專利名稱：濺射鍍膜裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于圓片形工件的濺射鍍膜裝置，特別適用于在光學數據載體亦稱CD上濺鍍反射層。本裝置包含一個閘室、一個具有作用面的濺射源及一個運輸室，運輸室具有連接開口，分別連接閘室和濺射源，運輸室同時用于通運或者說用于將工件輸入或輸出濺射位置。本裝置在運輸室中還有一個運輸機構，用來在上述開口之間運輸工件。
本發(fā)明所要達到的目的是提供這樣一種濺射鍍膜裝置，它綜合了下述各項優(yōu)點-結構盡可能最小，占地盡可能少；-工件入閘出閘之間的周期時間短；-可自由選擇的任一安裝位置，就是說可以由上向下、由下向上水平地實現濺射操作；-可以在一個濺射鍍膜總體設備中裝入模塊式組件；-組裝簡單、牢固；-在制造和保養(yǎng)方面可節(jié)約費用。
開頭提及的這種濺射鍍膜裝置所具有的上述優(yōu)點是通過以下的措施取得的閘室和濺射源，跨過運輸室，沿著相關的橫軸線彼此處于對峙位置，而運輸機構繞一個與上述橫軸線限定一平面并垂直于橫軸線的旋轉軸可被回轉驅動地加以安置在運輸室中，而且至少包含一個可依旋轉軸徑向地或者相應平行地移出或縮回的承載臂，在承載臂背向旋轉軸的一端上配有一個工件承接件。
在一個優(yōu)選的結構形式中，所述運輸機構至少有兩個上述的臂。
此外，所述的臂的彼此被對向地移動的部分最好是裝在皮囊中的。
本發(fā)明提出的裝置的構造特別簡單，這是因為采取了下述措施按優(yōu)選的結構形式，工件承接件構成閘室的在運輸室一側的閘閥和/或構成濺射源和運輸室之間的密封件。
通過下述措施來確保以最簡單的方式實現可任意選擇的安裝位置工件承接件具有一個用于工件的定位連接件，最好是一個卡合定位件，對于具有中心孔的圓片形工件，最好是一個能卡合到此中心孔中的彈簧珠卡定機構。
高度緊湊的結構的優(yōu)點特別是和首先是通過下述措施取得的閘室基本上是通過圍繞著前述開口之一的運輸室壁的壁厚來界定的，并且/或者濺射操作基本上是通過圍繞著前述開孔的另一個開口的運輸室壁的壁厚來加以界定的。
此外，按優(yōu)選的結構形式，閘室以及運輸室和/或濺射源的操作室同樣分別配有泵連接件和/或溢流連接件。
在作為濺射鍍膜裝置的一種真空表面處理設備中，連同前述的濺射鍍膜裝置模塊，最好還在這樣一種設備上配裝一個電子模塊，以之用于特別是所述鍍膜裝置的監(jiān)控目的，此外還可配裝另一個運輸機構，它可以從外面操縱閘室。于此，該運輸機構最好特別在一個與鍍膜裝置的運輸室和閘室之間的開口的平面相平行的平面中運動，并且最好還構成鍍膜裝置閘室的外部的閘閥。
以下將根據附圖來說明本發(fā)明。這些附圖是

圖1示意的和簡化的本發(fā)明提出的濺射鍍膜裝置局部切面；圖2圖1所示鍍膜裝置上的一個工件承接盤的局部縱剖面，配有球體卡定機構以用于CD-盤；圖3，3a示意地示明本發(fā)明提出的鍍膜裝置，具有一外部的閘蓋或閘閥的第一種結構；3b圖3a所示鍍膜裝置的頂視圖，具有作為外部運輸機構的裝載臂；圖4與圖3相似的圖示，本發(fā)明提出的鍍膜裝置配有另一種結構的裝載/卸載機構；圖5至圖7在一種配備本發(fā)明提出的鍍膜裝置的相似于圖3所示依本發(fā)明的設備上，裝載/卸載機構的另一種結構形式。
