技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種多晶硅還原爐，包括爐體、底盤組件、進(jìn)氣系統(tǒng)和出氣系統(tǒng)，底盤組件包括底盤本體、電極、進(jìn)氣端管和出氣端管，爐體與底盤本體限定出反應(yīng)腔，多個電極設(shè)在底盤本體上且為沉積載體硅芯提供安裝基礎(chǔ)，多個電極在底盤本體上排列成多圈，每圈電極等間距設(shè)置且中心位于底盤本體的中心軸線上，多圈電極沿底盤本體的徑向間隔設(shè)置，多個進(jìn)氣端管設(shè)在底盤本體上且位于相鄰圈電極之間以及底盤本體的中心處，多個出氣端管設(shè)在底盤本體上且位于最外圈電極與最內(nèi)圈電極之間；進(jìn)氣系統(tǒng)與多個進(jìn)氣端管相連；出氣系統(tǒng)與多個出氣端管相連。根據(jù)本實用新型的多晶硅還原爐，具有結(jié)構(gòu)緊湊、集成大型化、單爐產(chǎn)量高、生產(chǎn)質(zhì)量優(yōu)良、節(jié)能高效的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：汪紹芬;石何武;楊永亮;嚴(yán)大洲;湯傳斌;姚心
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國恩菲工程技術(shù)有限公司
文檔號碼：201621079201
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.23
技術(shù)公布日：2017.05.31