α-氧化鋁的比率優(yōu)選為20%以上，更優(yōu)選為40%以上。氧化鋁磨粒中的α-氧化鋁的 比率通過經(jīng)由X射線衍射測定的（113)面的X射線衍射線的積分強度比求得。
[0076] 預(yù)磨組合物中所含的磨粒的平均粒徑優(yōu)選為0. 1 μ m以上，更優(yōu)選為0. 3 μ m以上。 當(dāng)磨粒的平均粒徑為上述范圍內(nèi)時，基于預(yù)磨用組合物的合金材料的研磨速度提高。
[0077] 預(yù)磨用組合物中所含的磨粒的平均粒徑優(yōu)選為20 μπι以下，更優(yōu)選為5 μπι以下。 當(dāng)磨粒的平均粒徑為上述范圍內(nèi)時，可以容易地得到低缺陷且面粗糙度小的研磨面。需要 說明的是，磨粒的平均粒徑的測定可以使用例如激光衍射/散射式粒徑分布測定裝置，例 如使用堀場制作所株式會社制造的"LA-950"進(jìn)行測定。
[0078] 預(yù)磨用組合物中所含的磨粒的比表面積優(yōu)選為20m2/g以下。當(dāng)磨粒的比表面積 為上述范圍內(nèi)時，基于預(yù)磨用組合物的研磨對象物的研磨速度提高。
[0079] 預(yù)磨用組合物中所含的磨粒的比表面積優(yōu)選為5m2/g以上。當(dāng)磨粒的比表面積為 上述范圍內(nèi)時，可以容易地得到低缺陷且面粗糙度小的研磨面。需要說明的是，磨粒的比表 面積的測定可以使用例如 Micromeritics Instrument Corporation 制造的 "Flow SorbII 2300"進(jìn)行測定。
[0080] 預(yù)磨用組合物中的磨粒的含量優(yōu)選為0. 5質(zhì)量％以上，更優(yōu)選為1質(zhì)量％以上。當(dāng) 磨粒的含量為上述范圍內(nèi)時，基于預(yù)磨用組合物的合金材料的研磨速度提高。
[0081 ] 預(yù)磨用組合物中的磨粒的含量優(yōu)選為20質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為10質(zhì)量％以下。當(dāng) 磨粒的含量為上述范圍內(nèi)時，在預(yù)磨用組合物的制造成本降低的基礎(chǔ)上，還可以減少預(yù)磨 后的合金表面的劃痕。
[0082] 與研磨用組合物的pH同樣，預(yù)磨用組合物的優(yōu)選pH根據(jù)研磨的合金的種類而不 同。預(yù)磨用組合物的pH通過公知的酸、堿、或它們的鹽來調(diào)節(jié)。
[0083] 其中，將作為酸的有機(jī)酸、尤其是乙醇酸、琥珀酸、馬來酸、檸檬酸、酒石酸、蘋果 酸、葡糖酸或者衣康酸用于預(yù)磨用組合物的PH調(diào)節(jié)時，通過它們作用于磨粒表面，可以期 待提高研磨速度。
[0084] 接著，對本實施方式的合金材料的研磨方法、和使用該研磨方法的合金材料的制 造方法的作用進(jìn)行說明。
[0085] 在本實施方式中，使用含有磨粒和含氧酸系氧化劑的研磨用組合物對合金進(jìn)行研 磨，所述合金包含主成分和與主成分的硬度不同的副成分的元素。此時，研磨用組合物的穩(wěn) 定性提高，并且含氧酸系氧化劑將合金表面氧化而使合金表面形成硬度高、脆的氧化皮膜， 通過磨粒對其研磨，可以有效地得到?jīng)]有表面缺陷的優(yōu)異的鏡面。
[0086] 根據(jù)本實施方式的合金材料的研磨方法、和使用該研磨方法的合金材料的制造方 法，可以得到以下這樣的效果。
[0087] (1)根據(jù)本實施方式的研磨方法，可以將合金材料的表面有效地精加工成優(yōu)異的 鏡面。
[0088] (2)通過使用含有磨粒和含氧酸系氧化劑的研磨用組合物，可以提高研磨用組合 物的穩(wěn)定性。
[0089] (3)通過使用含有磨粒和含氧酸系氧化劑的研磨用組合物來研磨合金材料，可以 得到表面的平滑性優(yōu)異的光澤鏡面的合金材料。
[0090] 需要說明的是，上述實施方式也可以如下變更。
[0091] ?研磨用組合物也可以通過用水對研磨用組合物的原液進(jìn)行稀釋來制備。
[0092] ?研磨用組合物可以是單組分型，也可以是由兩種以上的組分構(gòu)成的多組分型。另 外，也可以將兩種以上的組分通過各自的路徑供給到研磨裝置，在研磨裝置內(nèi)將這些組分 混合，制備成研磨用組合物。
[0093] 實施例
[0094] 接著，說明本發(fā)明的實施例和比較例。
[0095] (試驗 1)
[0096] 用水對平均粒徑為78nm的未進(jìn)行表面修飾的膠體二氧化硅進(jìn)行稀釋，進(jìn)而加入 氧化劑，由此制備組成1~4的研磨用組合物。組成5的研磨用組合物不加入氧化劑地來 制備。關(guān)于各研磨用組合物，膠體二氧化硅的濃度和平均粒徑、氧化劑的種類和濃度、和PH 示于表2。
[0097] 作為研磨的合金，準(zhǔn)備鋁合金。使用的鋁合金的種類如表3的"合金材料"欄所示。 使用組成1~5所準(zhǔn)備的研磨用組合物，按表1記載的條件進(jìn)行各鋁合金的研磨。并且，按 以下所示的方法，求出研磨速度、和研磨后的合金材料的研磨面的表面粗糙度，并且評價研 磨用組合物的保存穩(wěn)定性。
