專(zhuān)利名稱(chēng)：整體式蒸發(fā)源電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
整體式蒸發(fā)源電極涉及真空金屬蒸發(fā)鍍膜工藝及其設(shè)備。
目前真空金屬蒸發(fā)鍍膜的蒸發(fā)源是采用分體式電極，它由電極、夾具、壓板等多部組成，由于分體使得電極內(nèi)、電極與蒸發(fā)舟之間電、熱傳導(dǎo)不良，經(jīng)常至使電極燒壞，并使蒸發(fā)效果變差、鍍層不均勻，出現(xiàn)黑邊、白邊、漏鍍等質(zhì)量問(wèn)題。
本實(shí)用新型的目的是提供一種整體式電極，以徹底解決上述問(wèn)題。
本實(shí)用新型的解決方案是T型圓柱體電極下端垂直鉆有水冷孔，其邊緣攻絲，上部橫切U型蒸發(fā)舟槽。
以下結(jié)合附圖給出說(shuō)明


圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。
其中1－蒸發(fā)舟槽，2－水冷孔，3－攻絲整體式電極選用2＃紫銅，經(jīng)車(chē)鉆、絞、攻絲、銑等工藝成型，加工好的整體式電極裝上絕緣墊，密封圈，放入真空艙，接上電源、水冷管即可工作。
本實(shí)用新型制造、裝配簡(jiǎn)單、選材廣泛、價(jià)格低。導(dǎo)電性能優(yōu)，散熱效果佳，蒸發(fā)效果大為改善，保證了鍍膜質(zhì)量。
權(quán)利要求整體式蒸發(fā)源電極，其特征是T型鍍圓柱電極下端垂直鉆有水冷孔，其邊緣攻絲，上部橫切凵型蒸發(fā)舟槽。
專(zhuān)利摘要整體式蒸發(fā)源電極，涉及真空金屬蒸發(fā)鍍膜工藝及其設(shè)備。目前使用的分體式電極因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，電熱特征差很難在實(shí)際中應(yīng)用。本實(shí)用新型提出的整體式電極為T(mén)形圓柱體，下部鉆有水冷孔，上部橫切有蒸發(fā)舟槽，一體化設(shè)計(jì)，滿足了鍍膜工藝要求，極大延長(zhǎng)電極壽命，具有成本低、效果好等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/24GK2122147SQ92203469
公開(kāi)日1992年11月18日 申請(qǐng)日期1992年2月26日 優(yōu)先權(quán)日1992年2月26日
發(fā)明者龔德明, 何峰 申請(qǐng)人:華新水泥廠