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一種晶體生長爐加熱器以及藍寶石晶體生長爐的制作方法

文檔序號:12646740閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種晶體生長爐加熱器,其特征在于:所述加熱系統(tǒng)包括環(huán)形基筒(16)、加熱環(huán)(17)以及用于驅動基筒上下移動的電機(18),加熱環(huán)(17)設置在環(huán)形基筒(16)的內壁上,且加熱環(huán)(17)通過導線與爐體(1)外部的加熱元件電源和控制器連接,所述爐體(1)的爐蓋上對稱設置有兩個電機(18),電機(18)與控制器通過導線連接,電機(18)的輸出軸上繞設有提拉線(19),提拉線(19)的下端穿過爐體(1)并與環(huán)形基筒(16)的上端固定連接。

2.如權利要求1所述一種晶體生長爐加熱器,其特征在于:所述提拉線(19)上設置有溫度傳感器,溫度傳感器通過導線與控制器連接。

3.一種藍寶石晶體生長爐,其特征在于:包括權利要求1或權利要求2所述的晶體生長爐加熱器。

4.如權利要求3所述的藍寶石晶體生長爐,其特征在于:晶體生長爐還包括爐體(1)、坩堝(2)、冷卻器(3)和換熱器(4);

所述爐體(1)的內壁和底壁上均設置有隔熱層(5),爐體(1)的側壁上部設置有用于向爐體(1)內部充入惰性保護氣的進氣孔(6),爐體(1)的側壁下部設置有用于抽真空的排氣孔(7),所述坩堝(2)設置在爐體(1)內部,爐體(1)的頂部中心位置設置可供拉晶桿(8)穿過的通孔,拉晶桿(8)的下端穿過該通孔并置于坩堝(2)上方,且拉晶桿(8)的下端端頭設置有籽晶(9);

所述坩堝(2)的底部設置有冷卻組件,冷卻組件包括與坩堝(2)底部緊密貼合的水冷盤(10)以及用于支撐水冷盤(10)的支桿(11),水冷盤(10)的內部盤設有水冷管(12),爐體(1)的底部對應支桿(11)的下端處設置有管道口,所述支桿(11)為中空桿體,水冷管(12)的進水端和出水端均穿過支桿(11)內部并置于爐體(1)外;所述水冷管(12)的出水端連接有排水管(13),排水管(13)的尾端分為兩根支管,其中一根支管連接至換熱器(4)的循環(huán)水流道進口,另外一根支管連接至冷卻器(3)的進水口,且兩根支管上均設置有流量控制閥(14),流量控制閥(14)通過導線與控制器連接,換熱器(4)的循環(huán)水流道出口和冷卻器(3)的出水口通過管道匯集后經進水管(15)連接至水冷管(12)的進水端,所述換熱器(4)的保護氣流道進口連接至供氣系統(tǒng),換熱器(4)的保護氣流道出口連接至爐體(1)上的進氣孔(6);

所述冷卻器包括箱體(20)、分流器(21)、匯流器(22)和三組平行設置的冷卻管道,分流器(21)和匯流器(22)分別設置在箱體(20)相對的兩端,分流器(21)包括前表面設置的一個進水口和后表面設置的三組分流口,每組分流口包括兩個通水口,分流器(21)的每一組分流口都設置一個分流調節(jié)閥,且分流調節(jié)閥與控制器通過線路控制連接,匯流器(22)包括前表面設置的三組匯流口和后表面設置的一個出水口,每組匯流口包括兩個通水口,匯流器(22)的出水口處設置有溫度傳感器,且溫度傳感器與控制器通過線路控制連接,所述冷卻管道包括直流管(23)和螺旋管(24),直流管(23)設置在螺旋管(24)的螺旋中心,冷卻管道的前端通過分流調節(jié)閥與分流器(21)連接,末端與匯流器(22)的匯流口連接。

5.如權利要求4所述的一種藍寶石晶體生長爐,其特征在于:所述爐體(1)的側壁還開設有觀察窗。

6.如權利要求4所述的一種藍寶石晶體生長爐,其特征在于:所述隔熱層(5)的材質為氧化鋯。

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