Oled材料真空熱蒸鍍用掩膜板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及有機發(fā)光二極管顯示器的制作領(lǐng)域，尤其涉及一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0002]有機發(fā)光二級管顯示器(Organic Light Emitting D1de，0LED)是一種極具發(fā)展前景的平板顯示技術(shù)，它具有十分優(yōu)異的顯示性能，特別是自發(fā)光、結(jié)構(gòu)簡單、超輕薄、響應(yīng)速度快、寬視角、低功耗及可實現(xiàn)柔性顯示等特性，被譽為“夢幻顯示器”，再加上其生產(chǎn)設(shè)備投資遠(yuǎn)小于TFT-1XD，得到了各大顯示器廠家的青睞，已成為顯示技術(shù)領(lǐng)域中第三代顯示器件的主力軍。目前OLED已處于大規(guī)模量產(chǎn)的前夜，隨著研究的進(jìn)一步深入，新技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，OLED顯示器件必將有一個突破性的發(fā)展。
[0003]OLED具有依次形成于基板上的陽極、有機發(fā)光層和陰極。OLED各功能材料層與陰極金屬層薄膜通過真空熱蒸鍍工藝制備，即在真空腔體內(nèi)加熱有機小分子材料，使其升華或者熔融氣化成材料蒸汽，透過金屬掩膜板(Mask)的開孔沉積在玻璃基板上。掩膜板的作用是使OLED材料蒸鍍到設(shè)計的位置，因此掩膜板的開孔位置、形狀以及表面平整度都相當(dāng)重要。
[0004]如圖1所示，現(xiàn)有掩膜板包括掩膜框架100和通過激光電焊固定在掩膜框架100上的掩膜200，焊點300位于掩膜框架100上。掩膜在使用一段時間后，上邊會沉積一定厚度的OLED材料，在重力作用下容易導(dǎo)致掩膜下垂變形，而且OLED材料也可能堵塞開孔，或者使開孔有效尺寸變小。所以，掩膜在使用一定的時間后，就需要進(jìn)行清洗，甚至要更換一張新的掩膜。
[0005]當(dāng)需要更換一張新的掩膜時，需要把原來的掩膜與掩膜邊框分離，去掉掩膜，并對掩膜邊框表面進(jìn)行研磨拋光。因為原來的點焊位置應(yīng)該有凸起，需要將掩膜邊框表面研磨成平面(平面度在50微米內(nèi))。同時，在原來的點焊位置，焊接時的熱量也等于是給焊點位置進(jìn)行了熱處理，導(dǎo)致點焊位置硬度變大，所以這一層硬化層也需要研磨去掉，以便不影響下一片掩膜的點焊效果，每對掩膜邊框的焊接面進(jìn)行一次打磨，就要消耗一定厚度(0.1 -1mm) ο
[0006]這樣的情況下，如圖2、圖3所示，多次更換掩膜后，掩膜邊框100經(jīng)過多次拋光，厚度會逐漸變薄，中部下垂，不僅影響到邊框的結(jié)構(gòu)強度，使用時基板與掩膜存在一定空隙，也會影響到掩膜200在蒸鍍設(shè)備里的對位位置，導(dǎo)致OLED發(fā)光元件出現(xiàn)混色等品質(zhì)不良。所以，掩膜邊框經(jīng)過研磨拋光一定的厚度后就需要報廢，并且掩膜邊框需要運輸?shù)接写笮蛼伖饽ゴ驳膹S家進(jìn)行研磨拋光，比較耗時，所以需要制作多塊掩膜邊框備用，導(dǎo)致生產(chǎn)成本增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其掩膜邊框能夠重復(fù)多次使用，減少掩膜邊框的報廢量，提高掩膜邊框的利用率，同時能夠減少掩膜邊框的備份數(shù)量，節(jié)約材料及生產(chǎn)成本。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，包括掩膜邊框、固定于所述掩膜邊框上的插條、及固定于所述插條上的掩膜；
[0009]所述掩膜邊框包括四條邊，該四條邊圍攏出一對應(yīng)掩膜的開口；將所述掩膜邊框靠近掩膜一側(cè)的表面定義為上表面，掩膜邊框的每條邊上均設(shè)置一溝槽；
[0010]所述插條固定于所述溝槽內(nèi)，所述插條的上表面與所述溝槽的上表處于同一平面上；所述掩膜通過點焊固定于插條上，焊點位于插條上；
[0011]所述插條的上表面的寬度小于所述插條位于所述溝槽內(nèi)的寬度。
[0012]所述溝槽位于所述掩膜邊框的每條邊的中部，所述溝槽凹陷于所述掩膜邊框的上表面。
[0013]每條溝槽下方設(shè)有至少兩個第一通孔，所述插條對應(yīng)所述第一通孔設(shè)有一第一螺紋孔；一第一螺釘穿過所述第一通孔鎖合于第一螺紋孔內(nèi)，從而將所述插條固定于所述溝槽內(nèi)。
[0014]所述溝槽位于所述掩膜邊框的每條邊的外周，所述溝槽形成于所述掩膜邊框的上表面與外側(cè)面之間。
