技術(shù)編號：11398162
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種石英冶煉技術(shù)，尤其是一種石英玻璃厚壁管制備法蘭的方法，具體地說是一種連熔法生產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)用法蘭的方法。背景技術(shù)目前，半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃法蘭的生產(chǎn)方法是先通過電熔或火焰熔融的方法生產(chǎn)出大尺寸的石英玻璃錠，再將石英錠經(jīng)掏孔、打磨、切片等工序加工成石英玻璃法蘭。現(xiàn)有技術(shù)生產(chǎn)的石英玻璃法蘭存在生產(chǎn)周期長、加工工藝復(fù)雜、原材料利用率低、生產(chǎn)成本高等問題，不利于能源資源的節(jié)約與保護(hù)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有的半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃法蘭生產(chǎn)過程存在的生產(chǎn)周期長、加工工藝復(fù)雜、原材料利用率低...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。