技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明創(chuàng)造提供一種新型區(qū)熔氣摻單晶的摻雜氣路，所述摻雜氣路管道結(jié)構(gòu)為“π”字型，所述“π”字型摻雜氣路中間為一段足夠長的L段管道，所述L段管道的一端連通保護氣進氣口、摻雜氣進氣口，另一端連通出氣口及排氣口，所述出氣口進入爐膛內(nèi)部，所述保護氣進氣口、摻雜氣進氣口及出氣口均設(shè)有流量計，所述排氣口設(shè)有壓力閥。本發(fā)明創(chuàng)造提供的新型摻雜氣路能夠在區(qū)熔爐有限的空間內(nèi)使摻雜氣與保護氣在入爐前充分均勻混合，改善氣摻單晶均勻性、提高摻雜效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王彥君;張雪囡;韓暐;郝大維;劉琨;駱紅磊;邊智學(xué);王遵義
受保護的技術(shù)使用者：天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
文檔號碼：201410654187
技術(shù)研發(fā)日：2014.11.17
技術(shù)公布日：2017.02.22