1.一種太陽能電池的雙面擴(kuò)散工藝,其特征在于它采用固態(tài)氧化鎵作為雜質(zhì)源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種太陽能電池的雙面擴(kuò)散工藝,其特征在于雙面擴(kuò)散步驟前還包括一個(gè)SiO2氧化層的形成步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種太陽能電池的雙面擴(kuò)散工藝,其特征在于其步驟為:
a)晶體硅片預(yù)處理:選取N型晶體硅片,將晶體硅片制絨后清洗;
b)氧化層形成:將步驟a)得到的晶體硅片放入氧化工序的石英管內(nèi),反應(yīng)條件:O2:8~10L/M,H2:12~14L/M,t:50~60min,T:850℃;
c)雙面擴(kuò)散:將用于擴(kuò)散源的氧化鎵粉末放入陶瓷坩堝中,將陶瓷坩堝和步驟b)得到的晶體硅片一起裝入石英管內(nèi),反應(yīng)條件:T=1150℃t=85~95min,N2=600~700ml/minH2:65~75ml/min,方塊電阻:40~50Ω/sq。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽能電池的雙面擴(kuò)散工藝,其特征在于其步驟為:
a)晶體硅片預(yù)處理:選取N型晶體硅片,將晶體硅片制絨后清洗;
b)氧化層形成:將步驟a)得到的晶體硅片放入氧化工序的石英管內(nèi),反應(yīng)條件:O2:8L/M,H2:12L/M,t:50min,T:850℃;
c)雙面擴(kuò)散:將用于擴(kuò)散源的氧化鎵粉末放入陶瓷坩堝中,將陶瓷坩堝和步驟b)得到的晶體硅片一起裝入石英管內(nèi),反應(yīng)條件:T=1150℃t=85min,N2=600ml/min H2:65ml/min,方塊電阻:50Ω/sq。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種太陽能電池的雙面擴(kuò)散工藝,其特征在于其步驟為:
a)晶體硅片預(yù)處理:選取N型晶體硅片,將晶體硅片制絨后清洗;
b)氧化層形成:將步驟a)得到的晶體硅片放入氧化工序的石英管內(nèi),反應(yīng)條件:O2:10L/M,H2:14L/M,t:60min,T:850℃;
c)雙面擴(kuò)散:將用于擴(kuò)散源的氧化鎵粉末放入陶瓷坩堝中,將陶瓷坩堝和步驟b)得到的晶體硅片一起裝入石英管內(nèi),反應(yīng)條件:T=1150℃t=95min,N2=700ml/min H2:75ml/min,方塊電阻:40Ω/sq。