一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置及陣列基板的斷線修復(fù)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置及陣列基板的斷線修復(fù)方法，涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，用于解決斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)工作效率低的問(wèn)題。該斷線修復(fù)裝置包括：發(fā)出激光束的激光器，提供修復(fù)材料的供粉單元，以及設(shè)置在所述激光束的出射方向上的分光單元；其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，修復(fù)材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線。在所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述第一子激光束將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。本發(fā)明提供的斷線修復(fù)裝置用于對(duì)待修復(fù)的陣列基板中斷開(kāi)的信號(hào)線進(jìn)行斷線修復(fù)。
【專利說(shuō)明】
一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置及陣列基板的斷線修復(fù)方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置及陣列基板的斷線修復(fù)方法。【背景技術(shù)】
[0002]目前，在陣列基板的制備過(guò)程中，斷線是一種較為常見(jiàn)的不良現(xiàn)象。具體地，斷線指的是陣列基板上的數(shù)據(jù)線、柵線等信號(hào)線存在斷開(kāi)的狀況。由于信號(hào)線斷開(kāi)處通常存在異物，若直接將斷開(kāi)的信號(hào)線重新連接，該異物脫落容易引起重新連接后的信號(hào)線再次斷開(kāi)。為此，如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)通常使用斷線修復(fù)裝置在待修復(fù)的陣列基板的像素電極1上形成修復(fù)導(dǎo)線2,該修復(fù)導(dǎo)線2的兩端分別與信號(hào)線3的斷開(kāi)的兩端連接，即通過(guò)架橋的方式將斷開(kāi)的信號(hào)線3重新連接。
[0003]但是，現(xiàn)有技術(shù)中的斷線修復(fù)裝置在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中卻存在工作效率較低的問(wèn)題。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置及陣列基板的斷線修復(fù)方法，用于提高斷線修復(fù)的工作效率。[〇〇〇5]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復(fù)裝置采用如下技術(shù)方案:
[0006]—種陣列基板的斷線修復(fù)裝置，該斷線修復(fù)裝置包括:發(fā)出激光束的激光器，提供修復(fù)材料的供粉單元，以及設(shè)置在所述激光束的出射方向上的分光單元;其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)， 所述供粉單元提供的修復(fù)材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在待修復(fù)的陣列基板的像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線。在所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)， 將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0007]由于本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復(fù)裝置包括如上的結(jié)構(gòu)，因此，在使用該斷線修復(fù)裝置對(duì)待修復(fù)的陣列基板進(jìn)行修復(fù)時(shí)，首先激光器會(huì)發(fā)出激光束，再通過(guò)分光單元將該激光束分為主激光束和第一子激光束，然后，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元提供的修復(fù)材料在主激光束的照射下分解出沉積在待修復(fù)的陣列基板的像素電極上的金屬粉，沉積在該像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線。在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明所提供的斷線修復(fù)裝置可以使在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和對(duì)該像素電極進(jìn)行分隔同時(shí)進(jìn)行，相比于現(xiàn)有技術(shù)中先后進(jìn)行在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和分隔該像素電極，明顯提高了斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)效率。
