一種掩膜板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(OLED，Organic Light-Emitting D1des)是自發(fā)光器件，無需背光源，外觀輕而薄，并且具有顯示功耗低、視角寬、屏幕響應(yīng)快的優(yōu)點。因此，有機(jī)發(fā)光二極管有望取代液晶顯示器。
[0003]在有機(jī)發(fā)光二極管制備過程中，目前較為成熟的技術(shù)是采用真空蒸鍍技術(shù)，在器件制備過程中，有機(jī)材料會淀積在位于蒸發(fā)源上方的基板上，為了形成特有的圖案，在基板下方緊貼有掩膜板，掩膜板上預(yù)先留有設(shè)計排版好的開口，最終有機(jī)材料會通過開口，淀積到基板上面。
[0004]在傳統(tǒng)技術(shù)中，大尺寸基板鍍膜工藝的掩膜板多采用分割式的掩膜板，通過對各個掩膜板施加一定的拉力并將掩膜板焊接到掩膜板邊框上。在掩膜板的各個開口在受力拉伸的過程中，由于受力不均，使得各個開口的變形不均勻，影響了各開口的精度，從而影響了 OLED器件的良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要提供一種掩膜板，應(yīng)用本發(fā)明技術(shù)方案，能夠減少掩膜板兩端受力而使得各開口變形不均的情形，從而提高OLED器件的良率。
[0006]一種掩膜板，包括:板體、設(shè)置于所述板體上的開口，以及根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔。
[0007]上述掩膜板，包括根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔，因而在掩膜板兩端受力時，能夠減少各開口變形不均勻的程度，從而提高OLED器件的良率。
【附圖說明】
[0008]圖1為一個實施例中的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0009]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0010]參見圖1，在圖中左部分為原始掩膜板的結(jié)構(gòu)，該原始掩膜板包括板體以及根據(jù)有機(jī)物沉積圖案而預(yù)先設(shè)計的多個開口。圖1中部為原始掩膜板模擬受力分析后的變形結(jié)果。圖1中的右部為根據(jù)模擬受力分析結(jié)果而設(shè)計的掩膜板，該掩膜板包括:板體、設(shè)置于所述板體上的開口，以及根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔。其中，根據(jù)模擬受力分析結(jié)果而設(shè)計的多個鏤空孔是不均勻的。
[0011 ] 上述實施例中的掩膜板，包括根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔，因而在掩膜板兩端受力時，能夠減少各開口變形不均勻的程度，從而提高OLED器件的良率。
[0012]以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種掩膜板，其特征在于，包括:板體、設(shè)置于所述板體上的開口，以及根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔。
【專利摘要】本實用新型公開了一種掩膜板，包括：板體、設(shè)置于所述板體上的開口，以及根據(jù)模擬受力分析結(jié)果來減少各開口變形不均勻而設(shè)計的多個鏤空孔。應(yīng)用本實用新型技術(shù)方案，能夠減少掩膜板兩端受力而使得各開口變形不均的情形，從而提高OLED器件的良率。
【IPC分類】C23C14-04
【公開號】CN204455271
【申請?zhí)枴緾N201420812667
【發(fā)明人】龔建國, 吳俊雄, 冉應(yīng)剛, 柯賢軍, 蘇君海
【申請人】信利（惠州）智能顯示有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2014年12月18日