[0098] 需要說明的是，鋁合金在使用組成1~5的研磨用組合物研磨前進(jìn)行了預(yù)磨，將預(yù) 磨至表面粗糙度Ra為約20nm的鋁合金的面作為研磨對象。另外，表3的"合金材料"欄所 示的"5052"是表示JIS H4000 :2006記載的合金編號5052，"6063"是表示JIS H4040 :2006 記載的合金編號6063。
[0099] 〈研磨速度〉
[0100] 測定在使用各研磨用組合物研磨前后的合金的重量。由研磨前后的重量之差算出 研磨速度。其結(jié)果示于下述表3的"研磨速度"欄。
[0101] <表面粗糙度>
[0102] 基于JIS B0601 :2001記載的方法，使用表面形狀測定機(jī)（商品名：ZYGO New View 5000 5032、Zygo Corporation制造），將測定范圍設(shè)定為I. 4mmX I. 1mm，測定表示研磨后 的合金材料的研磨面的表面粗糙度的"Ra"。"Ra"為表示粗糙度曲線的高度方向的振幅的 平均的參數(shù)，表示一定視野內(nèi)的合金材料表面的高度的算術(shù)平均。測定結(jié)果示于下述表3 的"表面粗糙度Ra"欄。
[0103] <保存穩(wěn)定性>
[0104]向半透明的塑料瓶中填充各例使用的研磨用組合物，在25°C的氣氛下保存7天。 其后，通過裝有研磨用組合物的塑料瓶的外觀，以目視確認(rèn)內(nèi)容物有無變化。若沒有變化， 則評價為保存穩(wěn)定性良好（〇），若有沉淀或聚集等某些變化，則評價為保存穩(wěn)定性不良 (X)。結(jié)果示于下述表3的"穩(wěn)定性"欄。
[0105] [表 1]
[0106]
[0107] [表 2]
[0108]
[0111] 如表3所示，在使用硝酸鹽作為氧化劑的實施例1~6中，與不含有氧化劑的比較 例1、2的情況相比，表面粗糙度Ra被抑制為低，可以得到優(yōu)異的鏡面。在使用過氧化氫作為 氧化劑的比較例3、4中，與實施例1~6的情況相比，能確認(rèn)穩(wěn)定性差。因此，可知比較例 3、4中使用的研磨用組合物在長期保存后使用時，存在對研磨后的合金表面的品質(zhì)、研磨速 度等研磨效率造成不良影響的擔(dān)心。
【主權(quán)項】
1. 一種合金材料的研磨方法，其特征在于，所述合金材料包含主成分和0. 5質(zhì)量％以 上的與所述主成分的維氏硬度HV相差5以上的副成分的元素， 該方法中，使用含有磨粒和含氧酸系氧化劑的研磨用組合物對所述合金材料的表面進(jìn) 行研磨。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的合金材料的研磨方法，其中，所述合金材料的主成分為選自 鋁、鈦、鐵、鎳和銅的至少1種。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的合金材料的研磨方法，其中，所述合金材料的主成分為 鋁，副成分的元素為選自硅、鎂、鐵、銅和鋅的至少1種。4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的合金材料的研磨方法，其中，所述含氧酸系氧化 劑為選自硝酸、亞硝酸、次氯酸、草酸和它們的鹽的至少1種。5. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的合金材料的研磨方法，其中，所述含氧酸系氧化 劑為選自硝酸和其鹽的至少1種。6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的合金材料的研磨方法，其中，所述磨粒為膠體二 氧化硅。7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的合金材料的研磨方法，其包括如下工序：在使 用所述研磨用組合物對所述合金材料進(jìn)行研磨前，使用預(yù)磨用組合物對所述合金材料進(jìn)行 預(yù)磨。8. -種合金材料的制造方法，其包括使用權(quán)利要求1~7中任一項所述的合金材料的 研磨方法對合金材料進(jìn)行研磨的工序。9. 一種合金材料，其使用權(quán)利要求8所述的制造方法制造。10. -種研磨用組合物，其特征在于，該研磨用組合物用于權(quán)利要求1~7中任一項所 述的合金材料的研磨方法， 其含有磨粒和含氧酸系氧化劑。
【專利摘要】本發(fā)明的合金材料的研磨方法的特征在于，所述合金材料包含主成分和0.5質(zhì)量％以上與前述主成分的維氏硬度(HV)相差5以上的副成分的元素，該方法中，使用含有磨粒和含氧酸系氧化劑的研磨用組合物對前述合金材料的表面進(jìn)行研磨。前述合金材料的主成分優(yōu)選為選自鋁、鈦、鐵、鎳和銅的至少1種。前述合金材料的主成分優(yōu)選為鋁，副成分的元素優(yōu)選為選自硅、鎂、鐵、銅和鋅的至少1種。研磨方法優(yōu)選包括在使用研磨用組合物對合金材料進(jìn)行研磨前，使用預(yù)磨用組合物對合金材料進(jìn)行預(yù)磨的工序。
【IPC分類】B24B37/00
【公開號】CN104903052
【申請?zhí)枴緾N201380069121
【發(fā)明人】玉井一誠, 淺井舞子, 森永均
【申請人】福吉米株式會社
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2013年12月26日
【公告號】EP2942152A1, US20150360340, WO2014106944A1