本實(shí)用新型涉及坩堝成型設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種坩堝熔制機(jī)。

背景技術(shù)：

石英玻璃坩堝是單晶硅生產(chǎn)中的關(guān)鍵必需品，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的龍頭產(chǎn)業(yè)。廣泛應(yīng)用于電子、化工等諸多行業(yè)。

真空電弧法生產(chǎn)石英坩堝設(shè)備是生產(chǎn)坩堝的技術(shù)設(shè)備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝。其特點(diǎn)是設(shè)備可操作性強(qiáng)，工藝成熟，產(chǎn)品利潤(rùn)空間大，市場(chǎng)前景廣闊。該種設(shè)備主要包括加熱裝置、往復(fù)傾動(dòng)裝置、升降裝置,原料根據(jù)往復(fù)傾動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)進(jìn)入,加熱裝置根據(jù)升降裝置在原料旋轉(zhuǎn)后下壓至坩堝頂部。在實(shí)際生產(chǎn)使用過程中發(fā)現(xiàn)：往復(fù)傾動(dòng)裝置和升降裝置相互協(xié)調(diào)并不是很好,會(huì)導(dǎo)致翻轉(zhuǎn)后的坩堝不是處于加熱裝置正中心位置,導(dǎo)致坩堝受熱不均勻,影響產(chǎn)生加工質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種坩堝熔制機(jī)，其具有進(jìn)料精準(zhǔn)、加熱均勻的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種坩堝熔制機(jī)，包括加熱裝置、供加熱裝置升降的升降裝置、驅(qū)動(dòng)坩堝進(jìn)入加熱的往復(fù)傾動(dòng)裝置、與往復(fù)傾動(dòng)裝置聯(lián)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)磨頭，還包括安裝往復(fù)傾動(dòng)裝置的底座和側(cè)座，所述旋轉(zhuǎn)磨頭設(shè)有一轉(zhuǎn)軸穿設(shè)至側(cè)座上,所述側(cè)座內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置、連接第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸和轉(zhuǎn)軸的蝸輪蝸桿減速組件。

如此設(shè)置，旋轉(zhuǎn)磨頭通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接至側(cè)座上，再由第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)磨頭翻轉(zhuǎn)，通過設(shè)置蝸輪蝸桿減速組件，一方面對(duì)第一驅(qū)動(dòng)裝置輸出的轉(zhuǎn)速進(jìn)行減速，且同時(shí)增加扭矩，減速過后的旋轉(zhuǎn)磨頭可以精準(zhǔn)的進(jìn)料，與加熱裝置對(duì)接，另一方便因?yàn)槲佪單仐U具有自鎖的功能，避免轉(zhuǎn)軸因旋轉(zhuǎn)磨頭自身的重力導(dǎo)致翻轉(zhuǎn)，提高了安全性能。

進(jìn)一步設(shè)置：所述蝸輪蝸桿組件包括套設(shè)至轉(zhuǎn)軸上的蝸輪、與蝸輪嚙合的蝸桿，所述蝸桿的軸端設(shè)有第一斜齒輪，第一驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸上設(shè)有與第一斜齒輪配合的第二斜齒輪。

如此設(shè)置，蝸桿軸端的第一斜齒輪和驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸上的第一斜齒輪的相互配合使輸出軸與蝸桿具有一個(gè)過渡，該過渡形成另一組減速組件，通過兩斜齒輪的配合，再次增大轉(zhuǎn)矩，起動(dòng)平穩(wěn)、傳動(dòng)比分級(jí)精細(xì)，可根據(jù)用戶要求進(jìn)行任意連接和多種安裝位置的選擇。

進(jìn)一步設(shè)置：所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為伺服電機(jī)。

如此設(shè)置，伺服電機(jī)能精準(zhǔn)控制線性第一驅(qū)動(dòng)裝置的行程位置。

進(jìn)一步設(shè)置：所述底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)往復(fù)傾動(dòng)裝置的線性驅(qū)動(dòng)裝置，所述線性驅(qū)動(dòng)裝置包括橫向?qū)к?、轉(zhuǎn)動(dòng)連接至底座上與橫向?qū)к壟浜系臐L動(dòng)件、驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)件于橫向?qū)к壣蠞L動(dòng)并帶動(dòng)底板線性運(yùn)動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置。

