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一種觀察窗結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:9009628閱讀:241來源:國知局
一種觀察窗結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于PVD鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種觀察窗結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]PVD鍍膜設(shè)備中都會在鍍膜腔體側(cè)壁設(shè)置觀察窗,目的是在鍍膜時觀察腔體內(nèi)部的實時狀況,觀察窗主要由三部分組成:1、觀察窗玻璃,一般為石英玻璃,作用是方便真空密封,并且透明能透過它觀察腔體內(nèi)部狀況。2、擋板,一般為不銹鋼薄板,既擋住腔體內(nèi)溫度輻射到觀察窗玻璃上,避免因為溫度輻射導(dǎo)致石英玻璃溫度升高而炸裂;又擋住所鍍膜的材料濺射到玻璃上進(jìn)而降低玻璃的透明度,避免因玻璃被鍍上膜之后不透明,從而失去觀察的功能。3、扭動裝置,此裝置連接觀察窗的擋板,在需要觀察時開啟擋板,在不需要觀察時關(guān)閉擋板。
[0003]但是,在現(xiàn)有的觀察窗設(shè)置中,扭動裝置通常是在觀察窗管道側(cè)壁開一個孔,然后通過骨架油封來密封真空,直接扭動轉(zhuǎn)軸帶動擋板旋轉(zhuǎn),這種設(shè)置有兩種弊端:一、由于腔體內(nèi)部和外界有通孔的存在,所以就存在真空漏氣的可能;二、真空室對觀察窗的擋板的長期熱輻射,熱量會通過轉(zhuǎn)軸傳遞到骨架油封上,加速骨架油封的老化,也可能造成真空漏氣,使鍍膜存在風(fēng)險。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提供一種觀察窗結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)設(shè)置的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn),不需在觀察窗的管道開孔,從而杜絕真空漏氣的隱患。
[0005]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型的技術(shù)方案是:
[0006]一種觀察窗結(jié)構(gòu),它安裝于PVD鍍膜設(shè)備中,其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置,所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi),所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板,所述擋板位于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體內(nèi),所述擋板對應(yīng)于所述觀察窗玻璃,所述扭動裝置設(shè)置于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體外,所述扭動裝置設(shè)置為磁力式扭動裝置。
[0007]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn),所述扭動裝置通過轉(zhuǎn)軸與所述擋板轉(zhuǎn)動連接。
[0008]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn),所述扭動裝置包括具有中空腔的扭動本體、開設(shè)于所述扭動本體的驅(qū)動磁鐵槽及安裝于所述驅(qū)動磁鐵槽內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊,所述中空腔為圓形結(jié)構(gòu),所述驅(qū)動磁鐵槽的數(shù)量設(shè)置為四個,四個所述驅(qū)動磁鐵槽均勻分布于所述中空腔的周圍。
[0009]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn),所述轉(zhuǎn)軸包括擋板連接部及與所述擋板連接部連接為一體的磁力受驅(qū)部,所述磁力受驅(qū)部具有受驅(qū)動鐵槽,所述受驅(qū)動鐵槽的數(shù)量設(shè)置為四個,每個所述受驅(qū)動鐵槽內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊。
[0010]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn),四個所述受驅(qū)動鐵槽分別對應(yīng)于四個所述驅(qū)動磁鐵槽。
[0011]作為本實用新型所述的觀察窗結(jié)構(gòu)的一種改進(jìn),所述擋板的形狀設(shè)置為圓形結(jié)構(gòu)。
[0012]所述觀察窗玻璃通過密封墊圈安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)。
[0013]本實用新型的有益效果在于:本實用新型提供的觀察窗結(jié)構(gòu)安裝于PVD鍍膜設(shè)備中,其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置,所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi),所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板,所述擋板位于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體內(nèi),所述擋板對應(yīng)于所述觀察窗玻璃,所述扭動裝置設(shè)置于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體外,所述扭動裝置設(shè)置為磁力式扭動裝置。本實用新型的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn),不需在觀察窗的管道開孔,從而杜絕真空漏氣的隱患,提高了操作的安全性。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為本實用新型安裝在PVD鍍膜設(shè)備中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖3為本實用新型中扭動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖4為本實用新型中驅(qū)動磁鐵塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖5為本實用新型中轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖6為本實用新型中磁力受驅(qū)部的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖7為本實用新型中受驅(qū)動塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合【具體實施方式】和說明書附圖,對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述,但本實用新型的實施方式不限于此。