如圖1所示，本發(fā)明提出的濺射鍍膜裝置包含一個運輸室1，該運輸室有兩個沿著通過運輸室1的橫軸線Q而彼此處于對向位置的開孔30和50。在開孔50上用法蘭連接一個濺射源7，它配有示意地示明的周邊掩蔽罩9和一個中心掩蔽罩11以及一個濺射作用面7a。與軸線Q相垂直并與之處于一平面E中的，是所裝配的運輸機構13的旋轉軸A1，它配有一驅動裝置15和一承載座17。在承載座17上安置了兩個套在皮囊中的臂19，這兩個臂是彼此對向的，能相對于開孔30或50退出或返回，它們在其端部各有一個承接盤21以用于具有中心孔的圓片形工件23。
以其相應壁厚環(huán)繞著開孔30的運輸室1的壁25界定出閘室3。朝向運輸室1的閘閥是通過置于相應位置的用于工件23的承接盤21來構成。在工件的結構具有如圖2中所示的中心孔時，在工件承接盤21上配有一個中心心軸30，它具有徑向由彈簧張緊的卡定珠32，這些卡定珠在工件23套上時將工件保持住。代替卡定的保持方式，也可以采用吸力保持方式或磁鐵保持方式。
這樣，本發(fā)明提出的濺射鍍膜裝置可以在空間全方位地進行操作。圖中以虛線表示的是外部的閘室蓋或外部的閘室閥34，它是通過另一個相應設計的不直接屬于本發(fā)明提出的裝置而是屬于本設備的運輸機構構成的，或者是通過專門為此配置的蓋構成的。如從圖2中可以看出的，外部的閘室閥34可以具有一個中心凹口，用于接收或送回工件的心軸30就嚙合在此凹口中，如用箭頭V表示的，在閥34上例如有一個吸力機構將工件吸在該閥上或者將工件釋放。濺射源7用法蘭連接在開孔50上，在開孔50的范圍中，通過運輸室1的壁24或其壁厚來構成濺射操作室。
由于本裝置具有高度緊湊性，特別是由于小體積的閘室3的高度緊湊性，所以CD-鍍膜的周期時間很短，例如在三秒鐘內可以完成同一個工件從裝入閘室3到從閘室3卸出的全過程。
圖中的36表示一個連通閘室的泵/注流連接件，38也表示這樣一個連接件，它是用于運輸室和開口50中濺射鍍膜裝置的操作室5的，在這里還可以附加地設置一個泵/注流連接件，這視情況而定。
在圖3a中示明了剛才述及的濺射鍍膜裝置，在此用圖1中所用的相同標號，只示出運輸機構的驅動機構15、濺射源7及承載件17。根據對圖1所做的說明，對專業(yè)人員來說，圖3a所示濺射鍍膜裝置的構造是一目了然的。外部的閘室閥是通過一個蓋34a構成的，例如可用一氣動驅動裝置40來操縱此蓋。圖3b示明圖3a中Ⅲ-Ⅲ線所看的濺射鍍膜裝置。此外，在圖3b中還示意地示明了裝載臂42，例如用于CD的一個壓力機裝載臂，該裝載臂在完成加壓工序之后，將作為工件23的CD依照回轉運動ω2推入到圖1中所示開口30和圖3a所示閘室蓋34a之間，在這里將圓片形工件交到承接盤21上，并返回，隨后閘室蓋34a將閘室3關閉。
在圖4、5、6和7中分別示明如圖3a所示本發(fā)明提出的濺射鍍膜裝置。本裝置在圖4至7中均以50表示。
如圖4所示，雙臂運輸機構52至少有兩個依其回轉軸A2徑向安置的錯開90°的運輸臂54，這兩個運輸臂可以各自依徑向移出或者返回。回轉軸A2垂直于平面E，如圖1中所示。例如，配有吸力保持機構的承接盤56與運輸臂54相連，它允許由一個直線的輸送器去接收圓片形工件，并將之帶到入閘位置，于此，其時定位在閘對面的運輸盤56最好起著外部的閘閥的作用。在這里，閘裝置50是依水平軸線Q運轉的。
如圖5所示，對專業(yè)人員來說是一目了然的，配置了一個外部的或者另一個運輸機構52a，它也帶有依徑向伸出的臂54和工件承接盤56，它圍繞一個位于平面E中并與圖1所示裝置的軸A2相平行的A3可回轉地運行。在這里，在另一個運輸機構52a上相應定位的工件承接盤56也為裝置50構成外部的閘閥。按圖5所示的結構方案，裝置50是按垂直向下的工作方式配置的。
如圖6所示，外部的運輸機構52b具有與其回轉軸A3相平行的可以移出和縮回的臂54b，這些臂各自帶有相應的工件承接盤56b。軸A3是與本裝置的軸線Q平行的，按圖6所示的結構形式，本裝置是垂直向下地工作的。