[0008]此外，本發(fā)明還提供了一種陣列基板的斷線修復(fù)方法，該斷線修復(fù)方法采用如上所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置進(jìn)行斷線修復(fù)，該斷線修復(fù)方法包括:提供具有斷開(kāi)的信號(hào)線的陣列基板;所述斷線修復(fù)裝置的供粉單元提供修復(fù)材料;所述斷線修復(fù)裝置的分光單元將所述斷線修復(fù)裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述供粉單元提供的修復(fù)材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線;在所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0009]由于本發(fā)明提供的陣列基板的斷線修復(fù)方法包括如上步驟，因此，可以先通過(guò)斷線修復(fù)裝置的分光單元將斷線修復(fù)裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元提供的修復(fù)材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線。在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明所提供的斷線修復(fù)方法可以使在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和對(duì)該像素電極進(jìn)行分隔同時(shí)進(jìn)行，相比于現(xiàn)有技術(shù)中先后進(jìn)行在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和分隔該像素電極，明顯提高了對(duì)待修復(fù)的陣列基板中斷開(kāi)的信號(hào)線進(jìn)行斷線修復(fù)的工作效率?！靖綀D說(shuō)明】
[0010]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的像素電極與修復(fù)導(dǎo)線的位置關(guān)系示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中的斷線修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0013]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中的斷線修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二；
[0014]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中的斷線修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖三；
[0015]圖5為本發(fā)明實(shí)施例中的斷線修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖四；
[0016]圖6為本發(fā)明實(shí)施例中的像素電極與修復(fù)導(dǎo)線的位置關(guān)系示意圖；
[0017]圖7為本發(fā)明實(shí)施例中的斷線修復(fù)方法的流程圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0019]1-像素電極；la-像素電極主體部分；lb-金屬粉承托部分；
[0020]lbl-第一部分；lb2-第二部分；2-修復(fù)導(dǎo)線；
[0021]3-信號(hào)線；4-激光器；5-分光單元；
[0022] 5a_第一分光鏡；5b_第一激光頻率調(diào)節(jié)器；5c_第二分光鏡；
[0023] 5d_第二激光頻率調(diào)節(jié)器；6-供粉單元；7-修復(fù)材料；
[0024]8-金屬粉；9-待修復(fù)的陣列基板；10-第一光路調(diào)節(jié)鏡；[〇〇25]10a-第一反射膜；10b-第一轉(zhuǎn)軸；l〇c-第一直角三棱鏡；
[0026]11-第一聚光透鏡；12-第二聚光透鏡；13-第二光路調(diào)節(jié)鏡；
[0027]13a-第二反射膜；13b-第二轉(zhuǎn)軸；13c_第二直角三棱鏡；
[0028]14-第三聚光透鏡?！揪唧w實(shí)施方式】[〇〇29]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0030]實(shí)施例一
[0031]正如【背景技術(shù)】所述，現(xiàn)有技術(shù)中斷線修復(fù)的方式存在工作效率低的問(wèn)題。本發(fā)明的發(fā)明人經(jīng)過(guò)不斷研究與實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，造成上述問(wèn)題的原因之一在于:
[0032]現(xiàn)有技術(shù)中用于修復(fù)斷線的斷線修復(fù)裝置通常包括高頻激光器、低頻激光器和用于提供修復(fù)材料(例如，六羰基鎢粉或者氧化鈷粉)的供粉單元。下面以修復(fù)材料為六羰基鎢粉為例，對(duì)該斷線修復(fù)裝置進(jìn)行斷線修復(fù)的工作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明:如圖1所示，進(jìn)行斷線修復(fù)時(shí)，先打開(kāi)高頻激光器，高頻激光器發(fā)出l〇KHz的激光束，該激光束穿過(guò)供粉單元所提供的六羰基鎢粉，照射至待修復(fù)的陣列基板上的像素電極1上，形成光斑。且當(dāng)該激光束照射在供粉單元所提供的六羰基鎢粉上時(shí)，六羰基鎢粉分解出金屬粉，這些金屬粉沉積在像素電極1上形成有所述光斑的區(qū)域內(nèi)。當(dāng)高頻激光器發(fā)出的激光束跟隨高頻激光器沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，在像素電極1形成將斷開(kāi)的信號(hào)線3重新連接的修復(fù)導(dǎo)線2,修復(fù)導(dǎo)線2形狀與預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑相似。
[0033]為了防止像素電極1中處于修復(fù)導(dǎo)線2下方的部分對(duì)修復(fù)導(dǎo)線2上的信號(hào)產(chǎn)生影響，還需要將像素電極1中處于修復(fù)導(dǎo)線2下方的部分與像素電極1中的其余部分隔開(kāi)，即將像素電極1分分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb兩部分(如圖1所示)?；谶@一考慮，在形成修復(fù)導(dǎo)線2后，打開(kāi)低頻激光器，低頻激光器發(fā)出100Hz的激光束，該激光束照射至上述形成有修復(fù)導(dǎo)線2的像素電極1上，當(dāng)?shù)皖l激光器發(fā)出100Hz的激光束跟隨低頻激光器預(yù)設(shè)的去除路徑移動(dòng)時(shí)，低頻激光器發(fā)出100Hz的激光束將形成有修復(fù)導(dǎo)線2的像素電極1分隔成像素電極主體部分和修復(fù)導(dǎo)線2所在的承托部分，即如圖1所示，形成有修復(fù)導(dǎo)線2的像素電極1被分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。
[0034]由上述工作過(guò)程不難發(fā)現(xiàn)，使用現(xiàn)有技術(shù)中的斷線修復(fù)裝置對(duì)待修復(fù)的陣列基板進(jìn)行修復(fù)時(shí)，需要先在像素電極1上形成修復(fù)導(dǎo)線2,再對(duì)該像素電極1進(jìn)行分隔，兩項(xiàng)工作先后進(jìn)行，這無(wú)疑會(huì)造成斷線修復(fù)工作的時(shí)間延長(zhǎng)，導(dǎo)致斷線修復(fù)的工作效率下降。
[0035]基于上述研究及發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的發(fā)明人提出一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置，該斷線修復(fù)裝置能夠使形成修復(fù)導(dǎo)線和對(duì)像素電極1進(jìn)行分隔兩項(xiàng)工作同時(shí)進(jìn)行，從而提高斷線修復(fù)的工作效率。如圖2所示，該陣列基板的斷線修復(fù)裝置包括:發(fā)出激光束的激光器4， 提供修復(fù)材料7的供粉單元6，以及設(shè)置在激光束的出射方向上的分光單元5;其中，分光單元5將激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元 6提供的修復(fù)材料7在主激光束的照射下分解出沉積在待修復(fù)的陣列基板9的像素電極1上的金屬粉8,沉積在像素電極1上的金屬粉8構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線3導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線2。在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉8的像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。
[0036]示例性地，上述供粉單元6提供的修復(fù)材料7可以為六羰基鎢粉或者氧化鈷粉中的一種。當(dāng)然，修復(fù)材料7也可以為其他能夠分解出金屬粉8的材料，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不做限制。另外，第一子激光束的頻率應(yīng)與像素電極1的材料相對(duì)應(yīng)，以使第一子激光束照射至像素電極1上，形成光斑時(shí)，第一子激光束能夠去除像素電極1上與該光斑相對(duì)應(yīng)的區(qū)域，示例性地，當(dāng)像素電極1的材料為氧化銦錫時(shí)，第一子激光束的頻率可以為100Hz。類似地，主激光束的頻率也應(yīng)與修復(fù)材料7的種類相對(duì)應(yīng)，以使主激光束照射至修復(fù)材料7時(shí)，修復(fù)材料7 可以分解出金屬粉8,示例性地，當(dāng)修復(fù)材料7為六羰基鎢粉時(shí)，主激光束的頻率可以為 lOKHz。此外，使主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)，以及使第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)的方式均可以有多種，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行合理選擇。