如此設(shè)置，往復(fù)傾動(dòng)裝置可以根據(jù)線性驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行移進(jìn)移出，上料時(shí)，坩堝需要套設(shè)至旋轉(zhuǎn)磨頭上較為方便，下料時(shí)，加熱過后的坩堝在傾倒出之后，需要通過線性驅(qū)動(dòng)裝置將整個(gè)往復(fù)傾動(dòng)裝置移出，不會(huì)直接翻轉(zhuǎn)到外側(cè)，避免造成誤傷工作人員。

進(jìn)一步設(shè)置：所述加熱裝置包括熔制電極和隔熱板，所述隔熱板上設(shè)有供熔制電極穿設(shè)抵觸至坩堝頂側(cè)的通孔。

如此設(shè)置，隔隔熱板可以將熔制電極的熱量集中至坩堝避免，避免熱量不均勻擴(kuò)散，導(dǎo)致坩堝避免受熱不均勻。

進(jìn)一步設(shè)置：所述隔熱板呈傾斜設(shè)置，形成的開口朝向線性驅(qū)動(dòng)裝置一側(cè)。

如此設(shè)置，隔熱板呈傾斜設(shè)置，便于坩堝在通過線性驅(qū)動(dòng)裝置移進(jìn)的時(shí)候，不與隔熱板相互干涉。

進(jìn)一步設(shè)置：所述升降裝置包括豎直設(shè)置的線性模組，該線性模組為螺母絲桿模組。

進(jìn)一步設(shè)置：所述螺母絲桿模組包括豎向?qū)к?、滑移連接至豎向?qū)к壣系幕瑝K，螺母固定至滑塊上，絲桿穿設(shè)滑塊連接至豎向?qū)к壍膬啥?，所述?dǎo)軌上設(shè)有驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)，由絲桿帶動(dòng)螺母轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)滑塊線性運(yùn)動(dòng)。

如此設(shè)置，傳統(tǒng)的螺母絲桿模組可以提供加熱裝置的升降，螺母絲桿的配合可以增加提升的載重，同時(shí)使提升穩(wěn)定性更好，不發(fā)生徑向偏移。

進(jìn)一步設(shè)置：所述升降裝置包括豎直設(shè)置的線性模組，該線性模組為滾珠絲桿模組。

進(jìn)一步設(shè)置：所述滾珠絲桿模組包括豎向?qū)к?、滑移連接至豎向?qū)к壣系幕瑝K，螺母固定至滑塊上，絲桿穿設(shè)滑塊連接至豎向?qū)к壍膬啥?，絲桿與螺母配合的螺紋槽內(nèi)套設(shè)有滾珠，所述導(dǎo)軌上設(shè)有驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)，由絲桿帶動(dòng)螺母轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)滑塊線性運(yùn)動(dòng)。

如此設(shè)置，滾珠絲桿模組相較于螺母絲桿模組，由于滾珠絲杠副的絲杠軸與絲杠螺母之間有很多滾珠在做滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)，相互摩擦小，能得到較高的運(yùn)動(dòng)效率。

綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果：該坩堝熔制機(jī)具有速度快、節(jié)省能源、溫度分布均勻、熱效率高、生產(chǎn)能力高等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是坩堝熔制機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是往復(fù)傾動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是旋轉(zhuǎn)磨頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是線性驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是加熱裝置、升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1、加熱裝置；2、升降裝置；3、往復(fù)傾動(dòng)裝置；4、旋轉(zhuǎn)磨頭；5、底座；6、線性驅(qū)動(dòng)裝置；7、橫向?qū)к墸?、滾動(dòng)件；9、轉(zhuǎn)軸；10、第二驅(qū)動(dòng)裝置；11、側(cè)座；12、轉(zhuǎn)軸；131、蝸輪；132、蝸桿；141、第一斜齒輪；142、第二斜齒輪；15、第一驅(qū)動(dòng)裝置；16、安裝座；17、第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)；18、熔制電極；19、隔熱板；20、螺母絲桿模組；21、螺母；22、絲桿；23、豎向?qū)к墸?4、滑塊；25、第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

實(shí)施例1：一種坩堝熔制機(jī)，如圖1所示，包括加熱裝置1、供加熱裝置1升降的升降裝置2、驅(qū)動(dòng)坩堝進(jìn)入加熱的往復(fù)傾動(dòng)裝置3、與往復(fù)傾動(dòng)裝置3聯(lián)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)磨頭4、安裝往復(fù)傾動(dòng)裝置3的底座5，底座5上設(shè)有驅(qū)動(dòng)往復(fù)傾動(dòng)裝置3的線性驅(qū)動(dòng)裝置6。

