技術(shù)編號(hào)：11570990
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及單結(jié)晶制造裝置及制造方法，特別涉及在由切克勞斯基法（以下稱作CZ法）進(jìn)行的單結(jié)晶的提拉工序中使用的單晶提拉機(jī)構(gòu)的故障診斷功能。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體設(shè)備的基板材料的硅單結(jié)晶的多數(shù)都借助CZ法制造。在CZ法中，將種晶浸漬到收容于石英坩堝內(nèi)的硅熔液中，在使種晶及坩堝旋轉(zhuǎn)的同時(shí)使種晶逐漸上升，由此使較大直徑的單結(jié)晶在種晶的下端生長(zhǎng)。在硅單結(jié)晶的提拉中采用例如使用絲線的結(jié)晶提拉機(jī)構(gòu)。種晶經(jīng)由種夾盤安裝在絲線的下端，將絲線的上端側(cè)用卷取鼓筒卷取，由此將種晶向上方提拉。驅(qū)動(dòng)卷取鼓筒的馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力經(jīng)由減...
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