示例性地，斷線修復(fù)裝置還可以包括支撐架，以及與該支撐架連接的伺服電機(jī)，其中，支撐架用于固定激光器4、供粉單元6和分光單元5。當(dāng)斷線修復(fù)裝置工作時(shí)，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)支撐架沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)，從而使激光器4、供粉單元6和分光單元5均跟著支撐架一起移動(dòng)，進(jìn)而使主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)，且使第一子激光束沿預(yù)設(shè)的第一去除路徑移動(dòng)。另外，斷線修復(fù)裝置還可以包括設(shè)置于激光器4和分光單元5之間的激光束的光路上的擴(kuò)束鏡，以對(duì)激光器 4發(fā)出的激光束的進(jìn)行擴(kuò)束處理。
[0037]由于本發(fā)明實(shí)施例提供的陣列基板的斷線修復(fù)裝置包括如上的結(jié)構(gòu)，因此，在使用該斷線修復(fù)裝置對(duì)待修復(fù)的陣列基板9進(jìn)行修復(fù)時(shí)，首先激光器4會(huì)發(fā)出激光束，再通過(guò)分光單元5將該激光束分為主激光束和第一子激光束，然后，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元6提供的修復(fù)材料7在主激光束的照射下分解出沉積在待修復(fù)的陣列基板9 的像素電極1上的金屬粉8,沉積在該像素電極1上的金屬粉8構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線3導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線2。在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉8的像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb。因此，使用本發(fā)明實(shí)施例所提供的斷線修復(fù)裝置可以使在像素電極1上形成修復(fù)導(dǎo)線2和對(duì)該像素電極1進(jìn)行分隔同時(shí)進(jìn)行，相比于現(xiàn)有技術(shù)中先后進(jìn)行在像素電極1上形成修復(fù)導(dǎo)線2和分隔該像素電極1，明顯提高了斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)效率。本申請(qǐng)的發(fā)明人經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)，使用本發(fā)明實(shí)施例提供的斷線修復(fù)裝置可以將斷線修復(fù)效率提高1倍以上。此外，本發(fā)明實(shí)施例提供的斷線修復(fù)裝置只需要一臺(tái)激光器4即可，與現(xiàn)有技術(shù)中的斷線修復(fù)裝置相比，減少了一臺(tái)激光器4,從而降低了斷線修復(fù)裝置的成本。
[0038]進(jìn)一步地，如圖3所示，斷線修復(fù)裝置還可以包括第一光路調(diào)節(jié)鏡10,第一光路調(diào)節(jié)鏡10設(shè)置于第一子激光束的出射方向上，用于調(diào)節(jié)第一子激光束的光線傳播方向，從而可以通過(guò)第一光路調(diào)節(jié)鏡10精確地控制第一子激光束照射至待修復(fù)的陣列基板9的像素電極1上的位置，即能夠精確地控制第一子激光束在像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離，從而能夠根據(jù)實(shí)際需要對(duì)上述兩個(gè)光斑之間的距離進(jìn)行精確地控制，有利于提高斷線修復(fù)裝置的精度和靈活性。
[0039]具體地，如圖3所示，第一光路調(diào)節(jié)鏡10可以包括安裝在第一支架上的第一轉(zhuǎn)軸 l〇b，以及套設(shè)于第一轉(zhuǎn)軸10b上的第一直角三棱鏡10c，第一直角三棱鏡10c的斜面上設(shè)置有第一反射膜l〇a。具有如上結(jié)構(gòu)的第一光路調(diào)節(jié)鏡10工作時(shí)，第一子激光束經(jīng)第一反射膜 l〇a反射后，照射至像素電極1上，形成光斑。當(dāng)需要對(duì)第一子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，可以通過(guò)第一轉(zhuǎn)軸10b的轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)第一直角三棱鏡10c進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而改變第一子激光束經(jīng)第一反射膜10a反射后的光線傳播方向。不例性地，以圖3中第一子激光束位于主激光束的右側(cè)為例， 當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)軸l〇b順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，上述兩個(gè)光斑之間的距離變??；當(dāng)?shù)谝晦D(zhuǎn)軸10b逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，上述兩個(gè)光斑之間的距離變大。需要說(shuō)明的是，第一光路調(diào)節(jié)鏡10的【具體實(shí)施方式】不局限于以上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行合理選擇。例如，第一光路調(diào)節(jié)鏡10 還可以包括可轉(zhuǎn)動(dòng)的第一支架，以及安裝在該第一支架上的第一平面反射鏡。
