技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種單晶硅錠的生長裝置，主要涉及單晶爐用熱場，主要包括：石墨坩堝、加熱器、上下保溫筒、支撐環(huán)、保溫罩、導流筒、坩堝托盤、坩堝支撐軸和底盤保溫層。本發(fā)明通過優(yōu)化石墨坩堝的結(jié)構(gòu)、加熱器結(jié)構(gòu)和調(diào)整保溫材料，來改善單晶爐的保溫效果，改善熱場分布，從而降低能耗；并且可以增加石墨坩堝、加熱器等部件的重復使用率，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：沈思情;宋洪偉
受保護的技術(shù)使用者：上海超硅半導體有限公司
文檔號碼：201510959044
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.21
技術(shù)公布日：2017.06.27