本技術(shù)屬于晶圓制造加工，具體涉及一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓片封裝打磨是半導(dǎo)體制造過程中的一道重要工序。晶圓片封裝打磨的質(zhì)量對芯片的性能、集成度和可靠性等方面都有著重要影響。隨著芯片越來越薄、集成度越來越高，對晶圓研磨技術(shù)的要求也不斷提高，需要不斷改進(jìn)工藝以解決出現(xiàn)的新問題；比如傳統(tǒng)的打磨方式在將拋光液輸送到晶圓片上后，是通過拋光液自己的流動性進(jìn)行流散的，使得加工過的拋光液和為加工的拋光液會在一定程度上混合，影響正常的晶圓片的加工研磨；針對上述問題，提出了一種晶圓片封裝用高效的研磨拋光設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決背景技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供了一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備；能夠在拋光液被加工過后快速進(jìn)行排液，使得廢液和拋光液的混合量減少。

2、本實用新型提供的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，包括工作臺，所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液存儲腔和廢液收集腔，所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)，所述工作臺上圍繞拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)設(shè)有晶圓片研磨組件；所述晶圓片研磨組件包括位于工作臺內(nèi)的電機(jī)一，所述電機(jī)一的輸出端固定安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤內(nèi)設(shè)有空腔，所述空腔內(nèi)固定安裝有電動液壓桿一，所述電動液壓桿一的活動端上固定安裝有控制盤，所述控制盤上設(shè)有支撐板，所述支撐板的一端延伸出轉(zhuǎn)盤外，所述工作臺上設(shè)有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口位置設(shè)有濾網(wǎng)，所述工作臺的內(nèi)頂面對應(yīng)轉(zhuǎn)盤設(shè)有連接管，所述連接管上連通有若干歧管，所述歧管的另一端連通有轉(zhuǎn)接管，所述轉(zhuǎn)接管上均勻連通有若干扁平狀出風(fēng)口，所述工作臺的內(nèi)頂面固定安裝有電動液壓桿二，所述電動液壓桿二的活動端上固定安裝有電機(jī)二，所述電機(jī)二的輸出端上固定安裝有研磨盤。

3、進(jìn)一步地，所述拋光液輸送機(jī)構(gòu)包括位于拋光液存儲腔內(nèi)的水泵，所述工作臺內(nèi)固定安裝有管路，所述管路上連通有鵝頸管，所述鵝頸管上連通有噴頭，所述水泵與管路相互連通。

4、進(jìn)一步地，所述廢液收集機(jī)構(gòu)包括位于工作臺內(nèi)且圍繞轉(zhuǎn)盤設(shè)置的弧形凹槽，所述工作臺上對應(yīng)弧形凹槽設(shè)有通孔，所述通孔與廢液收集腔相互連通。

5、進(jìn)一步地，所述工作臺的兩側(cè)對應(yīng)拋光液存儲腔和廢液收集腔分別設(shè)有補水管和排水管。

6、進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)盤上均勻設(shè)有若干吸盤。

7、進(jìn)一步地，所述工作臺上對應(yīng)電機(jī)一設(shè)有梯形臺。

8、進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)接管與工作臺的內(nèi)壁呈45°。

9、本實用新型的有益效果：

10、本實用新型通過設(shè)置的風(fēng)機(jī)，通過快速的氣流，將經(jīng)過研磨的拋光液從晶圓片上快速吹下，類似刮刀的效果，使得經(jīng)過吹氣的晶圓片的廢液能夠快速被排出，減少了與拋光液的混合的比例，使得拋光的效果和效率更高；另外，通過廢液收集機(jī)構(gòu)的設(shè)計，也使得工作臺的內(nèi)的環(huán)境更加整潔，緩解了污水流散的問題。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，包括工作臺，其特征在于：所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液存儲腔和廢液收集腔，所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)，所述工作臺上圍繞拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)設(shè)有晶圓片研磨組件；所述晶圓片研磨組件包括位于工作臺內(nèi)的電機(jī)一，所述電機(jī)一的輸出端固定安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤內(nèi)設(shè)有空腔，所述空腔內(nèi)固定安裝有電動液壓桿一，所述電動液壓桿一的活動端上固定安裝有控制盤，所述控制盤上設(shè)有支撐板，所述支撐板的一端延伸出轉(zhuǎn)盤外，所述工作臺上設(shè)有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口位置設(shè)有濾網(wǎng)，所述工作臺的內(nèi)頂面對應(yīng)轉(zhuǎn)盤設(shè)有連接管，所述連接管上連通有若干歧管，所述歧管的另一端連通有轉(zhuǎn)接管，所述轉(zhuǎn)接管上均勻連通有若干扁平狀出風(fēng)口，所述工作臺的內(nèi)頂面固定安裝有電動液壓桿二，所述電動液壓桿二的活動端上固定安裝有電機(jī)二，所述電機(jī)二的輸出端上固定安裝有研磨盤。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述拋光液輸送機(jī)構(gòu)包括位于拋光液存儲腔內(nèi)的水泵，所述工作臺內(nèi)固定安裝有管路，所述管路上連通有鵝頸管，所述鵝頸管上連通有噴頭，所述水泵與管路相互連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述廢液收集機(jī)構(gòu)包括位于工作臺內(nèi)且圍繞轉(zhuǎn)盤設(shè)置的弧形凹槽，所述工作臺上對應(yīng)弧形凹槽設(shè)有通孔，所述通孔與廢液收集腔相互連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述工作臺的兩側(cè)對應(yīng)拋光液存儲腔和廢液收集腔分別設(shè)有補水管和排水管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述轉(zhuǎn)盤上均勻設(shè)有若干吸盤。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述工作臺上對應(yīng)電機(jī)一設(shè)有梯形臺。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備，其特征在于：所述轉(zhuǎn)接管與工作臺的內(nèi)壁呈45°。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于晶圓制造加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓片封裝用研磨拋光設(shè)備。包括工作臺，所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液存儲腔和廢液收集腔，所述工作臺內(nèi)設(shè)有拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)，所述工作臺上圍繞拋光液輸送機(jī)構(gòu)和廢液收集機(jī)構(gòu)設(shè)有晶圓片研磨組件。本技術(shù)通過設(shè)置的風(fēng)機(jī)，通過快速的氣流，將經(jīng)過研磨的拋光液從晶圓片上快速吹下，類似刮刀的效果，使得經(jīng)過吹氣的晶圓片的廢液能夠快速被排出，減少了與拋光液的混合的比例，使得拋光的效果和效率更高；另外，通過廢液收集機(jī)構(gòu)的設(shè)計，也使得工作臺的內(nèi)的環(huán)境更加整潔，緩解了污水流散的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：黎陽,柴能
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新疆鴻升照明科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240701
技術(shù)公布日：2024/12/19