如圖2所示，還包括安裝往復(fù)傾動(dòng)裝置的底座和側(cè)座11，旋轉(zhuǎn)磨頭設(shè)有一轉(zhuǎn)軸12穿設(shè)至側(cè)座11上,側(cè)座11內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸12轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)裝置15、連接第一驅(qū)動(dòng)裝置15的輸出軸和轉(zhuǎn)軸12的蝸輪131蝸桿132減速組件。蝸輪131蝸桿132組件包括套設(shè)至轉(zhuǎn)軸12上的蝸輪131、與蝸輪131嚙合的蝸桿132，蝸桿132的軸端設(shè)有第一斜齒輪141，第一驅(qū)動(dòng)裝置15的輸出軸上設(shè)有與第一斜齒輪141配合的第二斜齒輪142。第一驅(qū)動(dòng)裝置15為伺服電機(jī)。

如圖3所示，底座5上設(shè)有連接旋轉(zhuǎn)磨頭4的安裝座16，擺動(dòng)連桿14作用至安裝座16上，安裝座16內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)磨頭4轉(zhuǎn)動(dòng)的第二旋轉(zhuǎn)電機(jī)17，擺動(dòng)連桿14作用在安裝座16上，避免擺動(dòng)連桿14與旋轉(zhuǎn)磨頭4自身的旋轉(zhuǎn)相互干涉。

如圖4所示，線性驅(qū)動(dòng)裝置6包括橫向?qū)к?，橫向?qū)к?平鋪至地面上，底座5上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與橫向?qū)к?配合的滾動(dòng)件8，滾動(dòng)件8為滾輪，底座5上分布四個(gè)滾輪，同軸的滾輪之間通過轉(zhuǎn)軸9連接，底座5上設(shè)有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸9轉(zhuǎn)動(dòng)從而驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)件8轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置10，驅(qū)動(dòng)裝置10為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)輸出旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)滾輪在橫向?qū)к?上滾動(dòng)爬行，并帶動(dòng)底板整體沿導(dǎo)軌方向前進(jìn)和后退。

如圖5所示，加熱裝置1包括熔制電極18和隔熱板19，隔熱板19上設(shè)有供熔制電極18穿設(shè)抵觸至坩堝頂側(cè)的通孔。

升降裝置2包括豎直設(shè)置的線性模組，該線性模組為螺母絲桿模組20，螺母絲桿模組20包括豎向?qū)к?3、滑移連接至豎向?qū)к?3上的滑塊24，隔熱板19固定至滑塊24上隨滑塊24運(yùn)動(dòng)，螺母21固定至滑塊24上，絲桿22穿設(shè)滑塊24連接至豎向?qū)к?3的兩端，導(dǎo)軌上設(shè)有驅(qū)動(dòng)絲桿22轉(zhuǎn)動(dòng)的第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)25，由絲桿22帶動(dòng)螺母21轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)滑塊24線性運(yùn)動(dòng)，滑塊24線性運(yùn)動(dòng)則帶動(dòng)隔熱板19升降，從而使坩堝能套設(shè)至通孔內(nèi)，供熔制電極18下壓抵觸。

隔熱板19呈傾斜設(shè)置，形成的開口朝向線性驅(qū)動(dòng)裝置6一側(cè)，便于坩堝在通過線性驅(qū)動(dòng)裝置6移進(jìn)的時(shí)候，不與隔熱板19相互干涉。

實(shí)施例2：一種坩堝熔制機(jī),與實(shí)施例1的不同之處在于，升降裝置2包括豎直設(shè)置的線性模組，該線性模組為滾珠絲桿模組，滾珠絲桿模組包括豎向?qū)к?3、滑移連接至豎向?qū)к?3上的滑塊24，加熱裝置1固定在滑塊24上，螺母21固定至滑塊24上，絲桿22穿設(shè)滑塊24連接至豎向?qū)к?3的兩端，絲桿22與螺母21配合的螺紋槽內(nèi)套設(shè)有滾珠，導(dǎo)軌上設(shè)有驅(qū)動(dòng)絲桿22轉(zhuǎn)動(dòng)的第三旋轉(zhuǎn)電機(jī)25，由絲桿22帶動(dòng)螺母21轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)滑塊24線性運(yùn)動(dòng)，加熱裝置1通過滑塊24的線性運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)升降。

上述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的解釋，其并不是對(duì)本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改，但只要在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護(hù)。