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高品質(zhì)氮化硼納米管及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11579261閱讀:357來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明具體涉及一種高品質(zhì)氮化硼納米管及其制備方法,屬于無(wú)機(jī)納米材料領(lǐng)域。



背景技術(shù):

氮化硼納米管(bnnt)是一種非常重要的新型納米材料,自其發(fā)現(xiàn)以來(lái)受到了人們的廣泛關(guān)注。bnnt具有與碳納米管(cnt)類似的晶體結(jié)構(gòu),可以看作是硼和氮原子完全取代碳原子的產(chǎn)物。因而,bnnt不僅僅具有類似于cnt的優(yōu)異力學(xué)性能、導(dǎo)熱性,以及比cnt更出色的抗氧化性。這些獨(dú)特的性能使bnnt適用于絕緣材料、防護(hù)罩的封裝材料、航天飛行器的輻射屏蔽和核反應(yīng)堆設(shè)施等領(lǐng)域。同時(shí),bnnt具有寬的直接帶隙(近5.9ev),且電學(xué)性能不隨管徑和手性改變,在深紫外發(fā)光、紫外檢測(cè)和大功率高溫電子器件中有很好的應(yīng)用。

但是,高品質(zhì)氮化硼納米管的批量制備仍然是一個(gè)很大的挑戰(zhàn)。目前氮化硼納米管常用的合成方法有電弧放電法,激光燒蝕法,機(jī)械球磨法等。但這些方法存在成本高或者工藝復(fù)雜,產(chǎn)品產(chǎn)量低、品質(zhì)低等缺點(diǎn),嚴(yán)重限制了氮化硼納米管的廣泛應(yīng)用。zhi等人提出了一種bocvd的方法(solidstatecomm.135(2005)67~70),以硼和氧化鎂、氧化亞鐵為前驅(qū)物,通過(guò)置換反應(yīng)生成氧化硼蒸汽作為硼源,與氨氣反應(yīng)獲得bnnt。這種方法可以獲得克級(jí)的bnnt,但是所得bnnt管徑較粗,形貌分布不均勻,而且設(shè)備的構(gòu)造比較特殊,代價(jià)昂貴。又如,cn101580236b提出以無(wú)機(jī)含硼前驅(qū)體退火制備氮化硼納米管,例如以mgb2、mgb4、mgb6、cab6、srb6、bab6、yb6、lab6或ceb6等作為b源,在高溫下與氨氣反應(yīng),并進(jìn)一步提純應(yīng)得到氮化硼納米管,該方法產(chǎn)率雖然較高,但是產(chǎn)物形貌差,純度低,質(zhì)量不高。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的主要目的在于提供一種高品質(zhì)氮化硼納米管及其制備方法,以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。

為實(shí)現(xiàn)前述發(fā)明目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案包括:

本發(fā)明實(shí)施例例提供了一種高品質(zhì)氮化硼納米管的制備方法,其包括:將硼粉與過(guò)渡金屬氧化物和稀土金屬氧化物均勻混合后置入化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,并在保護(hù)性氣氛中加熱至1100~1500℃,之后通入反應(yīng)氣體,保溫反應(yīng)0.5h以上,獲得所述高品質(zhì)氮化硼納米管。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了由所述方法制備的高品質(zhì)氮化硼納米管,其長(zhǎng)度約100~500μm,管徑約10~15nm,管壁數(shù)約5~20層,形貌均一。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明至少具有如下有益效果:提供的氮化硼納米管制備方法通過(guò)采用過(guò)渡金屬和稀土金屬的協(xié)同催化作用而制得了高品質(zhì)的氮化硼納米管,其工藝簡(jiǎn)單,易于操作,利于實(shí)現(xiàn)批量生長(zhǎng),且所獲氮化硼納米管管徑均一,管長(zhǎng)可達(dá)500微米,純度在98%以上,在深紫外器件、復(fù)合材料、導(dǎo)熱材料等領(lǐng)域具有應(yīng)用前景。

附圖說(shuō)明

圖1為實(shí)施例1所獲氮化硼納米管的sem圖片;

圖2為實(shí)施例2所獲氮化硼納米管的sem圖片;

圖3為實(shí)施例2所獲氮化硼納米管的tem圖片;

圖4為實(shí)施例3所獲氮化硼納米管的xrd譜圖;

圖5為實(shí)施例3所獲氮化硼納米管的raman光譜圖。

具體實(shí)施方式

如前所述,鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的不足,本案發(fā)明人經(jīng)長(zhǎng)期研究和大量實(shí)踐,得以提出本發(fā)明的技術(shù)方案。該技術(shù)方案主要是基于化學(xué)氣相沉積法而實(shí)現(xiàn)的,采用過(guò)渡金屬和稀土金屬協(xié)同催化生長(zhǎng)而獲得高品質(zhì)氮化硼納米管。

本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)方面提供了一種高品質(zhì)氮化硼納米管的制備方法,其包括:將硼粉與過(guò)渡金屬氧化物和稀土金屬氧化物均勻混合后置入化學(xué)氣相沉積設(shè)備中,并在保護(hù)性氣氛中加熱至1100~1500℃,之后通入反應(yīng)氣體,保溫反應(yīng)0.5h以上,獲得所述高品質(zhì)氮化硼納米管。