[0015]每條溝槽下方設(shè)有至少兩個第一通孔，所述插條對應(yīng)所述第一通孔設(shè)有一第一螺紋孔；每條插條在其寬度方向上設(shè)有至少兩個第二通孔，所述溝槽側(cè)方對應(yīng)所述第二通孔設(shè)有第二螺紋孔；一第一螺釘穿過所述第一通孔鎖合于第一螺紋孔內(nèi)，一第二螺釘穿過所述第二通孔鎖合于第二螺紋孔內(nèi)，從而將所述插條固定于所述溝槽內(nèi)。
[0016]所述插條與所述溝槽在尺寸上形成緊密配合。
[0017]所述插條的橫截面為多邊形或帶有圓弧的多邊形。
[0018]所述插條的橫截面為梯形。
[0019]所述插條與所述掩膜邊框均為金屬材料。
[0020]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供的一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，在掩膜邊框的四條邊上分別設(shè)置溝槽，將插條固定于溝槽內(nèi)，將掩膜通過點焊固定于插條上；當(dāng)掩膜變形需要更換時，僅需要將插條取出并進(jìn)行拋光處理即可，而不需要將整個掩膜邊框運輸?shù)接写笮蛼伖饽ゴ驳膹S家進(jìn)行研磨拋光，操作簡單，省時省力，避免了因拋光引起的掩膜邊框厚度變薄及由于對掩膜邊框多次拋光導(dǎo)致的報廢；當(dāng)插條經(jīng)多次拋光，厚度不合格時，更換插條即可，而不需要將整個掩膜邊框報廢，從而掩膜邊框能夠重復(fù)多次使用，減少掩膜邊框的報廢量，提高掩膜邊框的利用率，同時能夠減少掩膜邊框的備份數(shù)量，只需多備份幾套插條即可，節(jié)約材料及生產(chǎn)成本；插條的上表面的寬度小于其位于溝槽內(nèi)的寬度，從而掩膜的張力最大程度分散傳遞至掩膜框架上，以保證插條不形變及掩膜受力均勻。
[0021]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】
[0022]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見。
[0023]附圖中，
[0024]圖1為現(xiàn)有的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2為現(xiàn)有的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板正常情況下的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3為現(xiàn)有的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板經(jīng)過多次打磨后的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖4為本發(fā)明OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的第一實施例的俯視示意圖；
[0028]圖5為本發(fā)明OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的第一實施例的掩膜邊框與插條的俯視不意圖；
[0029]圖6為本發(fā)明OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的第一實施例中對應(yīng)第一通孔處的剖面示意圖；
[0030]圖7為本發(fā)明OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的第二實施例的掩膜邊框與插條的俯視不意圖；
[0031]圖8為本發(fā)明OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板的第二實施例中對應(yīng)第一通孔及第二通孔處的剖面示意圖。
【具體實施方式】
[0032]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0033]請同時參閱圖4至圖6，本發(fā)明提供一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板第一實施例，包括掩膜邊框1、固定于所述掩膜邊框I上的插條3、及固定于所述插條3上的掩膜5 ;
[0034]所述掩膜邊框I包括四條邊，該四條邊圍攏出一對應(yīng)掩膜5的開口 ；將所述掩膜邊框I靠近掩膜5 —側(cè)的表面定義為上表面，掩膜邊框I的每條邊上均設(shè)置一溝槽11 ;
[0035]所述插條3固定于所述溝槽11內(nèi)，所述插條3的上表面與所述溝槽11的上表處于同一平面上；