[0040]進(jìn)一步地，使上述第一轉(zhuǎn)軸10b轉(zhuǎn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)方式可以有多種，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行合理選擇。示例性地，斷線修復(fù)裝置還可以包括觸控顯示屏、處理器和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，其中，處理器分別與觸控顯示屏和驅(qū)動(dòng)馬達(dá)連接，驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與第一轉(zhuǎn)軸l〇b連接。具有如上結(jié)構(gòu)的斷線修復(fù)裝置工作時(shí)，可以通過(guò)觸控顯示屏輸入?yún)?shù)，處理器根據(jù)該參數(shù)控制驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，使驅(qū)動(dòng)馬達(dá)帶動(dòng)第一轉(zhuǎn)軸l〇b轉(zhuǎn)動(dòng)與該參數(shù)相對(duì)應(yīng)的角度，從而能夠?qū)Φ谝晦D(zhuǎn)軸l〇b的轉(zhuǎn)動(dòng)角度進(jìn)行精確地控制，進(jìn)而能夠精確地控制第一子激光束在像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離。[〇〇41]此外，如圖3所示，斷線修復(fù)裝置還可以包括設(shè)置于第一子激光束的出射方向上的第一聚光透鏡11，進(jìn)一步的，在第一子激光束的出射方向上設(shè)置有第一光路調(diào)節(jié)鏡10時(shí)，該第一聚光透鏡11具體可設(shè)置于第一光路調(diào)節(jié)鏡10之后的第一子激光束路徑上。第一聚光透鏡11的設(shè)置可以使第一子激光束的能量更加集中，以提高第一子激光束去除像素電極1上與第一去除路徑相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的速度，從而能夠以較快的速度將像素電極1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb，進(jìn)而使得斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)效率較高。[〇〇42]類似地，如圖3所示，斷線修復(fù)裝置還可以包括第二聚光透鏡12,第二聚光透鏡12 設(shè)置于分光單元5和供粉單元6提供的修復(fù)材料7之間的主激光束的光路上，從而使照射修復(fù)材料7上的主激光束的能量更加集中，以提高主激光束將該修復(fù)材料7分解出沉積在像素電極1上的金屬粉8的速度，從而能夠以較快的速度在像素電極1上形成將斷開(kāi)的信號(hào)線3導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線2,進(jìn)而使得斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)效率較高。
[0043]另外，為便于本領(lǐng)域技術(shù)人員具體實(shí)施，下面對(duì)分光單元5的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明?？蛇x地，如圖4所示，分光單元5包括:第一分光鏡5a和第一激光頻率調(diào)節(jié)器5b。其中，第一分光鏡5a設(shè)置于激光束的出射方向上，用于將激光束分成第二子激光束和主激光束;第一激光頻率調(diào)節(jié)器5b設(shè)置于第二子激光束的出射方向上，用于將第二子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)榈谝蛔蛹す馐?。為便于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，以激光器4所發(fā)出的激光束的頻率為lOKHz，修復(fù)材料7為六羰基鎢粉為例，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的分光單元5的工作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明:首先激光器4發(fā)出lOKHz的激光束，該激光束被第一分光鏡5a分成頻率均為lOKHz的第二子激光束和主激光束，再通過(guò)第一激光頻率調(diào)節(jié)器5b對(duì)第二子激光束進(jìn)行頻率調(diào)節(jié)，使頻率為lOKHz的第二子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)轭l率為100Hz的第一子激光束。示例性地，上述第一分光鏡5a可以為半透半反鏡。
