槽的設(shè)置能夠保證對于石墨坩堝的保溫效果。

12、優(yōu)選的,所述坩堝座為向下向內(nèi)傾斜的斗狀座,且坩堝座的內(nèi)側(cè)盛放有拉晶材料。

13、優(yōu)選的,所述環(huán)座中外環(huán)板及內(nèi)環(huán)板均由巖棉板制作而成;

14、其中,環(huán)座材料的設(shè)置能夠避免熱量外移,側(cè)面增加保溫效果。

15、本實用新型提供了一種直拉單晶爐用石墨坩堝。具備以下有益效果:

16、1、該直拉單晶爐用石墨坩堝,通過石墨坩堝及其外側(cè)環(huán)座的設(shè)置,能夠從頂側(cè)將石墨坩堝上的搭裝部卡裝在環(huán)座中的卡槽內(nèi)側(cè),從而達(dá)到對石墨坩堝進(jìn)行穩(wěn)定安裝的效果,同時只需向上頂出即可達(dá)到拆卸的效果,操作簡單且穩(wěn)定性強(qiáng),解決了現(xiàn)有限位機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性有限并且拆裝效率較低的問題;

17、2、該直拉單晶爐用石墨坩堝,通過坩堝座及其頂側(cè)坩堝斗的設(shè)置,能夠增加拉晶范圍,同時其之間弧滑部的設(shè)置,能夠保證部分拉晶材料自動滑落至下方的坩堝座中,避免拉晶過程中材料掉落粘連在石墨坩堝頂側(cè)或周圍的情況發(fā),而導(dǎo)溫槽的設(shè)置則能夠最大化保證保溫效果。



技術(shù)特征:

1.一種直拉單晶爐用石墨坩堝,包括設(shè)置在單晶爐爐體中的石墨坩堝(1);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐用石墨坩堝,其特征在于:所述卡塊(15)為斜向三角塊,且卡塊(15)外斜向邊緣為尖狀邊緣。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐用石墨坩堝,其特征在于:所述坩堝座(11)的頂側(cè)與坩堝斗(12)的底側(cè)之間設(shè)置有呈環(huán)形的弧滑部(13)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐用石墨坩堝,其特征在于:所述坩堝座(11)的底部開設(shè)有與其外側(cè)弧度相適配的導(dǎo)溫槽(16),且導(dǎo)溫槽(16)的內(nèi)壁緊貼有保溫壁上的保溫條。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐用石墨坩堝,其特征在于:所述坩堝座(11)為向下向內(nèi)傾斜的斗狀座,且坩堝座(11)的內(nèi)側(cè)盛放有拉晶材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐用石墨坩堝,其特征在于:所述環(huán)座(2)中外環(huán)板(21)及內(nèi)環(huán)板(22)均由巖棉板制作而成。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種直拉單晶爐用石墨坩堝,涉及石墨坩堝領(lǐng)域,解決了現(xiàn)有限位機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性有限并且拆裝效率較低的問題,采用了如下方案:包括設(shè)置在單晶爐爐體中的石墨坩堝;所述石墨坩堝的底側(cè)卡裝有環(huán)座,且環(huán)座固定安裝在爐體內(nèi)壁上;所述石墨坩堝的主體為坩堝座,所述坩堝座的頂部固定安裝有坩堝斗,且坩堝座與坩堝斗之間裝配有搭裝部,所述搭裝部的底部固定安裝有卡塊;所述環(huán)座由外環(huán)板及內(nèi)環(huán)板組成,且內(nèi)環(huán)板的內(nèi)側(cè)壁上開設(shè)有與卡塊規(guī)格相適配的卡槽;該直拉單晶爐用石墨坩堝,通過石墨坩堝及其外側(cè)環(huán)座的設(shè)置,能夠從頂側(cè)將石墨坩堝上的搭裝部卡裝在環(huán)座中的卡槽內(nèi)側(cè),從而達(dá)到對石墨坩堝進(jìn)行穩(wěn)定安裝的效果。

技術(shù)研發(fā)人員:耿林華,袁子明
受保護(hù)的技術(shù)使用者:平定縣興鑫新材料科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240125
技術(shù)公布日:2024/12/26
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