一種硅晶棒倒角設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于硅晶片制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅晶棒倒角設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在娃晶片生廣制造的過程中，需要將娃晶棒進(jìn)行切片，但是在切片之前為了保證切片后娃晶片的質(zhì)量需要將娃晶棒倒角，未倒角的娃晶棒切片后的娃晶片邊緣表面會(huì)存在有棱角毛刺崩邊甚至有裂縫等缺陷，邊緣表面比較粗糙，為了增加硅晶片邊緣表面機(jī)械強(qiáng)度、減少顆粒污染，因此需要將硅晶棒的邊緣磨削呈圓弧狀或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角設(shè)備上進(jìn)行，在倒角時(shí)，對硅晶棒一棱角打磨完成后需要將硅晶棒翻轉(zhuǎn)90度，再對另一棱角進(jìn)行打磨?，F(xiàn)有的一種硅晶棒倒角設(shè)備包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于放置硅晶棒的V形槽，V形槽的下方設(shè)有安裝于機(jī)體內(nèi)的打磨組件，V形槽的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體上的支架、水平設(shè)置的第一活動(dòng)板、驅(qū)動(dòng)第一活動(dòng)板上下移動(dòng)的第一氣缸、兩相對設(shè)置的第二活動(dòng)板、固定在所述第一活動(dòng)板上的用于驅(qū)動(dòng)兩第二活動(dòng)板相向或相離運(yùn)動(dòng)的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設(shè)有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動(dòng)板內(nèi)側(cè)相對位置裝設(shè)有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。該設(shè)備在運(yùn)行時(shí)，將硅晶棒放入V形槽內(nèi)，通過打磨組件對硅晶棒的下棱角進(jìn)行打磨，打磨完成后通過翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)將硅晶棒翻轉(zhuǎn)90度再對下一棱角打磨，具體在翻轉(zhuǎn)時(shí)，先由第一氣缸帶動(dòng)第二活動(dòng)板下移使夾塊處于與硅晶棒兩端中心相對的位置，然后第二氣缸帶動(dòng)兩第二活動(dòng)板相向移動(dòng)并由兩夾塊夾緊硅晶棒，再通過第一氣缸帶動(dòng)向上移動(dòng)一定高度后，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)硅晶棒轉(zhuǎn)動(dòng)90度后將硅晶棒放入V形槽內(nèi)由打磨組件繼續(xù)打磨，此翻轉(zhuǎn)打磨步驟循環(huán)三次即可將硅晶棒的四個(gè)棱角打磨完畢。上述硅晶棒倒角設(shè)備存在的問題是，第二活動(dòng)板始終處于懸空，僅通過氣缸桿與第二氣缸連接，這樣一來，在翻轉(zhuǎn)硅晶棒時(shí)，硅晶棒重量是由第二氣缸的氣缸桿在承受，長期使用后氣缸桿難免會(huì)發(fā)生彎曲變形，進(jìn)而無法正常伸縮，影響了設(shè)備正常工作。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)合理的硅晶棒倒角設(shè)備，從而能夠有效避免其上翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在翻轉(zhuǎn)工作過程中，第二氣缸的氣缸桿發(fā)生彎曲變形。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種硅晶棒倒角設(shè)備，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于放置晶棒的V形槽，V形槽的下方設(shè)有安裝于機(jī)體內(nèi)的打磨組件，V形槽的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體上的支架、水平設(shè)置的第一活動(dòng)板、驅(qū)動(dòng)第一活動(dòng)板上下移動(dòng)的第一氣缸、兩相對設(shè)置的第二活動(dòng)板、固定在所述第一活動(dòng)板上的用于驅(qū)動(dòng)兩第二活動(dòng)板相向或相離運(yùn)動(dòng)的第二氣缸，所述第二氣缸為兩端均設(shè)有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動(dòng)板內(nèi)側(cè)相對位置裝設(shè)有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn);第一活動(dòng)板上設(shè)有沿第二氣缸軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，所述第二活動(dòng)板的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽滑動(dòng)配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)。
