本發(fā)明具體涉及一種雙電源爐臺半熔工藝。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)多晶硅鑄錠爐加熱器分為頂部加熱器和側(cè)面加熱器，通過控制加熱器輸出功率使得坩堝內(nèi)熔融的硅液在縱向溫度梯度的作用下定向凝固。由于頂部加熱器與側(cè)面加熱器由一套溫度控制系統(tǒng)控制功率輸出，使得生產(chǎn)效率較低且無功熱損失比較大。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
發(fā)明目的：為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種雙電源爐臺半熔工藝。
技術(shù)方案：一種雙電源爐臺半熔工藝，包括如下步驟：加熱階段——熔化階段——退火階段；
(1)所述加熱階段中：加大側(cè)面加熱器功率，側(cè)面加熱器輻射面積大，加熱效率提高；
(2)所述熔化階段中：熔化中后期減小側(cè)面加熱器功率，有助于形成一個接近水平形態(tài)的固液界面，使得長晶階段晶相能夠豎直生長，同時能起到確保邊部籽晶不全熔完的作用，晶錠效率提升；
(3)所述退火階段中：減小晶錠頭尾溫差，消除應(yīng)力，雙電源爐臺在退火階段減小頂部加熱器功率，加大側(cè)面加熱器功率，能夠縮短退火時間，提升產(chǎn)能，節(jié)能減排。
作為優(yōu)化：所述雙電源熱場為雙區(qū)加熱系統(tǒng)，頂部加熱器和側(cè)面加熱器分別通過單獨的控制回路控制功率輸出，采用兩個獨立的變壓器及溫控系統(tǒng)來控制加熱器功率。
有益效果：本發(fā)明中的雙電源熱場是對傳統(tǒng)的加熱器控制方式進行優(yōu)化，提出雙區(qū)加熱系統(tǒng)，頂部加熱器和側(cè)面加熱器分別通過單獨的控制回路控制功率輸出，采用兩個獨立的變壓器及溫控系統(tǒng)來控制加熱器功率。
具體實施方式
下面將對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠更好的理解本發(fā)明的優(yōu)點和特征，從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚的界定。本發(fā)明所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
實施例
一種雙電源爐臺半熔工藝，包括如下步驟：加熱階段——熔化階段——退火階段；
(1)所述加熱階段中：加大側(cè)面加熱器功率，側(cè)面加熱器輻射面積大，加熱效率提高；
(2)所述熔化階段中：熔化中后期減小側(cè)面加熱器功率，有助于形成一個接近水平形態(tài)的固液界面，使得長晶階段晶相能夠豎直生長，同時能起到確保邊部籽晶不全熔完的作用，晶錠效率提升；
(3)所述退火階段中：減小晶錠頭尾溫差，消除應(yīng)力，雙電源爐臺在退火階段減小頂部加熱器功率，加大側(cè)面加熱器功率，能夠縮短退火時間，提升產(chǎn)能，節(jié)能減排。
所述雙電源熱場為雙區(qū)加熱系統(tǒng)，頂部加熱器和側(cè)面加熱器分別通過單獨的控制回路控制功率輸出，采用兩個獨立的變壓器及溫控系統(tǒng)來控制加熱器功率。
本發(fā)明中的雙電源熱場是對傳統(tǒng)的加熱器控制方式進行優(yōu)化，提出雙區(qū)加熱系統(tǒng)，頂部加熱器和側(cè)面加熱器分別通過單獨的控制回路控制功率輸出，采用兩個獨立的變壓器及溫控系統(tǒng)來控制加熱器功率。