本發(fā)明涉及一種石英冶煉技術(shù)，尤其是一種石英玻璃厚壁管制備法蘭的方法，具體地說是一種連熔法生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用法蘭的方法。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃法蘭的生產(chǎn)方法是先通過電熔或火焰熔融的方法生產(chǎn)出大尺寸的石英玻璃錠，再將石英錠經(jīng)掏孔、打磨、切片等工序加工成石英玻璃法蘭?，F(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)的石英玻璃法蘭存在生產(chǎn)周期長、加工工藝復(fù)雜、原材料利用率低、生產(chǎn)成本高等問題，不利于能源資源的節(jié)約與保護。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有的半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃法蘭生產(chǎn)過程存在的生產(chǎn)周期長、加工工藝復(fù)雜、原材料利用率低、生產(chǎn)成本高，不利于能源資源的節(jié)約與保護問題，發(fā)明一種連熔法生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用法蘭的方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案是：
一種連熔法生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用法蘭的方法，其特征是它包括以下步驟：
一、投料
加料斗內(nèi)的石英砂原料通過進料管連續(xù)的投入鎢坩堝內(nèi)，此加料管能夠保持坩堝內(nèi)石英砂的料面高度基本穩(wěn)定；
二、熔煉
通過在坩堝外圍設(shè)置雙層加熱網(wǎng)，使坩堝內(nèi)由上至下形成具有穩(wěn)定溫度梯度的熱場，石英砂原料逐步熔化，達到最佳的排氣效果，如此能夠大幅降低產(chǎn)品內(nèi)部的氣泡、氣線缺陷，提升產(chǎn)品質(zhì)量；
三、成型
石英玻璃熔體在坩堝內(nèi)經(jīng)充分熔煉、均化后，到達坩堝底部出料臺、成型器區(qū)域，通過調(diào)整坩堝的高度將成型區(qū)的溫度固定在合適的區(qū)間，此時石英玻璃熔體具有最佳的成型粘度，便于成型；
四、拉制
由伺服電機控制拉管機，在托住石英玻璃厚壁管不致下滑的同時，勻速緩慢的將熔體從出料口拉出，形成石英玻璃厚壁管；
五、內(nèi)外圓打磨
通過內(nèi)外圓磨床，將大尺寸的石英玻璃厚壁管的內(nèi)外圓進行打磨，使其尺寸及表面質(zhì)量符合要求；
六、切割
用金剛石砂輪片將打磨好的石英玻璃厚壁管切成圓環(huán)狀的法蘭片。
所述的坩堝的下端安裝有輔助加熱裝置以保證坩堝上升后成型區(qū)保持所需的溫度。
所述的輔助加熱裝置對應(yīng)的輔助加熱區(qū)的溫度可調(diào)。
本發(fā)明的有益效果：
本發(fā)明通過調(diào)整坩堝的位置實現(xiàn)厚壁石英管的拉制，具有生產(chǎn)周期短、加工工藝簡單、原材料利用率高、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點，同時有利于能源資源的節(jié)約與保護。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步的說明。
一種連熔法生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用法蘭的方法，它包括以下步驟：
一、投料
加料斗內(nèi)的石英砂原料通過進料管連續(xù)的投入鎢坩堝內(nèi)，此加料管能夠保持坩堝內(nèi)石英砂的料面高度基本穩(wěn)定；
二、熔煉
通過在坩堝外圍設(shè)置雙層加熱網(wǎng)，使坩堝內(nèi)由上至下形成具有穩(wěn)定溫度梯度的熱場，石英砂原料逐步熔化，達到最佳的排氣效果，如此能夠大幅降低產(chǎn)品內(nèi)部的氣泡、氣線缺陷，提升產(chǎn)品質(zhì)量；
三、成型
石英玻璃熔體在坩堝內(nèi)經(jīng)充分熔煉、均化后，到達坩堝底部出料臺、成型器區(qū)域，通過調(diào)整坩堝的高度將成型區(qū)的溫度固定在合適的區(qū)間，此時石英玻璃熔體具有最佳的成型粘度，便于成型；為了保證成型效果，具體實施時最好在坩堝的下端安裝有輔助加熱裝置以保證坩堝上升后成型區(qū)保持所需的溫度，同時應(yīng)使輔助加熱裝置對應(yīng)的輔助加熱區(qū)的溫度可調(diào)。
四、拉制
由伺服電機控制拉管機，在托住石英玻璃厚壁管不致下滑的同時，勻速緩慢的將熔體從出料口拉出，形成石英玻璃厚壁管；
五、內(nèi)外圓打磨
通過內(nèi)外圓磨床，將大尺寸的石英玻璃厚壁管的內(nèi)外圓進行打磨，使其尺寸及表面質(zhì)量符合要求；
六、切割
用金剛石砂輪片將打磨好的石英玻璃厚壁管切成圓環(huán)狀的法蘭片。
用本發(fā)明的方法通過在拉制時調(diào)整坩堝的高度實現(xiàn)一爐料拉制出不同尺寸的法蘭，滿足小批量多品種生產(chǎn)的需要。
本發(fā)明未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。