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一種類單晶硅錠及其制備方法和一種類單晶硅鑄錠爐與流程

文檔序號:12609920閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種類單晶硅錠的制備方法,其特征在于,包括:

在坩堝內(nèi)鋪設(shè)籽晶形成籽晶層;在所述籽晶層上方設(shè)置熔融狀態(tài)的硅熔體,控制所述坩堝底部溫度低于所述籽晶的熔點(diǎn),使得所述籽晶層不被完全熔化;

調(diào)節(jié)熱場形成過冷狀態(tài),使所述硅熔體在所述籽晶層的基礎(chǔ)上開始長晶;所述長晶過程中,以1轉(zhuǎn)/分鐘-60轉(zhuǎn)/分鐘的攪拌速度持續(xù)或間斷地?cái)嚢杷龉枞垠w;

待全部硅熔體結(jié)晶完后,經(jīng)退火冷卻得到類單晶硅錠。

2.如權(quán)利要求1所述的類單晶硅錠的制備方法,其特征在于,所述攪拌速度為20轉(zhuǎn)/分鐘-50轉(zhuǎn)/分鐘。

3.如權(quán)利要求1所述的類單晶硅錠的制備方法,其特征在于,所述間斷地?cái)嚢杷龉枞垠w的方式為:每隔5min-1h攪拌一次所述硅熔體,每次攪拌時(shí)間為1min-1h。

4.如權(quán)利要求1所述的類單晶硅錠的制備方法,其特征在于,采用攪拌裝置攪拌所述硅熔體,攪拌時(shí),所述攪拌裝置逐漸上升,所述上升的速度大于或等于所述長晶的速度。

5.如權(quán)利要求4所述的類單晶硅錠的制備方法,其特征在于,攪拌過程中,所述攪拌裝置與所述籽晶層或所述硅熔體結(jié)晶形成的硅晶體的垂直距離為2cm-6cm。

6.一種類單晶硅錠,其特征在于,所述類單晶硅錠按照如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法制得。

7.一種類單晶硅鑄錠爐,其特征在于,包括鑄錠爐本體和攪拌裝置,所述鑄錠爐本體包括坩堝,所述攪拌裝置包括攪拌器和驅(qū)動(dòng)所述攪拌器運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置,所述攪拌器伸入所述坩堝中用于攪拌所述坩堝內(nèi)的硅熔體,所述驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述鑄錠爐本體上。

8.如權(quán)利要求7所述的類單晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述攪拌器包括攪拌槳,所述攪拌槳的長度為30cm-80cm。

9.如權(quán)利要求7所述的類單晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述攪拌器通過一連接桿與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接。

10.如權(quán)利要求7所述的類單晶硅鑄錠爐,其特征在于,所述攪拌器對所述硅熔體無污染,且熔點(diǎn)大于硅。

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