溫度測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)，具體涉及一種用于聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]聚對二甲苯是通過化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，具有極其優(yōu)良的電性能、化學(xué)穩(wěn)定性和生物相容性，在微電子機(jī)械系統(tǒng)、電子元器件、醫(yī)療器材等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
[0003]聚對二甲苯薄膜均采用氣相沉積法(CVD工藝)制造，工藝如下:對二甲苯二聚體在180°C下升華為氣體，經(jīng)過高溫700°C裂解為對二甲苯單體，再導(dǎo)入內(nèi)部沉積裝置中在室溫下沉積聚合于產(chǎn)品表面。這種工藝使得聚對二甲苯薄膜具有無殘余應(yīng)力、完全同形、高度均勻、滲透力強(qiáng)等優(yōu)勢。
[0004]制造工藝中，原料氣的輸送速度對沉積膜的質(zhì)量非常關(guān)鍵，而原料氣的輸送速度通過蒸發(fā)溫度來控制。因此在聚對二甲苯薄膜的制造過程中，需要準(zhǔn)確測量蒸發(fā)室的蒸發(fā)溫度。然而，在對蒸發(fā)室的蒸發(fā)溫度進(jìn)行測量時(shí)，有諸多因素會影響測量結(jié)果，例如漏電流、感應(yīng)電流、探頭接觸程度及氣流、溫濕度等。因此，在對蒸發(fā)室的蒸發(fā)溫度進(jìn)行測量的過程中，如何避免外界因素對測量結(jié)果的影響顯得尤其重要，這對測量裝置的穩(wěn)定性和可靠性都提出了非常高的要求。
[0005]聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的蒸發(fā)溫度一般采用熱電偶測量，熱電偶為一種感溫元件，它直接測量溫度，并把溫度信號轉(zhuǎn)換成熱電動勢信號，通過電氣儀表轉(zhuǎn)換成被測介質(zhì)的溫度。然而，目前聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度測量裝置為:在蒸發(fā)室加熱圈上開設(shè)一長槽，將熱電偶放入槽內(nèi)用箍圈固定。這會導(dǎo)致以下問題:熱電偶探頭與待測部件間的接觸緊密程度很難保證，主機(jī)內(nèi)部的氣流、溫濕度變化均會導(dǎo)致測量值波動，探頭與加熱圈距離太近，加熱圈工作時(shí)產(chǎn)生感應(yīng)電流，加熱圈漏電及熱電偶連接的電子儀表漏電流都會導(dǎo)致熱電偶的電信號波動從而影響測量結(jié)果。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度測量裝置，起能解決聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度測量結(jié)果不穩(wěn)定，易受環(huán)境因素影響的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種溫度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度，所述溫度測量裝置包括殼體、熱電偶以及接地結(jié)構(gòu)，所述殼體設(shè)有中心通孔，所述熱電偶固定容納于所述殼體的中心通孔內(nèi)并且與所述蒸發(fā)室的外表面接觸，所述殼體的一端設(shè)有圓弧面，所述圓弧面的弧度與所述蒸發(fā)室外表面的弧度相同，且所述接地結(jié)構(gòu)的一端與所述熱電偶電連接，另一端接地。
[0008]較佳地，所述殼體的內(nèi)徑比所述熱電偶的外徑大1-5_。
[0009]較佳地，所述殼體的內(nèi)徑比所述熱電偶的外徑大2-3_。
[0010]較佳地，所述殼體與所述熱電偶螺紋連接。
[0011]較佳地，所述接地結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述殼體上的螺紋孔、安裝于該螺紋孔中的螺釘以及連接于該螺釘上的導(dǎo)線。
[0012]較佳地，其特征在于，所述殼體呈圓筒形。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0014]1、殼體與測量面之間、熱電偶與殼體之間接觸緊密，無間隙，不會松動，避免了測量位置變化的影響。
[0015]2、熱電偶探頭被固定件整體包裹，確保測量值不受氣流、溫濕度等環(huán)境影響。
[0016]2、殼體接地后可以避免漏電流、感應(yīng)電流干擾熱電偶引起測量波動。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型溫度測量裝置的殼體剖視圖。
[0018]圖2是本實(shí)用新型溫度測量裝置的熱電偶主視圖。
[0019]圖3是本實(shí)用新型溫度測量裝置的剖視圖。
[0020]圖4是本實(shí)用新型溫度測量裝置安裝于蒸發(fā)室的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，以便更清楚理解本實(shí)用新型的目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)理解的是，附圖所示的實(shí)施例并不是對本實(shí)用新型范圍的限制，而只是為了說明本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)精神。
[0022]如圖1、圖4所示，用于聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室20的溫度測量裝置10包括殼體11、熱電偶12、以及接地結(jié)構(gòu)13。蒸發(fā)室20包括蒸發(fā)室加熱圈21和裂解管22。其中，蒸發(fā)室加熱圈21用來加熱蒸發(fā)室20。溫度測量裝置10用來測量蒸發(fā)室20內(nèi)聚對二甲苯氣體的溫度。