進(jìn)一步的,所述過(guò)渡金屬氧化物包括但不限于nio、coo和fe2o3中的任意一種或兩種以上的組合,優(yōu)選為nio。

進(jìn)一步的,所述稀土金屬氧化物包括但不限于y2o3、ce2o3和eu2o3中的任意一種或兩種以上的組合,優(yōu)選為y2o3。

較為優(yōu)選的,所述硼粉與過(guò)渡金屬氧化物及稀土金屬氧化物的摩爾比為1:10~10:1。

較為優(yōu)選的,所述過(guò)渡金屬氧化物與稀土金屬氧化物的摩爾比為1:10~10:1。

進(jìn)一步的,用以形成所述保護(hù)性氣氛的氣體包括ar、n2、h2中的任一種或兩種以上的組合,但不限于此。

進(jìn)一步的,所述反應(yīng)氣體包括氨氣和/或n2,但不限于此。

在一些較為具體的實(shí)施例方案中,所述的制備方法可以包括如下步驟:

(1)將硼粉與過(guò)渡金屬氧化物和稀土金屬氧化物置于高溫區(qū)反應(yīng)坩堝(例如高溫區(qū)氧化鋁舟)中,并以耐高溫基底覆蓋,之后置入化學(xué)氣相沉積設(shè)備(例如管式爐);

(2)在保護(hù)氣氛中,以10~30℃/min的升溫速率升溫至1100~1500℃,之后通入反應(yīng)氣體,保溫0.5~5h,獲得所述高品質(zhì)氮化硼納米管。

進(jìn)一步的,所述制備方法還可包括以下步驟:

3)沉積結(jié)束后,關(guān)閉反應(yīng)氣體,打開(kāi)保護(hù)氣體冷卻至室溫。

進(jìn)一步的,所述耐高溫基底包括硅片、氧化硅片、藍(lán)寶石或不銹鋼片,但不限于此。

本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)方面提供了由前述任一項(xiàng)方法制備的高品質(zhì)氮化硼納米管,其長(zhǎng)度約100~500μm,管徑約10~15nm,管壁數(shù)約5~20層,形貌均一,純度在98%以上,無(wú)其他形態(tài)產(chǎn)物。

本發(fā)明采用過(guò)渡金屬和稀土金屬作為協(xié)同催化劑,其中過(guò)渡族金屬(fe、co、ni等)由于具有不滿的3d軌道電子,而稀土金屬(y、ce、eu等)的特殊外層電子結(jié)構(gòu)(4f)具有7個(gè)后備價(jià)電子成鍵能力的各種配位數(shù),起著諸如“后備化學(xué)鍵”或“剩余原子價(jià)”的作用,使稀土元素及其氧化物具有較高的催化活性,特別是在與其它催化劑(例如過(guò)渡族金屬及其氧化物)共同使用時(shí)可協(xié)同提高彼此的催化性能,基于這樣的原因,本發(fā)明的基于過(guò)渡金屬和稀土金屬的雙金屬催化劑可以實(shí)現(xiàn)對(duì)b元素和n元素的良好溶解和析出,進(jìn)而得以生產(chǎn)出高品質(zhì)的氮化硼納米管。

以下結(jié)合附圖和若干實(shí)施例例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

實(shí)施例1:取晶體硼粉、氧化亞鎳和氧化釔以摩爾比2:2:1混合,然后球磨4小時(shí),取出混合物200mg放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋氧化硅片,置于cvd爐中,用ar排除爐腔中的空氣,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的ar和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1400℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氨氣200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm),保溫60min,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氨氣,在氬氣氣氛中降溫到室溫。

實(shí)施例2:取晶體硼粉、氧化亞鎳和氧化釔以摩爾比為2:1:0.5混合,然后球磨4小時(shí),取出混合物放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋裸硅片,置于cvd爐中,用n2排除爐腔中的空氣,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的n2和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1400℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氨氣200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm),保溫120min,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氨氣,在氬氣氣氛中降溫到室溫。之后取出樣品,得到硅片上有一層均勻的柔軟的白色薄膜狀產(chǎn)物。其sem和tem照片分別如圖2和圖3所示,可以看到其中氮化硼管的管徑均一,而且不用經(jīng)過(guò)后處理其純度高可達(dá)98%。

實(shí)施例3:取晶體硼粉、氧化鐵和氧化釔以摩爾比為2:0.5:1混合,然后球磨4小時(shí),取出 混合物放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋藍(lán)寶石,置于cvd爐中,抽真空至10-3pa,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的n2和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1300℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氮?dú)?00sccm,保溫120min,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氮?dú)?,在氬氣氣氛中降溫到室溫。之后取出樣品,得到舟中的粉體為白色產(chǎn)物,表征其為氮化硼納米管。

實(shí)施例4:取晶體硼粉、氧化鈷和氧化釔以摩爾比2:1:1混合,然后球磨4小時(shí),取出混合物放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋硅片,置于cvd爐中,用ar排除爐腔中的空氣,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的ar和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1200℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氨氣300標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm),保溫120min,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氨氣,在氬氣氣氛中降溫到室溫。之后取出樣品,硅片上得到一層均勻的柔軟的白色薄膜狀產(chǎn)物。

實(shí)施例5:取晶體硼粉、氧化鎳和氧化鈰以摩爾比為10:1:5混合,然后球磨4小時(shí),取出混合物放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋硅片,置于cvd爐中,抽真空至10-3pa,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的n2和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1100℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氨氣300標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm),保溫5h,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氨氣,在氬氣氣氛中降溫到室溫。

實(shí)施例6:取晶體硼粉、氧化鈷和氧化銪以摩爾比為2:1:0.5混合,然后球磨4小時(shí),取出混合物放入氧化鋁舟中,在其上覆蓋裸硅片,置于cvd爐中,用n2排除爐腔中的空氣,通入200標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm)的ar和100sccm的h2,以10~30℃/min的升溫速率升溫到1500℃。然后關(guān)閉n2和h2,通入氨氣300標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘(sccm),保溫120min,反應(yīng)結(jié)束關(guān)閉氨氣,在氬氣氣氛中降溫到室溫。

應(yīng)當(dāng)理解,以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例例,并不用于限制本發(fā)明,顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。倘若對(duì)本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。

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