專利名稱:用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，包括底座、固定連接單晶托的圓板形的托盤和用于磁化托盤的磁體，所述托盤的一側(cè)圓端面上沿圓外周垂直一圈凸緣，所述磁體固定連接在托盤的另一側(cè)圓端面上，磁體和托盤通過支撐架固定設(shè)置在底座上。使用本實(shí)用新型拆裝方便快速，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及加工機(jī)械中使用的固定工具，尤其是一種固定卡盤，屬于機(jī)械加工工裝領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】
[0002]在加工機(jī)械中，固定卡盤的應(yīng)用極為普遍。單晶粘料機(jī)主要用于單晶硅圓棒的粘接，是硅棒進(jìn)行線開方作業(yè)前最嚴(yán)格的工序，對(duì)其精度要求極高。傳統(tǒng)的固定卡盤通常采用螺絲與放置硅棒的單晶托固定，使用時(shí)首先將單晶托放到托盤上，然后用螺絲固定，待粘結(jié)完成后，再松開螺絲，將托盤連帶單晶取下。上述固定方式的安裝拆卸麻煩，使用不方便，影響工作效率，同時(shí)由于經(jīng)常拆裝，單晶托和固定螺絲均容易磨損，需要經(jīng)常更換螺絲、維修單晶托，縮短了使用壽命，同時(shí)影響產(chǎn)品的精度。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，拆裝單晶托方便快速，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案如下:
[0005]一種用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，包括底座、固定連接單晶托的圓板形的托盤和用于磁化托盤的磁體，所述托盤的一側(cè)圓端面上沿圓外周垂直一圈凸緣，所述磁體固定連接在托盤的另一側(cè)圓端面上，磁體和托盤通過支撐架固定設(shè)置在底座上。
[0006]上述用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述磁體上設(shè)置開關(guān)。
[0007]上述用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述托盤的凸緣上開設(shè)有定位孔。
[0008]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0009]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便，在粘接單晶前，將單晶托安裝到托盤上，閉合開關(guān)，通過磁體對(duì)托盤進(jìn)行加磁，使托盤與單晶托固定連接；待單晶粘接完成后，斷開開關(guān)，進(jìn)行去磁操作，單晶托與托盤分離。提高了工作效率，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)防止了單晶托的磨損，延長(zhǎng)了使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
[0010]在磁體上設(shè)置開關(guān)，加磁去磁操作方便。托盤凸緣的定位孔保證單晶在粘結(jié)及切割過程中單晶的棱線、即晶向與切割面平行，確保產(chǎn)品精度。

【附圖說明】

[0011]圖1是本實(shí)用新型的主視圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。
[0013]圖中各標(biāo)號(hào)表示為:1、托盤，2、磁體，3、開關(guān)，4、支撐架，5、底座，6、定位軸，7、定位孔。

【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0015]一種用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示，包括托盤1、磁體2、支撐架4和底座5。所述托盤I與磁體2固定連接，所述支撐架4的底端與底座5固定相連；支撐架4的頂端與磁體2固定連接。
[0016]所述托盤I用于固定連接單晶托，托盤I為圓板形狀結(jié)構(gòu)，托盤I的中心設(shè)置定位軸6，通過定位軸6將托盤與磁體固定連接。在粘結(jié)單晶時(shí)單晶托中心與定位軸6同軸心，保證能夠單晶中心定位準(zhǔn)確。在圓板其中的一側(cè)圓端面上沿圓外周垂直一圈凸緣，所述凸緣上開設(shè)有定位孔7。托盤I的另一側(cè)圓端面與磁體2固定相連。
[0017]所述磁體2用于給托盤I加磁，磁體2固定連接在托盤I的圓端面上，在磁體2上設(shè)置開關(guān)3。磁體2和托盤I通過支撐架4固定設(shè)置在底座5上。
[0018]本實(shí)用新型的使用方法為:
[0019]本發(fā)明在固定過程中采用磁力固定，當(dāng)進(jìn)行單晶粘接時(shí)，閉合開關(guān)3，磁體2對(duì)托盤I加磁，通過磁力使托盤I與單晶托固定連接；當(dāng)需要取下單晶托時(shí)，斷開開關(guān)3，托盤I去磁，單晶托即能取下。
[0020]上述方案僅作為本實(shí)用新型可實(shí)施的技術(shù)方案提出，不作為對(duì)其技術(shù)方案本身的單一限制條件。
【權(quán)利要求】
1.一種用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，其特征在于:包括底座(5)、固定連接單晶托的圓板形的托盤(I)和用于磁化托盤(I)的磁體(2)，所述托盤(I)的一側(cè)圓端面上沿圓外周垂直一圈凸緣，所述磁體(2)固定連接在托盤(I)的另一側(cè)圓端面上，磁體(2)和托盤(I)通過支撐架(4)固定設(shè)置在底座(5)上；所述托盤(I)的凸緣上開設(shè)有定位孔(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于單晶粘料機(jī)的磁性固定卡盤，其特征在于:所述磁體(2)上設(shè)置開關(guān)(3)。
【文檔編號(hào)】C30B33-06GK204265892SQ201420725005
【發(fā)明者】王志勇, 吳濤, 呂思迦, 楊建勇, 谷元超, 劉建勇 [申請(qǐng)人]寧晉晶興電子材料有限公司