本發(fā)明涉及細(xì)絲熱場(chǎng)爐領(lǐng)域，尤其涉及一種細(xì)絲熱場(chǎng)爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、pe工藝全稱pecvd，其目的是在硅片表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理是通過將產(chǎn)品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用細(xì)絲熱場(chǎng)爐（pecvd反應(yīng)爐）內(nèi)部的加熱體來將產(chǎn)品升溫至預(yù)定溫度，然后通入適量反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)過一些列化學(xué)變化和等離子反應(yīng)，在產(chǎn)品表面成型固態(tài)薄膜，而在高溫條件下，利用物質(zhì)從高濃度向低濃度運(yùn)動(dòng)的特性，將原子以一定可控性參入半導(dǎo)體中。產(chǎn)品到達(dá)預(yù)定溫度后類磷、硼等元素在產(chǎn)品表面進(jìn)行擴(kuò)散處理，而現(xiàn)有的pe工藝多基于臥式熱場(chǎng)爐進(jìn)行操作，其中，在臥式熱場(chǎng)爐使用的過程中，會(huì)因?yàn)楣杵谶M(jìn)入爐中的時(shí)候，硅片會(huì)吸熱溫度使溫場(chǎng)浮動(dòng)，以使得臥式熱場(chǎng)爐需要耗費(fèi)一定的時(shí)間來將臥式熱場(chǎng)爐內(nèi)部的溫度重新恢復(fù)至原本的溫度，從而需要對(duì)電熱絲的分布間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，以通過調(diào)節(jié)的電熱絲來使溫度可以在短時(shí)間內(nèi)通過密集的加熱絲進(jìn)行快速升溫，使?fàn)t內(nèi)溫場(chǎng)達(dá)到工藝需求，但現(xiàn)有電熱絲間距調(diào)節(jié)往往僅能在加熱之前進(jìn)行調(diào)節(jié)，往往需要提前計(jì)算對(duì)應(yīng)的溫度變化曲線才可實(shí)現(xiàn)對(duì)電熱絲間距的調(diào)節(jié)，同時(shí)在硅片進(jìn)入時(shí)開啟的爐腔溫度也會(huì)受到影響，進(jìn)而導(dǎo)致整個(gè)熱場(chǎng)爐的工作效率受到影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有細(xì)絲熱場(chǎng)爐在使用的過程中，會(huì)因?yàn)榘殡S硅片的進(jìn)入會(huì)影響到熱場(chǎng)爐內(nèi)部的溫度變化，而為了避免調(diào)節(jié)溫度所消耗的時(shí)間則需要布設(shè)間距不同的電熱絲結(jié)構(gòu)，但現(xiàn)有的電熱絲布設(shè)往往需要再停機(jī)狀態(tài)進(jìn)行，從而在一定程度上會(huì)影響到整個(gè)熱場(chǎng)爐工作效率的問題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種細(xì)絲熱場(chǎng)爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，包括有縮放組件；所述縮放組件包括有第一嚙合轉(zhuǎn)輪；所述第一嚙合轉(zhuǎn)輪的下端設(shè)置有縮放架；所述縮放架的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有多個(gè)縮放條；所述縮放組件上安裝有多個(gè)連接組件；所述連接組件包括有頂滑架；所述頂滑架與縮放條通過螺栓連接；所述頂滑架的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有多個(gè)頂滑塊；所述頂滑塊的下端安裝有電熱細(xì)絲；所述電熱細(xì)絲的下端安裝有連絲板；所述頂滑塊上固接有調(diào)節(jié)片；所述縮放組件的上端設(shè)置有頂調(diào)組件；所述頂調(diào)組件包括有安裝架；所述安裝架上安裝有第二液壓推桿；所述第二液壓推桿的一側(cè)設(shè)置有定位支架；所述定位支架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有推桿塊；所述推桿塊的前后端均設(shè)置有一個(gè)滑動(dòng)塊；所述滑動(dòng)塊與推桿塊設(shè)置為滑動(dòng)連接；所述滑動(dòng)塊與定位支架設(shè)置為滑動(dòng)連接；所述滑動(dòng)塊的一側(cè)安裝有夾緊爪。

3、作為優(yōu)選，所述定位支架的內(nèi)壁上開設(shè)有滑動(dòng)槽；所述安裝架上滑動(dòng)連接有導(dǎo)向桿；所述導(dǎo)向桿的外側(cè)設(shè)置有連接條；所述連接條上安裝有第一液壓推桿；所述導(dǎo)向桿的一側(cè)安裝有推桿片；所述夾緊爪上固接有抵擋片。

4、作為優(yōu)選，所述縮放條的上端安裝有限位桿；所述限位桿的外側(cè)設(shè)置有第一嚙合轉(zhuǎn)輪；所述第一嚙合轉(zhuǎn)輪上開設(shè)有多個(gè)縮放槽；所述縮放條的外側(cè)固接有多個(gè)連接滑塊；所述連接滑塊的外側(cè)滑動(dòng)連接有連接滑軌；所述連接滑軌與縮放架通過螺栓連接；后端部一側(cè)的所述連接滑軌上安裝有電機(jī)板；所述電機(jī)板的下端安裝有第四電機(jī)；所述第四電機(jī)的上端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二嚙合轉(zhuǎn)輪；所述縮放架的上端安裝有固定軸；所述固定軸與第一嚙合轉(zhuǎn)輪設(shè)置為轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5、作為優(yōu)選，所述頂調(diào)組件的上端安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)組件；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括有定位滑塊；所述定位滑塊與推桿片通過螺栓連接；所述定位滑塊的上端安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)套；所述轉(zhuǎn)動(dòng)套的外側(cè)安裝有被動(dòng)輪；所述被動(dòng)輪的下端固接有定位環(huán)；所述定位環(huán)的下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)定位滑板；所述定位滑板的上端安裝有絲桿滑塊；所述絲桿滑塊上滑動(dòng)連接有絲桿滑軌。

