一種反吹氫氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種反吹氫氣裝置，包括：一氫氣進氣緩沖罐，一與氫氣進氣緩沖罐進口連接的進氣調(diào)節(jié)閥，所述氫氣進氣緩沖罐出口連接一并列設(shè)置的兩臺隔膜壓縮機，一氫氣排氣緩沖罐，與兩臺隔膜壓縮機的出口連接，其接受壓縮至需要壓力的反吹氫氣，還包括一氫氣流量計，以及一與氫氣流量計連接的氫氣分配管。采用新生氫氣作為反吹氣源，壓縮到25barg以上，既解決了反吹氫氣里混有少量氯硅烷的問題，又可以提升反吹氫氣與急冷塔之間的壓差，通過此設(shè)計，可以很好的解決上述問題，極大地提高系統(tǒng)的安全性。
【專利說明】一種反吹氫氣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種反吹氫氣裝置，解決多晶硅生產(chǎn)中漿料堵塞反吹壓差液位計的問題。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅三氯氫硅合成尾氣經(jīng)過干式旋風(fēng)過濾后進入急冷塔洗滌除塵，尾氣中的硅粉顆粒沉降，鋁、鐵等金屬氯化物凝華而留在塔底部，形成含有固體顆粒漿料，而急冷塔的液位測量對整個系統(tǒng)的穩(wěn)定起到關(guān)鍵性作用，測定其液位目前都采取系統(tǒng)內(nèi)氫氣背壓方式來測定，需要對測壓點進行氫氣反吹，反吹氫氣的來源及壓力就顯得尤為重要。多晶硅生產(chǎn)的氯氫化系統(tǒng)是一個氫氣系統(tǒng)，整個系統(tǒng)的壓力靠循環(huán)氫氣壓縮機提供，系統(tǒng)循環(huán)氫氣里面含有少量的氯硅烷，利用其作為反吹氫氣有以下缺點:
[0003]1、氫氣中所含少量氯硅烷在冷凝后容易堵塞液位計引壓管；
[0004]2、壓力與急冷塔壓差不大，流速小反吹效果不明顯，取壓口容易被漿料堵塞。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種反吹氫氣裝置，采用新生氫氣作為反吹氣源，壓縮到25barg以上，既解決了反吹氫氣里混有少量氯硅烷的的問題又可以提升反吹氫氣與急冷塔之間的壓差，通過此設(shè)計，可以很好的解決上述問題，極大地提高系統(tǒng)的安全性。
[0006]為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]一種反吹氫氣裝置，包括:
[0008]一氫氣進氣緩沖罐，
[0009]一與氫氣進氣緩沖罐進口連接的進氣調(diào)節(jié)閥，所述氫氣進氣緩沖罐出口連接一并列設(shè)置的兩臺隔膜壓縮機，
[0010]一氫氣排氣緩沖罐，與兩臺隔膜壓縮機的出口連接，其接受壓縮至需要壓力的反吹氫氣，
[0011]還包括一氫氣流量計，以及一與氫氣流量計連接的氫氣分配管。
[0012]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述氫氣進氣緩沖罐一側(cè)，氫氣排氣緩沖罐一側(cè)以及氫氣分配管的氣流通道上均安裝一壓力表。
[0013]通過上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是:
[0014]降低壓差液位計維護費用，減少儀表的更換頻率；液位測量更加準確，實現(xiàn)系統(tǒng)的自動化操作；
[0015]使目前漿料系統(tǒng)的液位測量更加準確，從而使系統(tǒng)操作更加精確，減少了誤操作的可能，極大地增加了多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)的安全連續(xù)穩(wěn)定，提高了系統(tǒng)的可靠性。
【專利附圖】

【附圖說明】[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0019]參照圖1，一種反吹氫氣裝置，包括:
[0020]一氫氣進氣緩沖罐2，
[0021 ] 一與氫氣進氣緩沖罐2進口連接的進氣調(diào)節(jié)閥I，所述氫氣進氣緩沖罐2出口連接一并列設(shè)置的兩臺隔膜壓縮機3，
[0022]一氫氣排氣緩沖罐4，與兩臺隔膜壓縮機3的出口連接，其接受壓縮至需要壓力的反吹氫氣，
[0023]還包括一氫氣流量計5，以及一與氫氣流量計5連接的氫氣分配管6。
[0024]在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中，所述氫氣進氣緩沖罐2 —側(cè)，氫氣排氣緩沖罐4 一側(cè)以及氫氣分配管6的氣流通道上均安裝一壓力表7。
[0025]本實用新型利用壓縮后的高壓力氫氣與原系統(tǒng)壓力形成的高壓差，有效地杜絕了漿料進入引壓管堵塞測量儀表，同時因使用原生氫氣不含循環(huán)氫氣中的氯硅烷防止了在引壓管中的冷凝。
[0026]本裝置需要使用的設(shè)備包括氫氣進氣緩沖罐、隔膜壓縮機(一備一用)，進氣調(diào)節(jié)閥和儀器儀表。13barg新鮮氫氣，溫度?45°C以下由界外引入，經(jīng)過進氣調(diào)節(jié)閥I穩(wěn)壓后，首先進入氫氣進氣緩沖罐2，再經(jīng)隔膜壓縮機3增壓至2.5MPa進入氫氣排氣緩沖罐4，經(jīng)氫氣流量計5計量后進入氫氣分配管6后分配至各個反吹壓差液位計引壓口，防止氯硅烷氣體堵塞管道的可能性。對各個引壓口進行持續(xù)吹掃，因為系統(tǒng)為氫氣系統(tǒng)，補充進來的氫氣可以繼續(xù)參與系統(tǒng)反應(yīng)，減少系統(tǒng)氫氣的補充量。
[0027]吹掃的氫氣進入整個大系統(tǒng)，在系統(tǒng)里面循環(huán)，沒有產(chǎn)生浪費。隔膜壓縮機3以備一用，保持與系統(tǒng)的長周期運行。
[0028]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種反吹氫氣裝置，其特征在于，包括: 一氫氣進氣緩沖罐， 一與氫氣進氣緩沖罐進口連接的進氣調(diào)節(jié)閥，所述氫氣進氣緩沖罐出口連接一并列設(shè)置的兩臺隔膜壓縮機， 一氫氣排氣緩沖罐，與兩臺隔膜壓縮機的出口連接，其接受壓縮至需要壓力的反吹氫氣， 還包括一氫氣流量計，以及一與氫氣流量計連接的氫氣分配管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反吹氫氣裝置，其特征在于:所述氫氣進氣緩沖罐一側(cè)，氫氣排氣緩沖罐一側(cè)以及氫氣分配管的氣流通道上均安裝一壓力表。
【文檔編號】C01B33/021GK203428919SQ201320397473
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月4日
【發(fā)明者】徐巖, 賈坤, 薛濤, 陳自力, 盧思恩, 王朝, 胡陽濤 申請人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司