[0023]如圖1至圖3所示，殼體11具有左端110和右端111，其中左端110具有與蒸發(fā)室外表面弧度相同的弧面113，從而當(dāng)殼體11安裝到蒸發(fā)室后能夠與殼體緊密接觸。在本優(yōu)選實(shí)施例中，殼體11呈圓筒狀，然而本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，殼體11也可以為圓錐狀、棱柱狀等。
[0024]殼體11內(nèi)部設(shè)有通孔112，用于容納熱電偶12。通孔112的內(nèi)徑大于熱電偶12的外徑1-5毫米，優(yōu)選為2-3毫米。從而當(dāng)熱電偶12安裝于殼體11內(nèi)時(shí)，熱電偶12可以與殼體11緊密接觸。
[0025]在本優(yōu)選實(shí)施方式中，熱電偶12與殼體11通過螺紋連接，即在殼體11的通孔112內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋114，在熱電偶12上設(shè)有外螺紋121，從而當(dāng)熱電偶12安裝于殼體11內(nèi)時(shí)，該內(nèi)、外螺紋相互配合從而將熱電偶12緊密連接在殼體11內(nèi)。然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，熱電偶12與殼體11也可以采用其它的方式連接。
[0026]接地結(jié)構(gòu)13包括設(shè)置于殼體11上的螺孔131、接地螺釘132、以及導(dǎo)線133。其中導(dǎo)線133可以為本領(lǐng)域通用的導(dǎo)線，例如銅線、鋁線等。螺釘132安裝于空131中，導(dǎo)線133一端連接連接在螺釘132上，另一端與大地連接。在測量裝置10使用過程中，接地結(jié)構(gòu)13避免漏電流、感應(yīng)電流干擾熱電偶而弓I起的測量波動。
[0027]然而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以理解，接地結(jié)構(gòu)13也可以采用別的形式，例如在熱電偶12的外表面上設(shè)置導(dǎo)電部，通過將導(dǎo)線的一端連接該導(dǎo)電部而另一端接地的方式等。
[0028]使用時(shí)，將熱電偶12旋入殼體11的通孔112，接地螺釘132安裝于螺孔131，導(dǎo)線一端與螺釘132連接，另一端接地。整個(gè)溫度測量裝置10安裝于蒸發(fā)室20的側(cè)壁上，并使得殼體11的一端與蒸發(fā)室20配合，熱電偶12與蒸發(fā)室的外表面接觸，從而通過測量蒸發(fā)室20的外表面的溫度測量出蒸發(fā)室20內(nèi)聚對二甲苯氣體的溫度。
[0029]以上已詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，但應(yīng)理解到，在閱讀了本實(shí)用新型的上述講授內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型作各種改動或修改。這些等價(jià)形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種溫度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度，其特征在于:所述溫度測量裝置包括殼體、熱電偶以及接地結(jié)構(gòu)，所述殼體設(shè)有中心通孔，所述熱電偶固定容納于所述殼體的中心通孔內(nèi)并且與所述蒸發(fā)室的外表面接觸，所述殼體的一端設(shè)有圓弧面，所述圓弧面的弧度與所述蒸發(fā)室外表面的弧度相同，且所述接地結(jié)構(gòu)的一端與所述熱電偶電連接，另一端接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其特征在于，所述殼體的內(nèi)徑比所述熱電偶的外徑大l-5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其特征在于，所述殼體的內(nèi)徑比所述熱電偶的外徑大2_3mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其特征在于，所述殼體與所述熱電偶螺紋連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其特征在于，所述接地結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述殼體上的螺紋孔、安裝于該螺紋孔中的螺釘以及連接于該螺釘上的導(dǎo)線。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的溫度測量裝置，其特征在于，所述殼體呈圓筒形。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種溫度測量裝置，用于測量聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度。該溫度測量裝置包括殼體、熱電偶以及接地結(jié)構(gòu)。該殼體設(shè)有中心通孔，熱電偶固定容納于該殼體的中心通孔內(nèi)并且與蒸發(fā)室的外表面接觸。殼體的一端設(shè)有圓弧面，該圓弧面的弧度與蒸發(fā)室外表面的弧度相同，且接地結(jié)構(gòu)的一端與熱電偶電連接，另一端接地。采用本實(shí)用新型能解決聚對二甲苯真空臥式沉積系統(tǒng)蒸發(fā)室的溫度測量結(jié)果不穩(wěn)定，易受環(huán)境因素影響的問題。
【IPC分類】G01K7-06, C23C14-12, C23C14-54, C23C16-52
【公開號】CN204265843
【申請?zhí)枴緾N201420735405
【發(fā)明人】徐志淮
【申請人】昆山彰盛奈米科技有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2014年11月28日