技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠比較早地發(fā)現(xiàn)構(gòu)成結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)的零件的誤動(dòng)作或故障的單結(jié)晶制造裝置及制造方法。單結(jié)晶制造裝置具備從熔液（2）提拉單結(jié)晶（3）的結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)（14）和控制結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)（14）的控制部（30）。結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)（14）具備升降驅(qū)動(dòng)單結(jié)晶的提拉絲線（20）的馬達(dá)（23）、連接于馬達(dá)（23）的旋轉(zhuǎn)軸的減速齒輪、檢測(cè)馬達(dá)（23）的旋轉(zhuǎn)速度的旋轉(zhuǎn)編碼器（27）和檢測(cè)提拉絲線（20）的移動(dòng)量的位置編碼器（26）?？刂撇浚?0）根據(jù)將根據(jù)位置編碼器（26）及旋轉(zhuǎn)編碼器（27）的至少一方的輸出信號(hào)求出的單結(jié)晶（3）的實(shí)際的提拉速度和目標(biāo)提拉速度比較的結(jié)果，診斷結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)（14）的提拉動(dòng)作異常的有無(wú)。

技術(shù)研發(fā)人員：林田壽男
受保護(hù)的技術(shù)使用者：勝高股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.14
技術(shù)公布日：2017.08.11