在這里，工件承接盤56b在其相應位置上也承擔外部閘閥的功能。
如圖7示意地示明的，外部的運輸機構包含一個活動臂58，其上配有可回轉地安置的工件承接盤60。在這里，工件承接運輸盤60也可構成裝置50的外部閘閥。
如在圖1中以55進一步示明的，按照本發(fā)明提出的設備構造，為本裝置配置了作為專用模塊的監(jiān)控單元。
權利要求
1．用于工圓片形工件的濺射鍍膜裝置，它包含-一個閘室(3)，-一個具有作用面(7a)的濺射源(7)，-一個運輸室(1)，它分別具有連通閘室(3)和濺射源(7)的開口(30,50)，用于運輸或運送工件(23)進入并離開濺射位置，-一個運輸機構(13)，在運輸室(1)中用來在上述開口之間運送工件，其特征在于閘室和濺射源(7)的作用面(7a)，跨過運輸室(1)，沿著相關的橫軸線(Q)彼此處于對峙位置，運輸機構(13)繞與一個與所述橫軸線(Q)限定一平面(E)并與橫軸線(Q)相垂直的回轉軸(A)可以被回轉地安置在運輸室(1)中，而且至少包含一個可依回轉軸(A1)徑向移出及縮回的承載臂(19)，在該承載臂背向回轉軸(A1)的一端上配有一個工件承接件(21)。
2．按照權利要求1中所述的裝置，其特征在于運輸機構(13)至少配有兩個上述的臂(19)。
3．按照權利要求1或2的一項中所述的裝置，其特征在于承載臂(19)的彼此相對地移動的部分是裝在皮囊中的。
4．按照權利要求1至3的一項中所述的裝置，其特征在于工件承接件(21)構成閘室(3)的在運輸室一側的閘閥并且/或者構成濺射源(7)和運輸室(1)之間的密封機構。
5．按照權利要求1至4的一項中所述的裝置，其特征在于工件承接件(21)具有一個用于工件(23)的卡定連接件(32)，在具有中心孔的圓片形工件情況下，最好具有一個卡入該中心孔的彈簧珠卡定機構。
6．按照權利要求1至5的一項中所述的裝置，其特征在于閘室(3)基本上是通過環(huán)繞著開口(30)中的一個開口的真空室壁(25)的壁厚形成的，并且/或濺射操作室(5)基本上是通過環(huán)繞著所述開口中的另一開口(50)的運輸室臂(25)的壁厚形成的。
7．按照權利要求1至6的一項中所述的裝置，其特征在于無論如何，閘室(3)，但還有運輸室(1)和/或濺射源(7)的濺射操作室(5)分別配有泵接頭(36、38)和/或注流接頭。
8．配備有按照權利要求1至7的一項中所述裝置(50)的真空表面處理設備，其特征在于連同所述及的裝置模塊(50)，還配置了一個用于監(jiān)控目的的電子模塊(55)及另一個運輸機構(42,52,58)，該運輸機構是從外面操縱閘室(3)的。
9．按照權利要求8中所述的設備，其特征在于另一運輸機構是可以在一個與在運輸室(1)和閘室(3)之間的開口(30)的平面相平行的平面中移動的。
10．按照權利要求9中所述的設備，其特征在于另一運輸機構構成裝置的閘室(3)的對外閘封閘閥。
全文摘要
用于圓片形工件的濺射鍍膜裝置,它包含:一個閘室(3),一個濺射源(7),一個運輸室(1),一個運輸機構(13),其特征在于:閘室和濺射源(7)的作用面(7a),彼此對峙,運輸機構(13)可以被回轉驅動地安置在運輸室(1)中,而且包含可徑向移出及縮回的承載臂(19),在該承載臂一端有工件承接件(21)。
文檔編號C23C14/34GK1217390SQ9811925
公開日1999年5月26日 申請日期1998年9月14日 優(yōu)先權日1997年9月12日
發(fā)明者R·謝爾特勒 申請人:巴爾策斯有限公司