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多晶硅鑄錠爐的制作方法

文檔序號(hào):11371991閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅鑄錠爐,其特征在于,包括:

爐體;

設(shè)置于所述爐體內(nèi)的坩堝,用于盛放晶體硅;

位于所述坩堝頂部的頂部加熱器;

位于所述坩堝外側(cè)壁的側(cè)部加熱器;

包裹所述坩堝外側(cè)壁、頂部加熱器及側(cè)部加熱器的隔熱籠;

位于所述坩堝底部的底部加熱器,所述頂部加熱器、側(cè)部加熱器以及底部加熱器用于對(duì)所述坩堝加熱;

以及設(shè)置于底部加熱器與所述坩堝底部之間的冷卻裝置,用于通過冷卻氣體對(duì)所述爐體內(nèi)散熱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述冷卻裝置包括:

熱交換平臺(tái),具有第一中空腔;

連接于所述熱交換平臺(tái)的進(jìn)氣管,冷卻氣體通過所述進(jìn)氣管進(jìn)入所述熱交換平臺(tái)的中空腔內(nèi);

連接于所述熱交換平臺(tái)的石墨立柱,具有第二中空腔,進(jìn)入所述熱交換平臺(tái)中空腔內(nèi)的冷卻氣體經(jīng)過所述石墨立柱排出爐體外。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述進(jìn)氣管由所述爐體的底部進(jìn)入所述爐體內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述熱交換平臺(tái)由所述石墨立柱支撐連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述多晶硅鑄錠爐還包括真空泵,用于通過所述進(jìn)氣管向所述熱交換平臺(tái)通入氣體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述底部加熱器具有至少一個(gè)加熱組件,所述加熱組件包括:

一對(duì)加熱條;

連接于該對(duì)加熱條之間的兩個(gè)連接板,所述兩個(gè)連接板分別設(shè)置于所述加熱條的兩端;

設(shè)置于其中一個(gè)所述連接板的石墨電極,以使電流通過所述石墨電極流入所述加熱條。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述石墨電極通過所述爐體的側(cè)壁伸出爐體外,以外接加熱電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述底部加熱器具有三個(gè)并列設(shè)置加熱組件,該三個(gè)加熱組件共用一個(gè)與石墨電極相對(duì)的連接板。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述底部加熱器的工作功率范圍為40KW至80KW。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述多晶硅鑄錠爐還包括:

設(shè)置于所述坩堝外側(cè)壁與所述側(cè)部加熱器之間的石墨護(hù)板;

設(shè)置于所述坩堝底板與所述底部加熱器之間的石墨底板;

設(shè)置于所述頂部加熱器外側(cè)的頂部保溫板;

以及設(shè)置于所述側(cè)部加熱器外側(cè)的側(cè)部保溫板。

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