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一種防止硅蒸汽溢出的坩堝的制作方法

文檔序號(hào):11299875閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種防止硅蒸汽溢出的坩堝,包括坩堝蓋(1)和坩堝(2),其特征在于:坩堝(2)頂部設(shè)有至少一個(gè)凹槽(3),坩堝蓋(1)上設(shè)有至少一個(gè)與凹槽(3)相適應(yīng)的凸起(4),凹槽(3)和相應(yīng)凸起(4)之間形成曲折通道(5);

所述的凹槽(3)內(nèi)設(shè)有密封柔性材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止硅蒸汽溢出的坩堝,其特征在于:所述的凹槽(3)為3個(gè),所述的凸起(4)為3個(gè)。

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