多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體集成電路制造工藝中，以液體氣化反應(yīng)成膜的制程正在被廣泛應(yīng)用，而TEOS(四乙基氧化硅)淀積二氧化硅因?yàn)榫哂懈玫呐_(tái)階覆蓋率被運(yùn)用在65nm及以下的線寬工藝中。
[0003]目前，業(yè)界主要采用應(yīng)用材料公司的多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備。這種設(shè)備可通過(guò)提供不同流量的TEOS來(lái)制備不同性質(zhì)的Si02。當(dāng)設(shè)備有兩路及兩路以上的TEOS管路時(shí)，其中使用的一路TEOS管路在液體氣化之后會(huì)有氣體流通到其他未被使用的TEOS管路中，這部分滯留在其他管路中的氣體會(huì)被一直留在管路中，在使用本身這一路管路時(shí)會(huì)成為顆粒源，被帶到反應(yīng)腔體而影響薄膜的顆粒表現(xiàn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法，以改善使用液體氣化反應(yīng)成膜方式制程的顆粒表現(xiàn)。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法，該多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備包括多條進(jìn)氣管路、抽氣栗和反應(yīng)腔室，多條進(jìn)氣管路共同通入反應(yīng)腔室，所述抽氣栗與反應(yīng)腔室以及位于進(jìn)氣管路的支流閥連接，在進(jìn)氣管路中通入載氣和反應(yīng)氣，使滯留氣體、雜質(zhì)通過(guò)支流閥被抽氣栗吸走；接著，調(diào)節(jié)支流閥使載氣和反應(yīng)氣進(jìn)入到反應(yīng)腔室進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)完成后，由抽氣栗抽走所述反應(yīng)腔室中的剩余廢氣。
[0006]作為優(yōu)選，所述進(jìn)氣管路包括載氣管路和反應(yīng)氣管路，該載氣管路和反應(yīng)氣管路部分重合，所述支流閥設(shè)置在重合的管路上。
[0007]作為優(yōu)選，該重合的管路上還設(shè)置有高溫凈化器和調(diào)節(jié)閥，該高溫凈化器和調(diào)節(jié)閥均設(shè)置在支流閥的進(jìn)氣端。
[0008]作為優(yōu)選，所述載氣管路中還設(shè)置有過(guò)濾器和氣體流量控制器，所述反應(yīng)氣管路中還設(shè)置有流量計(jì)。
[0009]作為優(yōu)選，所述在進(jìn)氣管路中通入載氣和反應(yīng)氣，使滯留氣體、雜質(zhì)通過(guò)支流閥被抽氣栗吸走的步驟包括:首先，打開(kāi)抽氣栗并調(diào)節(jié)支流閥，接著，打開(kāi)載氣管路上的過(guò)濾器、氣體流量控制器以及高溫凈化器，通入載氣，使載氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾器、氣體流量控制閥和高溫凈化器后進(jìn)入到支流閥中；接著，再打開(kāi)反應(yīng)氣管路上的流量計(jì)，使反應(yīng)氣經(jīng)流量計(jì)在高溫凈化器中與載氣混合，經(jīng)調(diào)節(jié)閥進(jìn)入到支流閥中，直至抽氣栗將支流閥中的滯留氣體、雜質(zhì)吸走。
[0010]作為優(yōu)選，所述高溫凈化器中的凈化溫度為160°C。
[0011]作為優(yōu)選，所述支流閥和反應(yīng)腔室均位于加熱套區(qū)域內(nèi)，所述反應(yīng)腔室內(nèi)載氣和反應(yīng)氣的化學(xué)反應(yīng)溫度為110°c。
[0012]作為優(yōu)選，在進(jìn)氣管路中通入載氣和反應(yīng)氣的時(shí)間為5-10S，再調(diào)節(jié)支流閥使載氣和反應(yīng)氣進(jìn)入到反應(yīng)腔室進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法，該多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備包括多條進(jìn)氣管路、抽氣栗和反應(yīng)腔室，多條進(jìn)氣管路共同通入反應(yīng)腔室，所述抽氣栗與反應(yīng)腔室以及位于進(jìn)氣管路的支流閥連接，在進(jìn)氣管路中通入載氣和反應(yīng)氣，使滯留氣體、雜質(zhì)通過(guò)支流閥被抽氣栗吸走；接著，調(diào)節(jié)支流閥使載氣和反應(yīng)氣進(jìn)入到反應(yīng)腔室進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)完成后，由抽氣栗抽走所述反應(yīng)腔室中的剩余廢氣。本發(fā)明通過(guò)優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)開(kāi)始前流經(jīng)進(jìn)氣管路的載氣和反應(yīng)氣的流向，使其先流向支流閥，并利用抽氣栗將滯留氣體和雜質(zhì)抽走，取代了傳統(tǒng)制程程式中將載氣和反應(yīng)氣直接流入反應(yīng)腔室的方法，減少因?yàn)樯弦淮沃瞥毯蟊粶粼谶M(jìn)氣管路中的殘留氣體和雜質(zhì)直接進(jìn)入反應(yīng)腔室，有效改善了成膜后的顆粒表現(xiàn)。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法的流程圖。
[0016]圖中所示:100-進(jìn)氣管路、110-支流閥、120-調(diào)節(jié)閥、130-高溫凈化器、140-過(guò)濾器、150-氣體流量控制器、160-流量計(jì)、200-反應(yīng)腔室、300-抽氣栗。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本發(fā)明附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0018]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法，其目的在于，改善多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備中氣體的流向，從而使上一次制成后被滯留在管路中的殘留氣體和雜質(zhì)被清除掉，避免滯留氣體和雜質(zhì)進(jìn)入到反應(yīng)腔室中，對(duì)液體氣化反應(yīng)成膜方式制程中的顆粒表現(xiàn)造成影響。
[0019]首先，請(qǐng)重點(diǎn)參照?qǐng)D1，該多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備包括多條進(jìn)氣管路100、抽氣栗300和反應(yīng)腔室200，所述多條進(jìn)氣管路100共同通入反應(yīng)腔室200，所述抽氣栗300與反應(yīng)腔室200以及位于進(jìn)氣管路100上的支流閥110連接，具體地，該支流閥110設(shè)置在所述進(jìn)氣管路100靠近反應(yīng)腔室200的一端。
[0020]作為優(yōu)選，所述進(jìn)氣管路100包括載氣管路和反應(yīng)氣管路，且所述載氣管路和反應(yīng)氣管路部分重合，所述支流閥110設(shè)置在重合的管路上。該重合的管路上還設(shè)置有高溫凈化器130和調(diào)節(jié)閥120，該高溫凈化器130和調(diào)節(jié)閥120均設(shè)置在支流閥110的進(jìn)氣端。非重合部分的載氣管路中還設(shè)置有過(guò)濾器140和氣體流量控制器150，所述反應(yīng)氣管路中還設(shè)置有流量計(jì)160。換句話說(shuō)，載氣和反應(yīng)氣分別進(jìn)行流量調(diào)節(jié)以后經(jīng)高溫凈化器130混合凈化后，再經(jīng)重合的管路共同通入到反應(yīng)腔室200中，所述高溫凈化器130中的凈化溫度為160°C，可以有效去除水汽、雜質(zhì)。
[0021]請(qǐng)結(jié)合圖2，本發(fā)明的多管路液體氣化反應(yīng)成膜設(shè)備氣流控制方法包括以下步驟。
[0022]首先，在進(jìn)氣管路100中通入載氣和反應(yīng)氣，使進(jìn)氣管路100中的