技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種改善擴(kuò)散片內(nèi)方阻均勻性的裝置，包括噴淋管、石英管、插片卡槽、接液瓶和排氣箱，所述噴淋管通過卡扣與石英管內(nèi)壁連接，所述噴淋管的左側(cè)設(shè)置有進(jìn)氣口，且噴淋孔設(shè)置在噴淋管右端，所述石英管左側(cè)設(shè)置有細(xì)管口，且石英管右側(cè)設(shè)置有后密封塞，所述石英管內(nèi)部設(shè)置有插片卡槽，且插片卡槽上固定有插片，所述石英管底部固定有排廢管，且排廢管左邊與接液瓶連接，所述接液瓶設(shè)置有廢液進(jìn)口，且廢液出口設(shè)置有廢液出口，所述接液瓶頂部和底部均安裝有緩沖閥，所述廢液出口左端與冷卻瓶的右側(cè)連接，且冷卻瓶的頂部通過導(dǎo)管與排氣箱連接。本實(shí)用新型減少了硅片片內(nèi)方阻梯度，提高擴(kuò)散方阻的片內(nèi)均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：陳偉;孔群;楊玉生;姜春潮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州好時(shí)新能源有限公司
文檔號(hào)碼：201621436592
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.07.21