[0044]進(jìn)一步地，如圖5所示，本發(fā)明所提供的分光單元5還可以包括:第二分光鏡5c和第二激光頻率調(diào)節(jié)器5d。其中，第二分光鏡5c設(shè)置于第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束的出射方向上，用于將第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束分成第三子激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。第二激光頻率調(diào)節(jié)器5d設(shè)置于第三子激光束的出射方向上，用于將第三子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)榈谒淖蛹す馐?。在像素電極1上形成修復(fù)導(dǎo)線2時(shí)，第四子激光束沿第二去除路徑移動(dòng)，將金屬粉承托部分lb分隔成如圖6所示的第一部分lbl和修復(fù)導(dǎo)線2所在的第二部分lb2。因此，本發(fā)明實(shí)施例提供的斷線修復(fù)裝置能夠?qū)⑾袼仉姌O1分隔成像素電極主體部分la和金屬粉承托部分lb的同時(shí)，還能夠?qū)⒔饘俜鄢型胁糠謑b分隔成第一部分lbl和修復(fù)導(dǎo)線2所在的第二部分lb2,從而能夠避免整個(gè)金屬粉承托部分lb都受修復(fù)導(dǎo)線2上的電信號(hào)的影響。
[0045]為便于本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，以激光器4所發(fā)出的激光束的頻率為lOKHz，修復(fù)材料7為六羰基鎢粉為例，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的分光單元5的工作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明:首先激光器4發(fā)出lOKHz的激光束，該激光束被第一分光鏡5a分成頻率均為lOKHz的第二子激光束和主激光束，再通過(guò)第二分光鏡5c將第一分光鏡5a發(fā)出的主激光束分為頻率均為lOKHz的第三子激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。然后，通過(guò)第二頻率調(diào)節(jié)器對(duì)第三子激光束進(jìn)行頻率調(diào)節(jié)，使頻率為1 OKHz的第三子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)轭l率為100Hz的第四子激光束。示例性地，上述第二分光鏡5c可以為半透半反鏡。
[0046]需要說(shuō)明的是，第二分光鏡5c也可以設(shè)置在第一分光鏡5a的入光側(cè)，即激光器4發(fā)出的激光束經(jīng)第二分光鏡5c分為第三激光束和主激光束，該第二分光鏡5c發(fā)出的主激光束再經(jīng)第一分光鏡5a分為第一激光束和分光單元5發(fā)出的主激光束。具有這種結(jié)構(gòu)的分光單元5的工作過(guò)程可參照上述分析過(guò)程，此處不再進(jìn)行贅述。
[0047]進(jìn)一步地，如圖5所示，斷線修復(fù)裝置還可以包括第二光路調(diào)節(jié)鏡13,第二光路調(diào)節(jié)鏡13設(shè)置于第四子激光束的出射方向上，用于調(diào)節(jié)第四子激光束的光線傳播方向，從而可以精確地控制第四子激光束照射至待修復(fù)的陣列基板9的像素電極1上的位置，即能夠精確地控制第四子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離，從而能夠根據(jù)實(shí)際需要對(duì)上述兩個(gè)光斑之間的距離進(jìn)行精確地控制，有利于提高斷線修復(fù)裝置的精度和靈活性。
[0048]具體地，如圖5所示，第二光路調(diào)節(jié)鏡13可以包括安裝在第二支架上的第二轉(zhuǎn)軸 13b，以及套設(shè)于第二轉(zhuǎn)軸13b上的第二直角三棱鏡13c，第二直角三棱鏡13c的斜面上設(shè)置有第二反射膜13a。具有如上結(jié)構(gòu)的第二光路調(diào)節(jié)鏡13工作時(shí)，第四子激光束經(jīng)第二反射膜 13a反射后，照射至像素電極1上，形成光斑。當(dāng)需要對(duì)第四子激光束在該像素電極1上所形成的光斑與主激光束在該像素電極1上所形成的光斑之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，可以通過(guò)第二轉(zhuǎn)軸13b的轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)第二直角三棱鏡13c進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而改變第四子激光束經(jīng)第二反射膜13a反射后的光線傳播方向。不例性地，以圖5中第四子激光束位于主激光束的左側(cè)為例， 當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)軸13b順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，上述兩個(gè)光斑之間的距離變大；當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)軸13b逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，上述兩個(gè)光斑之間的距離變小。