一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，包括與氨氣收集管道相連的過濾裝置，其特征在于：所述的過濾裝置前的管道上設(shè)有一含堿性溶液的噴霧裝置。本實(shí)用新型所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，用于完善氮化鎵led工藝廢氣的氨氣回收，具有的有益效果為：可以有效避免膜組件堵塞，延長氨氣回收膜組件的壽命。
【專利說明】一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氨氣處理領(lǐng)域，特別涉及一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前利用膜法對氨氣進(jìn)行回收的廠商主要有格綠科技(專利號:ZL201120536719.9)、國麟科技(專利號:ZL201010573546.8)和威士邦膜科技有限公司申請的一種膜法氨氣處理回收裝置及工藝(專利申請?zhí)?201310289244.1)及一種膜法氨氣處理回收裝置(專利申請?zhí)?201320410141.1)，但是將該膜法氨氣回收膜組件應(yīng)用在氮化鎵的LED行業(yè)的氨氣回收時，使用長時間后造成上述膜組件堵塞。
[0003]分析造成上述膜組件堵塞的原因?yàn)?在采用MOCVD生產(chǎn)氮化鎵的LED時，由于工藝原因，制程廢氣除了大量的氮?dú)?、氫氣、氨氣，還有少量或微量痕量其它氣體或成分(對氨氣回收組件來說，這些成分造成膜組件堵塞，故以下統(tǒng)稱雜質(zhì)):硅烷氣，如甲硅烷或乙硅烷；三甲基鎵；三甲基銦；三甲基鋁；三甲基鎂等。這些雜質(zhì)在有水相存在下或堿性的水相下發(fā)生反應(yīng)列舉如下:
【權(quán)利要求】
1.一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，包括與氨氣收集管道依次相連的風(fēng)機(jī)、過濾裝置、管道換熱器、氨氣吸收組件，其特征在于:所述的過濾裝置前的管道上設(shè)有一含堿性溶液的噴霧裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，其特征在于:所述的噴霧裝置為超聲霧化器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，其特征在于:所述的噴霧裝置為利用高速旋轉(zhuǎn)的霧化盤利用離心力將液體甩出去、撕碎為小液滴的噴霧器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，其特征在于:所述的噴霧裝置為利用把水壓入細(xì)管造成高速水流，高速水流碰到障礙物后裂成小水滴的原理的噴霧器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，其特征在于:所述的堿性溶液為氫氧化鈉溶液、氫氧化鉀溶液、碳酸鈉溶液或碳酸氫鈉溶液。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的一種防堵塞膜法氨氣處理回收裝置，其特征在于:所述的過濾裝置為并聯(lián)的2組過濾裝置。
【文檔編號】C01C1/12GK203635033SQ201320549401
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月5日
【發(fā)明者】王俊川, 林玉泰, 黃德昌, 鄧家添 申請人:廈門綠邦膜技術(shù)有限公司