專利名稱：濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝中三氯氫硅合成設備，特別是濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構。
背景技術：
傳統(tǒng)的三氯氫硅合成工藝中，一般設計有兩套三氯氫硅合成爐，該兩套三氯氫硅合成爐均有相互獨立的濕法除塵系統(tǒng)。濕法除塵系統(tǒng)主要用于濕法凈化，目的是脫除從干法系統(tǒng)送來的氣體中所含的少量細小硅塵及其它高沸點雜質，降低汽氣混合物的溫度，使其處于一個合適的溫度，有利于氯硅烷及雜質的分離，以及通過與有限質量的增濕氫接觸進行局部水解而達到除去金屬氯化物。由于金屬氯化物在溫度降低的情況下極易凝膠和固化，加之少量硅塵的淤積，濕法系統(tǒng)在運行一段時間后，極易出現(xiàn)堵塞的情況，需要定期進行檢修和清洗，由于原有計設的三氯氫硅合成工藝中兩套濕法系統(tǒng)為相互獨立，無法切換，一旦運行中的濕法系統(tǒng)出現(xiàn)問題，將導致整個合成工序全面停車，嚴重制約合成車間連續(xù)穩(wěn)定運行，從而造成三氯氫硅合成工序運行周期較短，濕法系統(tǒng)出現(xiàn)問題的周期和遠遠低于三氯氫硅合成爐的運行周期，而濕法系統(tǒng)出現(xiàn)問題的概率卻遠遠高于三氯氫硅合成爐出現(xiàn)問題的概率，每次因停一套系統(tǒng)遠行另一套系統(tǒng)的周期較長且能源消耗量較大，故需通過技術改進方式提高三氯氫硅合成整系統(tǒng)的運行周期。

實用新型內容本實用新型為解決上述技術問題，提出了濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，通過增加濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線，揚長避短提高三氯氫硅合成系統(tǒng)的整體運行周期，解決了三氯氫硅合成運行周期較短問題，并節(jié)約重啟三氯氫硅合成爐所需的能源消耗。本實用新型的技術方案如下濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于在兩套獨立的濕法系統(tǒng)的進氣管線之間設置一連通管線，使兩套濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構。該連通管線采用，耐磨、耐腐蝕材質，其耐溫范圍為0_200°C，耐壓值為0-0. 5Mpa。所述在連通管線的兩端靠近端部位置分別設置有閥門。該兩個閥門均為手動閥門，并且均為耐高溫耐磨損的閥門。同時，在兩個濕法系統(tǒng)的進氣管線在進增濕塔前的300-200mm處均設置有球閥。該兩個球閥均為手動球閥，并且均為耐高溫耐磨損的球閥。本實用新型的有益效果如下本實用新型通過增加設置的連通管線讓濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構，從而有效解決了三氯氫硅合成運行周期較短問題，揚長避短提高三氯氫硅合成系統(tǒng)的整體運行周期， 并節(jié)約重啟三氯氫硅合成爐所需的能源消耗。
圖1為本實用新型的結構示意圖其中，附圖標記為1-2閥門，3-4手動球閥，1. 299,1. 301兩套濕法系統(tǒng)的進增濕塔，VGM11012301-100-C2SH-H 及 VGM11012302-100-C2SH-H 進氣管線。
具體實施方式
如圖1所示，在現(xiàn)有的兩套濕法之間增加一條連通管線，該連通管線連通了兩套濕法系統(tǒng)1. 299,1. 301的兩條進氣管線VGM11012301-100-C2SH-H及 VGMl 1012302-100-C2SH-H，使原來獨立的兩套濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構。為防止氣體互竄，在該連通管線的兩端分別設置有兩個閥門1、2，該兩個閥門均為手動閥，并且選擇的為耐高溫耐磨損的閥門。另外，還在原濕法系統(tǒng)的兩條進氣管線VGM11012301-100-C2SH-H及 VGM11012302-100-C2SH-H的進增濕塔1. 299,1. 303的300_200mm處分別增加手動球閥3、 4，該兩處的手動球閥選擇耐高溫而磨損的硬密封球閥。在現(xiàn)有的兩套濕法之間增加一條管線，此條管線連通兩套濕法系統(tǒng)進氣管線 (VGM11012301-100-C2SH-H)及管線(VGM11012302-100-C2SH-H)，為防止氣體互竄，故需要在新增管線的兩端分別增加兩個閥門(此手動閥需選擇耐高溫而磨損的閥門)，另需在原濕法進氣管線(VGM11012301-100-C2SH-H)及管線(VGM11012302-100-C2SH-H)進增濕塔 (1. 299,1. 303) 300mm處分別增加手動球閥(此手動閥需選擇耐高溫而磨損的閥門)。
權利要求1.濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于在兩套獨立的濕法系統(tǒng)的進氣管線之間設置一連通管線，安裝此管線后能使兩套濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構，所述連通管線為耐磨、耐腐蝕材質。
2.根據(jù)權利要求1所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于所述連通管線的耐溫范圍為0-200°C，耐壓值為0-0. 5Mpa。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于在所述連通管線的兩端靠近端部位置分別設置有閥門。
4.根據(jù)權利要求3所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于所述兩個閥門均為手動閥門。
5.根據(jù)權利要求4所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于所述兩個閥門均為耐高溫耐磨損的閥門。
6.根據(jù)權利要求5所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于在兩個濕法系統(tǒng)的進氣管線在進增濕塔前300-200 mm處均設置有球閥。
7.根據(jù)權利要求6所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于所述兩個球閥均為手動球閥。
8.根據(jù)權利要求7所述的濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，其特征在于所述兩個球閥均為耐高溫耐磨損的球閥。
專利摘要本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝中三氯氫硅合成設備，特別是濕法系統(tǒng)間的并聯(lián)管線結構，在兩套獨立的濕法系統(tǒng)的進氣管線之間設置一連通管線，使兩套濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構；本實用新型通過增加設置的連通管線讓濕法系統(tǒng)形成并聯(lián)管線結構，從而有效解決了三氯氫硅合成運行周期較短問題，揚長避短提高三氯氫硅合成系統(tǒng)的整體運行周期，并節(jié)約重啟三氯氫硅合成爐所需的能源消耗。
文檔編號C01B33/107GK202175566SQ20112028573
公開日2012年3月28日 申請日期2011年8月8日 優(yōu)先權日2011年8月8日
發(fā)明者付斌, 劉國成, 劉科, 諶亮 申請人:天威四川硅業(yè)有限責任公司