需要說(shuō)明的是，第二光路調(diào)節(jié)鏡13的【具體實(shí)施方式】不局限于以上所述，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行合理選擇。例如，第二光路調(diào)節(jié)鏡13 還可以包括可轉(zhuǎn)動(dòng)的第二支架上，以及安裝在該第二支架上的第二平面反射鏡。此外，使第二轉(zhuǎn)軸13b轉(zhuǎn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)方式可參照上述使第一轉(zhuǎn)軸10b轉(zhuǎn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)方式，此處不再進(jìn)行贅述。
[0049]進(jìn)一步地，如圖5所示，斷線修復(fù)裝置還包括設(shè)置于第四子激光束的出射方向的第三聚光透鏡14,在第四子激光束的出射方向上設(shè)置有第二光路調(diào)節(jié)鏡13時(shí)，該第三聚光透鏡14具體可設(shè)置于第二光路調(diào)節(jié)鏡13之后的第四子激光束路徑上。第三聚光透鏡14的設(shè)置能夠使第四子激光束的能量更加集中，以提高第四子激光束去除待修復(fù)的陣列基板9的像素電極1上與第二去除路徑相對(duì)應(yīng)的區(qū)域的速度，從而能夠以較快的速度將金屬粉承托部分lb分隔成第一部分lbl和修復(fù)導(dǎo)線2所在的第二部分lb2,進(jìn)而提高了斷線修復(fù)裝置的斷線修復(fù)效率。
[0050]實(shí)施例二
[0051]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種陣列基板的斷線修復(fù)方法，該斷線修復(fù)方法采用如實(shí)施例一所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置進(jìn)行斷線修復(fù)，如圖7所示，該斷線修復(fù)方法包括:步驟S1、提供具有斷開(kāi)的信號(hào)線的陣列基板;步驟S2、斷線修復(fù)裝置的供粉單元提供修復(fù)材料;步驟S3、斷線修復(fù)裝置的分光單元將斷線修復(fù)裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元提供的修復(fù)材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線;在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。
[0052]由于本發(fā)明實(shí)施例提供的陣列基板的斷線修復(fù)方法包括如上步驟，因此，可以先通過(guò)斷線修復(fù)裝置的分光單元將斷線修復(fù)裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激光束和第一子激光束，主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，供粉單元提供的修復(fù)材料在主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線。在主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部分和金屬粉承托部分。因此，使用本發(fā)明實(shí)施例所提供的斷線修復(fù)方法可以使在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和對(duì)該像素電極進(jìn)行分隔同時(shí)進(jìn)行，相比于現(xiàn)有技術(shù)中先后進(jìn)行在像素電極上形成修復(fù)導(dǎo)線和分隔該像素電極，明顯提高了對(duì)待修復(fù)的陣列基板中斷開(kāi)的信號(hào)線進(jìn)行斷線修復(fù)的工作效率。[〇〇53]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，包括:發(fā)出激光束的激光器，提供修復(fù) 材料的供粉單元，以及設(shè)置在所述激光束的出射方向上的分光單元;其中，所述分光單元將所述激光束分成主激光束和第一子激光束，所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修 復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述供粉單元提供的修復(fù)材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在待修 復(fù)的陣列基板的像素電極上的金屬粉，沉積在像素電極上的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo) 通的修復(fù)導(dǎo)線;在所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述第一子激光束沿第一去除 路徑移動(dòng)，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素電極主體部和金屬粉承托部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還 包括第一光路調(diào)節(jié)鏡，所述第一光路調(diào)節(jié)鏡設(shè)置于所述第一子激光束的出射方向上，用于 調(diào)節(jié)所述第一子激光束的光線傳播方向。