氣體流量計閥系統(tǒng)的制作方法
【專利說明】
【背景技術(shù)】
[0001]本實用新型涉及一種玻璃鍍膜時向濺射腔室中供給氣體的氣體流量計閥系統(tǒng)，具體地說是一種在玻璃鍍膜時向濺射腔室中供給單一氣體或多種混合氣體的氣體流量計閥系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0002]在鍍膜玻璃鍍膜生產(chǎn)中，使濺射靶材沉積在濺射腔室內(nèi)的玻璃板上，根據(jù)需要向濺射腔室中供給單一或混合的工業(yè)氣體，例如氬氣、氧氣、氮氣，這些工業(yè)氣體在有一些情況中是為了保護濺射靶材穩(wěn)定地附著在玻璃表面形成鍍膜，在有一些情況下是為了與濺射靶材或玻璃材料反應(yīng)形成附著在玻璃表面的鍍膜，例如，向濺射腔室中供給氮氣，在玻璃表面形成氮化硅鍍膜；又例如濺射靶材是銅，工業(yè)氣體是氧氣，可以在玻璃表面形成氧化銅鍍膜，但是在這種情況下，需要供給到濺射腔室內(nèi)的氧氣量不僅很小，而且需要氧氣均勻分散到惰性氣體中，才能夠保證在玻璃板表面形成薄且均勻的氧化銅鍍膜。
[0003]在現(xiàn)有的鍍膜玻璃生產(chǎn)中，將工業(yè)氣體分成多個供氣段，每一個供氣段將一種或均勻混合多種工業(yè)氣體供給到濺射腔室內(nèi)。但是各供氣段之間的供氣量往往不能保證相同，各供氣段的氣體混合均勻程度也不相同，導(dǎo)致生產(chǎn)出來的鍍膜玻璃上各位置處的鍍膜的密度和厚度不一致。
[0004]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種氣體流量計閥系統(tǒng)，不僅能夠精確控制各供氣段向該濺射腔室噴射的混合氣體量，而且可以使各供氣段供給的混合氣體的混合比和供氣量一致。
[0005]在本實用新型中，該氣體流量計閥系統(tǒng)具有一個控制裝置，和多個供氣段，每個供氣段具有一個混合腔，該混合腔與多個供氣管連接，每個供氣管上具有一個電動閥和一個流量計，并與一個工業(yè)氣體供氣源相連接。
[0006]在本實用新型中，控制裝置接收各流量計的信號，控制各電動閥的開度，控制各工業(yè)氣體進入混合腔的數(shù)量和比例，同時控制進入各混合腔的混合氣體混合比和氣體量相一致，向濺射腔室內(nèi)供給工業(yè)氣體。
[0007]本實用新型能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
[0008]圖面說明
[0009]圖1是本實用新型氣體流量計閥系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0010]在圖1中，該氣體流量計閥系統(tǒng)具有一個控制裝置6，和多個供氣段(圖1中繪出了兩個供氣段)，每個供氣段具有一個包括一系列噴氣口的噴氣管1，一個混合腔2，該混合腔2與多個供氣管7連接，每個供氣管7上具有一個電動閥4和一個流量計3，并與一個工業(yè)氣體供氣源5相連接。
[0011]在該氣體流量計閥系統(tǒng)中，控制裝置6接收各流量計4的信號，控制各電動閥3的開度，從而控制各工業(yè)氣體進入混合腔2的量和比例，同時控制進入各混合腔2的混合氣體混合比和氣體量相一致，向濺射腔室內(nèi)供給工業(yè)氣體。
[0012]在工作中，該氣體流量計閥系統(tǒng)能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
【主權(quán)項】
1.一種氣體流量計閥系統(tǒng)，其特征在于具有一個控制裝置，和多個供氣段，每個供氣段具有一個包括一系列噴氣口的噴氣管，一個混合腔，該混合腔與多個供氣管連接，每個供氣管上具有一個電動閥和一個流量計，并與一個工業(yè)氣體供氣源5相連接，該控制裝置接收各流量計的信號，控制各電動閥的開度。
【專利摘要】一種氣體流量計閥系統(tǒng)，具有一個控制裝置，和多個供氣段，每個供氣段具有一個混合腔，該混合腔與多個供氣管連接，每個供氣管上具有一個電動閥和一個流量計，并與一個工業(yè)氣體供氣源相連接，該控制裝置接收各流量計的信號，控制各電動閥的開度，能夠按照預(yù)訂的混合氣體混合比和氣體量供給氣體，以及各供氣段混合氣體供給量相一致，從而使鍍膜玻璃上鍍膜的密度和厚度均勻，提高鍍膜玻璃的質(zhì)量。
【IPC分類】C23C14/34, C23C14/54, C03C17/00
【公開號】CN204625781
【申請?zhí)枴緾N201520305687
【發(fā)明人】劉勇
【申請人】北京冠華東方玻璃科技有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年5月13日