[0005]采用上述結(jié)構(gòu)后，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):所述第一活動(dòng)板上設(shè)有沿第二氣缸軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，所述第二活動(dòng)板的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽滑動(dòng)配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)，這樣通過燕尾凸臺(tái)與燕尾槽的配合從而將第一活動(dòng)板與第二活動(dòng)板活動(dòng)連接，所述第二活動(dòng)板在受第二氣缸驅(qū)使移動(dòng)的過程中，燕尾凸臺(tái)與對應(yīng)的燕尾槽位置隨之發(fā)生相對移動(dòng)，在翻轉(zhuǎn)硅晶棒時(shí)，硅晶棒的重量由第一活動(dòng)板和第二氣缸的氣缸桿共同承擔(dān)，從而能夠避免僅由第二氣缸的氣缸桿承受硅晶棒重量時(shí)容易發(fā)生彎曲變形的問題;實(shí)際操作中，為了減小燕尾凸臺(tái)與燕尾槽間的摩擦力，可在兩者之間設(shè)置滾輪。
[0006]作為改進(jìn)，第二氣缸通過螺栓組件固定在第一活動(dòng)板上，所述第一活動(dòng)板上對應(yīng)安裝第二氣缸的位置設(shè)有定位凸臺(tái)，所述第二氣缸上設(shè)有與所述定位凸臺(tái)配合的定位槽，這樣，將定位凸臺(tái)與定位槽配合后，能夠?qū)⒌诙飧卓焖俣ㄎ?，從而便于第二氣缸上的螺孔與第一活動(dòng)板上的螺孔對齊，方便螺栓組件固定。
[0007]作為改進(jìn)，螺栓組件包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母，這樣一來就能夠?qū)⒌诙飧桌慰康墓潭ㄔ诘谝换顒?dòng)板上。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型中硅晶棒倒角設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2為本實(shí)用新型的硅晶棒倒角設(shè)備中，所述第一活動(dòng)板與第二活動(dòng)板連接時(shí)的正向視圖。
[0010]圖中所示，1、機(jī)體，2、V形槽，3、支架，5、第一活動(dòng)板，6、第一氣缸，7、第二活動(dòng)板，
8、第二氣缸，9、夾塊，10、導(dǎo)向桿，11、燕尾槽，12、燕尾凸臺(tái)，13、螺栓組件，14、電機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合說明書附圖對本實(shí)用新型中硅晶棒倒角設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說明:
[0012]如圖1和圖2所示，本實(shí)施例中娃晶棒倒角設(shè)備包括機(jī)體I，機(jī)體I上設(shè)有用于放置晶棒的V形槽2，V形槽2的下方設(shè)有安裝于機(jī)體I內(nèi)的打磨組件，V形槽2的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體I上的支架4、水平設(shè)置的第一活動(dòng)板
5、驅(qū)動(dòng)第一活動(dòng)板5上下移動(dòng)的第一氣缸6、兩相對設(shè)置的第二活動(dòng)板7、固定在所述第一活動(dòng)板5上的用于驅(qū)動(dòng)兩第二活動(dòng)板7相向或相離運(yùn)動(dòng)的第二氣缸8，所述第一氣缸6固定在所述支架4上，所述第一活動(dòng)板5固定在所述第一氣缸6的氣缸桿上，所述第二氣缸8為兩端均設(shè)有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動(dòng)板7內(nèi)側(cè)相對位置裝設(shè)有適于夾持娃晶棒的夾塊9，各夾塊9可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊9由驅(qū)動(dòng)電機(jī)14驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，翻轉(zhuǎn)時(shí)，受所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)14驅(qū)動(dòng)的一夾塊9為主動(dòng)，另一夾塊9為從動(dòng);第一活動(dòng)板5上設(shè)有沿第二氣缸8軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)12或/和燕尾槽11，所述第二活動(dòng)板7的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)12或/和燕尾槽11滑動(dòng)配合的燕尾槽11或/和燕尾凸臺(tái)12。本實(shí)用新型中，第一活動(dòng)板5上設(shè)有沿第二氣缸8軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)12或/和燕尾槽11，所述第二活動(dòng)板7的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)12或/和燕尾槽11滑動(dòng)配合的燕尾槽11或/和燕尾凸臺(tái)12，這樣通過燕尾凸臺(tái)12與燕尾槽11的配合從而將第一活動(dòng)板5與第二活動(dòng)板7活動(dòng)連接，所述第二活動(dòng)板7在受第二氣缸8驅(qū)使移動(dòng)的過程中，燕尾凸臺(tái)12與對應(yīng)的燕尾槽11位置隨之發(fā)生相對移動(dòng)，在翻轉(zhuǎn)硅晶棒時(shí)，硅晶棒的重量由第一活動(dòng)板5和第二氣缸8的氣缸桿共同承擔(dān)，從而能夠避免僅由第二氣缸8的氣缸桿承受硅晶棒重量時(shí)容易發(fā)生彎曲變形的問題;實(shí)際操作中，為了減小燕尾凸臺(tái)12與燕尾槽11間的摩擦力，可在兩者之間設(shè)置滾輪。作為變形，所述燕尾槽11可改成凸字形槽，對應(yīng)的，將所述燕尾凸臺(tái)12改成凸字形凸臺(tái)。