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述第一光路調(diào)節(jié)鏡 包括安裝在第一支架上的第一轉(zhuǎn)軸，以及套設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)軸上的第一直角三棱鏡，所述 第一直角三棱鏡的斜面上設(shè)置有第一反射膜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還 包括設(shè)置于所述第一子激光束的出射方向上的第一聚光透鏡。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還 包括第二聚光透鏡，所述第二聚光透鏡設(shè)置于所述分光單元和所述供粉單元提供的修復(fù)材 料之間的所述主激光束的光路上。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還 包括擴(kuò)束鏡，所述擴(kuò)束鏡設(shè)置于所述激光器和所述分光單元之間的所述激光束的光路上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述分光單元包括: 第一分光鏡和第一激光頻率調(diào)節(jié)器;其中，所述第一分光鏡設(shè)置于所述激光束的出射方向上，用于將所述激光束分成第二子激光 束和所述主激光束;所述第一激光頻率調(diào)節(jié)器設(shè)置于所述第二子激光束的出射方向上，用 于將所述第二子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)樗龅谝蛔蛹す馐?.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述分光單元還包 括:第二分光鏡和第二激光頻率調(diào)節(jié)器;其中，所述第二分光鏡設(shè)置于所述第一分光鏡發(fā)出的主激光束的出射方向上，用于將所述第 一分光鏡發(fā)出的主激光束分成第三子激光束和所述分光單元發(fā)出的主激光束;所述第二激 光頻率調(diào)節(jié)器設(shè)置于所述第三子激光束的出射方向上，用于將所述第三子激光束轉(zhuǎn)變?yōu)榈?四子激光束;在所述像素電極上形成所述修復(fù)導(dǎo)線時(shí)，所述第四子激光束沿第二去除路徑 移動(dòng)，將所述承托部分分隔成第一部分和所述修復(fù)導(dǎo)線所在的第二部分。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還 包括第二光路調(diào)節(jié)鏡，所述第二光路調(diào)節(jié)鏡設(shè)置于所述第四子激光束的出射方向上，用于 調(diào)節(jié)所述第四子激光束的光線傳播方向。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述第二光路調(diào)節(jié) 鏡包括安裝在第二支架上的第二轉(zhuǎn)軸，以及套設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)軸上的第二直角三棱鏡，所 述第二直角三棱鏡的斜面上設(shè)置有第二反射膜。11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述斷線修復(fù)裝置還包括設(shè)置于所述第四子激光束的出射方向的第三聚光透鏡。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)材料為六 羰基鎢粉，所述主激光束的頻率為lOKHz;所述像素電極的材料為氧化銦錫，所述第一子激光束的頻率為100Hz。13.—種陣列基板的斷線修復(fù)方法，其特征在于，所述斷線修復(fù)方法采用如權(quán)利要求1 ?12任一項(xiàng)所述的陣列基板的斷線修復(fù)裝置進(jìn)行斷線修復(fù)，所述斷線修復(fù)方法包括:提供具有斷開(kāi)的信號(hào)線的陣列基板；所述斷線修復(fù)裝置的供粉單元提供修復(fù)材料；所述斷線修復(fù)裝置的分光單元將所述斷線修復(fù)裝置的激光器發(fā)出的激光束分成主激 光束和第一子激光束，所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng)時(shí)，所述供粉單元提供的修復(fù) 材料在所述主激光束的照射下分解出沉積在像素電極上的金屬粉，所述沉積在像素電極上 的金屬粉構(gòu)成將斷開(kāi)的信號(hào)線導(dǎo)通的修復(fù)導(dǎo)線；在所述主激光束沿預(yù)設(shè)的修復(fù)路徑移動(dòng) 時(shí)，所述第一子激光束沿第一去除路徑移動(dòng)，將沉積有所述金屬粉的像素電極分隔成像素 電極主體部分和金屬粉承托部分。
【文檔編號(hào)】C23C24/10GK105970210SQ201610364132
【公開(kāi)日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月26日
【發(fā)明人】王念念, 熊永
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 重慶京東方光電科技有限公司