[0022]如圖1~7所示,一種觀察窗結(jié)構(gòu),安裝于PVD鍍膜設(shè)備中,其包括觀察窗法蘭1、觀察窗玻璃2、擋板3和扭動裝置4,觀察窗玻璃2安裝于觀察窗法蘭I內(nèi),具體地,觀察窗玻璃2通過密封墊圈7安裝于觀察窗法蘭I內(nèi),密封墊圈7的材料為氟橡膠,具有優(yōu)異的耐熱性、抗氧化性、耐油性、耐腐蝕性和耐大氣老化性;扭動裝置4轉(zhuǎn)動連接于擋板3,具體地,扭動裝置4通過轉(zhuǎn)軸6與擋板3轉(zhuǎn)動連接,從而實現(xiàn)擋板3的轉(zhuǎn)動;擋板3位于PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體5內(nèi),擋板3對應(yīng)于觀察窗玻璃2,扭動裝置4設(shè)置于PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體5外,扭動裝置4設(shè)置為磁力式扭動裝置,在磁力式扭動裝置的旋轉(zhuǎn)動作下,實現(xiàn)了擋板3的開啟和關(guān)閉,解決了現(xiàn)有技術(shù)在觀察窗的管道開孔帶來的問題,從而杜絕真空漏氣的隱患,提高了操作的安全性。
[0023]優(yōu)選地,扭動裝置4包括具有中空腔41的扭動本體42、開設(shè)于扭動本體42的驅(qū)動磁鐵槽43及安裝于驅(qū)動磁鐵槽43內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊44,中空腔41為圓形結(jié)構(gòu),驅(qū)動磁鐵槽43的數(shù)量設(shè)置為四個,驅(qū)動磁鐵塊44數(shù)量也設(shè)置為四個,四個驅(qū)動磁鐵塊44分別安裝在四個驅(qū)動磁鐵槽43內(nèi),且四個驅(qū)動磁鐵槽43均勻分布于中空腔41的周圍,驅(qū)動磁鐵槽43的材料為汝鐵硼。轉(zhuǎn)軸6包括擋板連接部61及與擋板連接部61連接為一體的磁力受驅(qū)部62,磁力受驅(qū)部62具有受驅(qū)動鐵槽621,受驅(qū)動鐵槽621的數(shù)量設(shè)置為四個,每個受驅(qū)動鐵槽621內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊622,受驅(qū)動塊622為表面鍍鉻的碳鋼,因為碳鋼不會這么容易退磁,而且碳鋼又容易生銹。四個受驅(qū)動鐵槽621分別對應(yīng)于四個驅(qū)動磁鐵槽43。四個驅(qū)動磁鐵塊44設(shè)置為內(nèi)凹結(jié)構(gòu),四個受驅(qū)動塊622設(shè)置為外凸結(jié)構(gòu),四個驅(qū)動磁鐵塊44和四個受驅(qū)動塊622在相互匹配,在扭動裝置4工作時,實現(xiàn)快速開啟或關(guān)閉擋板3。
[0024]優(yōu)選地,擋板3的形狀設(shè)置為圓形結(jié)構(gòu),可根據(jù)需要對擋板3設(shè)置為其他任何形狀。
[0025]本實用新型的工作過程是:操作者旋轉(zhuǎn)扭動裝置4,使得扭動裝置4內(nèi)驅(qū)動磁鐵塊44和轉(zhuǎn)軸6中磁力受驅(qū)部62的受驅(qū)動塊622配合,在磁力的作用下帶動轉(zhuǎn)軸6運(yùn)動,同時轉(zhuǎn)軸6聯(lián)動擋板3,實現(xiàn)擋板3的開啟或關(guān)閉。
[0026]根據(jù)上述說明書的揭示和教導(dǎo),本實用新型所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還能夠?qū)ι鲜鰧嵤┓绞竭M(jìn)行變更和修改。因此,本實用新型并不局限于上述的【具體實施方式】,凡是本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實用新型的基礎(chǔ)上所作出的任何顯而易見的改進(jìn)、替換或變型均屬于本實用新型的保護(hù)范圍。此外,盡管本說明書中使用了一些特定的術(shù)語,但這些術(shù)語只是為了方便說明,并不對本實用新型構(gòu)成任何限制。
【主權(quán)項】
1.一種觀察窗結(jié)構(gòu),安裝于PVD鍍膜設(shè)備中,其特征在于:包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置,所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi),所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板,所述擋板位于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體內(nèi),所述擋板對應(yīng)于所述觀察窗玻璃,所述扭動裝置設(shè)置于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體外,所述扭動裝置設(shè)置為磁力式扭動裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:所述扭動裝置通過轉(zhuǎn)軸與所述擋板轉(zhuǎn)動連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:所述扭動裝置包括具有中空腔的扭動本體、開設(shè)于所述扭動本體的驅(qū)動磁鐵槽及安裝于所述驅(qū)動磁鐵槽內(nèi)的驅(qū)動磁鐵塊,所述中空腔為圓形結(jié)構(gòu),所述驅(qū)動磁鐵槽的數(shù)量設(shè)置為四個,四個所述驅(qū)動磁鐵槽均勻分布于所述中空腔的周圍。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:所述轉(zhuǎn)軸包括擋板連接部及與所述擋板連接部連接為一體的磁力受驅(qū)部,所述磁力受驅(qū)部具有受驅(qū)動鐵槽,所述受驅(qū)動鐵槽的數(shù)量設(shè)置為四個,每個所述受驅(qū)動鐵槽內(nèi)均安裝有受驅(qū)動塊。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:四個所述受驅(qū)動鐵槽分別對應(yīng)于四個所述驅(qū)動磁鐵槽。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:所述擋板的形狀設(shè)置為圓形結(jié)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觀察窗結(jié)構(gòu),其特征在于:所述觀察窗玻璃通過密封墊圈安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型屬于PVD鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種觀察窗結(jié)構(gòu),它安裝于PVD鍍膜設(shè)備中,其包括觀察窗法蘭、觀察窗玻璃、擋板和扭動裝置,所述觀察窗玻璃安裝于所述觀察窗法蘭內(nèi),所述扭動裝置轉(zhuǎn)動連接于所述擋板,所述擋板位于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體內(nèi),所述擋板對應(yīng)于所述觀察窗玻璃,所述扭動裝置設(shè)置于所述PVD鍍膜設(shè)備的鍍膜腔體外,所述扭動裝置設(shè)置為磁力式扭動裝置。本實用新型的扭動裝置是通過磁力間接扭動實現(xiàn)擋板的旋轉(zhuǎn),不需在觀察窗的管道開孔,從而杜絕真空漏氣的隱患,提高了操作的安全性。
【IPC分類】C23C14/52
【公開號】CN204661821
【申請?zhí)枴緾N201520340533
【發(fā)明人】王俊鋒, 陳凱
【申請人】東莞市瑞鼎納米科技有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月25日
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