本實(shí)用新型屬于碳化硅晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種防止硅蒸汽溢出的坩堝。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術(shù)，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進(jìn)行生長。由于此種生長方法，其所使用的坩堝為開放式設(shè)計(jì)，就造成熔融狀態(tài)下的硅出現(xiàn)揮發(fā)現(xiàn)象，并通過上部開孔揮發(fā)到保溫材料中，并在外部保溫材料中結(jié)晶，造成保溫材料的損壞，致使加工成本的增加。

現(xiàn)有技術(shù)中為了防止硅蒸汽與保溫材料反應(yīng)，會(huì)在坩堝上加入石墨的坩堝蓋。雖然帶開孔的石墨坩堝蓋一定程度上保護(hù)了保溫層，但坩堝與坩堝蓋之間，由于加工公差的存在，會(huì)存在一定的間隙，不能保證坩堝與坩堝蓋之間完全的貼合。如果加工誤差大的情況下，硅蒸汽會(huì)大量的從坩堝與坩堝蓋之間的空隙中逸出，使包圍在坩堝外圍的保溫層內(nèi)部結(jié)晶，導(dǎo)致保溫性能的嚴(yán)重惡化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述問題，本實(shí)用新型提供一種能夠防止硅蒸汽溢出，保護(hù)保溫材料保溫性能的坩堝。

為解決上述問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種防止硅蒸汽溢出的坩堝，包括坩堝蓋和坩堝，坩堝頂部設(shè)有至少一個(gè)凹槽，坩堝蓋上設(shè)有至少一個(gè)與凹槽相適應(yīng)的凸起，凹槽和相應(yīng)凸起之間形成曲折通道。

采用上述結(jié)構(gòu)，坩堝和坩堝蓋之間，即凹槽和凸起之間會(huì)形成一條彎折的通道。在碳化硅的生長過程中，通過公差的配合，可以保證這條彎折的通道足夠的小。或者完全不要求公差配合，只要有一個(gè)這樣彎折的通道，在碳化硅的生長過程中，硅蒸汽揮發(fā)，在通過折彎通道的過程中會(huì)逐漸冷卻，并在通道內(nèi)凝結(jié)，在凝結(jié)過程中與石墨反應(yīng)生成碳化硅，將折彎通道封堵，使硅蒸汽不能通過坩堝和坩堝蓋之間的空隙泄漏到保溫層中。進(jìn)而保證了高純保溫層的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。

進(jìn)一步的，所述的凹槽內(nèi)設(shè)有密封柔性材料，用于達(dá)到更加密封的效果。所述的密封柔性材料可以選用銅片或者本領(lǐng)域常用的可以與硅蒸汽進(jìn)行反應(yīng)的材料。

經(jīng)過發(fā)明人實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，所述的凹槽為3個(gè)，所述的凸起為3個(gè)時(shí)，可以保證凹槽和凸起之間形成的彎折通道足夠長，使硅蒸汽能夠完全在通道內(nèi)冷卻凝結(jié)，與石墨生成碳化硅。

綜上所述，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，通過特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得坩堝與坩堝蓋之間形成一條狹長曲折的通道，硅蒸汽在沿著通道逸出的過程中，會(huì)逐漸凝結(jié)，完全封死通道，保證硅蒸汽不泄露，進(jìn)而保護(hù)外面的保溫材料，降低生產(chǎn)成本。本實(shí)用新型不要求石墨件的加工精度，生長過程中就可以達(dá)到完全密封的效果，有效的降低了石墨件的加工成本，同時(shí)延長了保溫材料的壽命。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中A部分局部放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例3結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3中A部分局部放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1、坩堝蓋，2、坩堝，3、凹槽，4、凸起，5、曲折通道，6、密封柔性材料。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

一種防止硅蒸汽溢出的坩堝，包括坩堝蓋1和坩堝2，坩堝2頂部設(shè)有一個(gè)凹槽3，坩堝蓋1上設(shè)有一個(gè)與凹槽3相適應(yīng)的凸起4，凹槽3和相應(yīng)凸起4之間形成曲折通道5。

實(shí)施例2

一種防止硅蒸汽溢出的坩堝，包括坩堝蓋1和坩堝2，坩堝2頂部設(shè)有一個(gè)凹槽3，坩堝蓋1上設(shè)有一個(gè)與凹槽3相適應(yīng)的凸起4，凹槽3和相應(yīng)凸起4之間形成曲折通道5。

所述的凹槽3內(nèi)設(shè)有密封柔性材料。

實(shí)施例3

一種防止硅蒸汽溢出的坩堝，包括坩堝蓋1和坩堝2，坩堝2頂部設(shè)有三個(gè)凹槽3，坩堝蓋1上設(shè)有三個(gè)與凹槽3相適應(yīng)的凸起4，凹槽3和相應(yīng)凸起4之間形成曲折通道5。

所述的凹槽3內(nèi)設(shè)有密封柔性材料。