[0013]本實(shí)施例中，第二氣缸8通過螺栓組件13固定在第一活動(dòng)板5上，所述第一活動(dòng)板5上對應(yīng)安裝第二氣缸8的位置設(shè)有定位凸臺(tái)，所述第二氣缸8上設(shè)有與所述定位凸臺(tái)配合的定位槽，將定位凸臺(tái)與定位槽配合后，能夠?qū)⒌诙飧?快速定位，從而便于第二氣缸8上的螺孔與第一活動(dòng)板5上的螺孔對齊，方便螺栓組件13固定。
[0014]本實(shí)施例中，螺栓組件13包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母，這樣一來就能夠?qū)⒌诙飧?牢靠的固定在第一活動(dòng)板5上。
[0015]本實(shí)用新型中，為避免所述第一活動(dòng)板5在由第一氣缸驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)的過程中發(fā)生偏轉(zhuǎn)，可在支架4上固定導(dǎo)向桿10，并在所述第一活動(dòng)板5上設(shè)置與所述導(dǎo)向桿10匹配的導(dǎo)向孔。
[0016]以上所述僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，故凡依本專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實(shí)用新型專利申請范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅晶棒倒角設(shè)備，包括機(jī)體(I)，機(jī)體(I)上設(shè)有用于放置硅晶棒的V形槽(2)，V形槽(2)的下方設(shè)有安裝于機(jī)體(I)內(nèi)的打磨組件，V形槽(2)的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體(I)上的支架(4)、水平設(shè)置的第一活動(dòng)板(5)、驅(qū)動(dòng)第一活動(dòng)板(5)上下移動(dòng)的第一氣缸(6)、兩相對設(shè)置的第二活動(dòng)板(7)、固定在所述第一活動(dòng)板(5)上的用于驅(qū)動(dòng)兩第二活動(dòng)板(7)相向或相離運(yùn)動(dòng)的第二氣缸(8)，所述第二氣缸(8)為兩端均設(shè)有氣缸桿的雙軸氣缸，兩第二活動(dòng)板(7)內(nèi)側(cè)相對位置裝設(shè)有適于夾持硅晶棒的夾塊(9)，各夾塊(9)可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊(9)由驅(qū)動(dòng)電機(jī)(14)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；其特征在于:所述第一活動(dòng)板(5)上設(shè)有沿第二氣缸(8)軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)(12)或/和燕尾槽(11)，所述第二活動(dòng)板(7)的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)(12)或/和燕尾槽(11)滑動(dòng)配合的燕尾槽(11)或/和燕尾凸臺(tái)(12)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶棒倒角設(shè)備，其特征在于，所述第二氣缸(8)通過螺栓組件(13)固定在第一活動(dòng)板(5)上，所述第一活動(dòng)板(5)上對應(yīng)安裝第二氣缸(8)的位置設(shè)有定位凸臺(tái)，所述第二氣缸(8)上設(shè)有與所述定位凸臺(tái)配合的定位槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅晶棒倒角設(shè)備，其特征在于，所述螺栓組件(13)包括緊固螺栓和與之配合的彈性墊片及力矩螺母。
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種硅晶棒倒角設(shè)備，結(jié)構(gòu)合理，能夠有效避免其上翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在翻轉(zhuǎn)工作過程中，第二氣缸的氣缸桿發(fā)生彎曲變形包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有用于放置晶棒的V形槽，V形槽的下方設(shè)有安裝于機(jī)體內(nèi)的打磨組件，V形槽的上方設(shè)有用于將硅晶棒翻轉(zhuǎn)的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)體上的支架、第一活動(dòng)板、第一氣缸、第二活動(dòng)板、第二氣缸，兩第二活動(dòng)板內(nèi)側(cè)相對位置裝設(shè)有適于夾持硅晶棒的夾塊，各夾塊可繞自身軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，其中一夾塊由驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)；第一活動(dòng)板上設(shè)有沿第二氣缸軸向設(shè)置的燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽，所述第二活動(dòng)板的上端設(shè)有適于與所述燕尾凸臺(tái)或/和燕尾槽滑動(dòng)配合的燕尾槽或/和燕尾凸臺(tái)。
【IPC分類】B24B9/06, B24B41/00
【公開號】CN205325366
【申請?zhí)枴緾N201620065273
【發(fā)明人】孫明祥
【申請人】浙江好亞能源股份有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月22日