一種多管運動的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種多管運動沉積裝置，具體說是一種多管運動的化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置可改進產(chǎn)品膜層的質(zhì)量，實現(xiàn)整體設(shè)備的全自動化。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著經(jīng)濟建設(shè)的快速發(fā)展，微電子技術(shù)得到了迅猛地發(fā)展，等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備的開發(fā)和使用也日益廣泛。
[0003]等離子體增強化學(xué)氣相沉積法，是在化學(xué)氣相沉積時，為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，這種化學(xué)氣相沉積方法稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法，實施該種加工方法的設(shè)備為等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
[0004]—種多管運動的化學(xué)氣相沉積裝置是比較典型的等離子體增強化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置將多個太陽能電池片裝入載板中，將該載板傳輸至工藝腔內(nèi)，預(yù)熱到設(shè)定溫度后，通入工藝氣體，設(shè)定功率離化工藝氣體產(chǎn)生等離子體，進而完成薄膜沉積。
[0005]以往沉積方法多采用樣品靜止沉積方式，這樣就對沉積源有很高的要求，因為要使膜層厚度均勻，要求能量源在大面積區(qū)域處處恒定功率輸出，所以本專利提出了多管運動式沉積方式，也就是要求備沉積樣品在沉積過程中一直處于運動狀態(tài)，減小因單個能量源的輸出問題造成膜層質(zhì)量下降的隱患。此外運動式沉積方式易于實現(xiàn)整體設(shè)備的自動化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明涉及一種多管運動沉積裝置，具體說是一種多管運動的化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置包括反應(yīng)腔、石英管、微波發(fā)生器和傳輸系統(tǒng)。該裝置可改進產(chǎn)品膜層的質(zhì)量，實現(xiàn)整體設(shè)備的全自動化。
[0007]所述反應(yīng)腔上蓋具有頂蓋升降系統(tǒng)，所述頂蓋升降系統(tǒng)可以通過電子線性傳導(dǎo)馬達來打開和關(guān)閉腔室蓋。
[0008]所述微波發(fā)生器可以產(chǎn)生至少2.45GHz頻率的微波。
[0009]所述傳輸系統(tǒng)用于傳輸裝有電池片的載板。
[0010]所述傳輸系統(tǒng)為滾輪模式，通過硬連接連接，可以保證所述帶輪的同步性。
[0011]在整個載板運動期間，具有限位開關(guān)，實時監(jiān)測載板位置。在載板的運動過程中，有導(dǎo)向裝置，使載板按照預(yù)定軌道前進。
【附圖說明】
[0012]圖1所示為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0014]該系統(tǒng)具有模塊構(gòu)造，包括三個主要的腔室，一個進料的裝載互鎖腔室，一個工藝腔室以及一個出料的裝載互鎖腔室。腔室通過氣動工作的門閥分開。其中，上料的裝載互鎖腔室具有射線加熱陣列，該陣列可以快速將上料的裝載互鎖腔室加熱到350_450°C工藝腔室按照用途分為三個區(qū)，襯底溫度穩(wěn)定在沉積設(shè)定值的加熱區(qū)，沉積區(qū)和將石墨和晶片在離開系統(tǒng)前冷卻的冷卻區(qū)。其中，所述沉積區(qū)包括若干工作在2.45GHz微波頻率的相同的線型等離子源。典型的工藝氣壓范圍是0.1-0.5mbar。工藝氣體是SiH4, NH3and H2。裝有晶片的運輸框在距離等離子(遠程等離子技術(shù))的余輝范圍內(nèi)若干厘米經(jīng)過等離子源。
[0015]通過電子線性傳導(dǎo)馬達(主軸驅(qū)動)來打開和關(guān)閉腔室蓋，以便維護和保養(yǎng)，其中，該電子線性傳導(dǎo)馬達采用了原理。只要按住地應(yīng)的按鈕蓋提拉系統(tǒng)就會開啟?？梢栽谌我忸A(yù)期位置停止蓋提拉系統(tǒng)。最大的孔徑角度是98°...100°。通過位置傳感器確定其行程的極限(開蓋和關(guān)蓋)。用于檢測行程極限的位置傳感器是位于驅(qū)動中的電子極限開關(guān)。
[0016]如圖1所示為PECVD沉積示意圖，裝有電池片的載板的速度可以是130cm/分。
[0017]盡管前述僅是本發(fā)明的實施例，在不偏離它的基本范圍以及所述權(quán)利要求決定的范圍情況下，可以設(shè)計本發(fā)明的其他的和進一步的實施例。
【主權(quán)項】
1.一種多管運動的化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置包括反應(yīng)腔、石英管、微波發(fā)生器和傳輸系統(tǒng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述，其中，所述反應(yīng)腔上蓋具有頂蓋升降系統(tǒng)，所述頂蓋升降系統(tǒng)可以通過電子線性傳導(dǎo)馬達來打開和關(guān)閉腔室蓋。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述，其中，所述微波發(fā)生器可以產(chǎn)生至少2.45GHz頻率的微波。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述，其中，所述傳輸系統(tǒng)用于傳輸裝有電池片的載板。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述，其中，所述傳輸系統(tǒng)為滾輪模式，通過硬連接連接，可以保證所述帶輪的同步性。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述，其中，在整個載板運動期間，具有限位開關(guān)，實時監(jiān)測載板位置。在載板的運動過程中，有導(dǎo)向裝置，使載板按照預(yù)定軌道前進。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種多管運動沉積裝置，具體說是一種多管運動的化學(xué)氣相沉積裝置，該裝置包括反應(yīng)腔、石英管、微波發(fā)生器和傳輸系統(tǒng)，沉積樣品在沉積過程中一直處于運動狀態(tài)，減小因單個能量源的輸出問題造成膜層質(zhì)量下降的隱患。
【IPC分類】C23C16/52, C23C16/458, C23C16/54
【公開號】CN105568260
【申請?zhí)枴緾N201410615954
【發(fā)明人】雷明, 張曉哲
【申請人】沈陽邁維科技有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2014年11月6日