6、作為優(yōu)選，所述絲桿滑軌的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有絲桿；且一側(cè)端絲桿的前端通過聯(lián)軸器轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二電機(jī)；兩個(gè)絲桿的后端均安裝有一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)輪；所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)帶；一側(cè)端所述定位滑板的上端安裝有電機(jī)架；所述電機(jī)架上安裝有第三電機(jī)；所述第三電機(jī)的下端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有主動(dòng)輪；所述定位滑板的前后端均安裝有一個(gè)固定片；所述固定片上安裝有安裝條。

7、作為優(yōu)選，所述連接組件的外側(cè)設(shè)置有電熱絲組件；所述電熱絲組件包括有限位滑塊；所述限位滑塊與連絲板通過螺栓連接；所述限位滑塊的外側(cè)設(shè)置有連接內(nèi)環(huán)；所述連接內(nèi)環(huán)上開設(shè)有限位滑槽；所述限位滑塊上固接有固定頭。

8、作為優(yōu)選，所述固定頭的內(nèi)側(cè)安裝有連接桿；所述連接桿的下端固接有連接片；所述連接片的下端安裝有連接磁塊；所述連接桿的外側(cè)固接有防脫環(huán)；所述防脫環(huán)的下端設(shè)置有連接弧條。

9、作為優(yōu)選，所述電熱絲組件的外側(cè)設(shè)置有外罩組件；所述外罩組件包括有固定外罩；所述固定外罩的外側(cè)通過手工電弧焊焊接有固定底座；所述固定底座的內(nèi)側(cè)安裝有貼靠環(huán)；所述貼靠環(huán)的上端通過氬弧焊焊接有嚙合環(huán)；所述固定外罩的內(nèi)側(cè)設(shè)置有固定環(huán)板；所述固定環(huán)板的下端安裝有多個(gè)連接座。

10、作為優(yōu)選，所述外罩組件的內(nèi)側(cè)設(shè)置有底調(diào)組件；所述底調(diào)組件包括有行進(jìn)輪；所述行進(jìn)輪與貼靠環(huán)設(shè)置為滑動(dòng)連接；所述行進(jìn)輪的上端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有同步輪；所述行進(jìn)輪的下端設(shè)置有固定條。

11、作為優(yōu)選，所述固定條的下端安裝有第一電機(jī)；所述第一電機(jī)與行進(jìn)輪通過轉(zhuǎn)軸設(shè)置為轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述固定條上安裝有電動(dòng)推桿；所述電動(dòng)推桿的上端安裝有推動(dòng)片；所述推動(dòng)片的上端安裝有連接磁環(huán)。

12、本發(fā)明的有益效果：

13、1、通過設(shè)置特殊的縮放式調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)與上下調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)相結(jié)合，并使得電熱絲在加熱的過程中，能夠通過調(diào)節(jié)相鄰加熱絲的間距與整個(gè)加熱絲的長(zhǎng)度來使得電熱絲在使用的過程中，滿足硅片所產(chǎn)生的熱度變化與電熱絲的防下榻處理，從而可以在一定程度上解決現(xiàn)有細(xì)絲熱場(chǎng)爐在使用的過程中，會(huì)因?yàn)榘殡S硅片的進(jìn)入會(huì)影響到熱場(chǎng)爐內(nèi)部的溫度變化，而為了避免調(diào)節(jié)溫度所消耗的時(shí)間則需要布設(shè)間距不同的電熱絲結(jié)構(gòu)，但現(xiàn)有的電熱絲布設(shè)往往需要再停機(jī)狀態(tài)進(jìn)行，從而在一定程度上會(huì)影響到整個(gè)熱場(chǎng)爐工作效率的問題；

14、2、通過第四電機(jī)驅(qū)動(dòng)第二嚙合轉(zhuǎn)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過轉(zhuǎn)動(dòng)的第二嚙合轉(zhuǎn)輪來帶動(dòng)第一嚙合轉(zhuǎn)輪進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過轉(zhuǎn)動(dòng)的第一嚙合轉(zhuǎn)輪來帶動(dòng)多個(gè)限位桿在縮放槽的內(nèi)部進(jìn)行滑動(dòng)，從而迫使安裝在限位桿下端的縮放條可以在縮放架的內(nèi)部進(jìn)行滑動(dòng)，并通過滑動(dòng)的縮放架來帶動(dòng)多個(gè)連接組件同步進(jìn)行移動(dòng)，以調(diào)節(jié)電熱細(xì)絲距離待加熱物體的距離，以實(shí)現(xiàn)對(duì)該熱場(chǎng)爐工作效率的調(diào)節(jié)，進(jìn)而可以在一定程度上提高整個(gè)熱場(chǎng)爐的使用便利性；

15、3、通過驅(qū)動(dòng)第一電機(jī)來驅(qū)動(dòng)行進(jìn)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，并通過轉(zhuǎn)動(dòng)的行進(jìn)輪來同步帶動(dòng)同步輪在嚙合環(huán)的內(nèi)側(cè)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)在貼靠環(huán)下端部開設(shè)的“t”型環(huán)槽來保證固定條可以貼靠在貼靠環(huán)上滑動(dòng)，從而使得安裝在固定條上的電動(dòng)推桿可以同步進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，再通過電動(dòng)推桿驅(qū)動(dòng)推動(dòng)片進(jìn)行移動(dòng)，能夠使得推動(dòng)片上的連接磁環(huán)進(jìn)行同步調(diào)節(jié)，并通過電動(dòng)推桿來控制連接磁環(huán)進(jìn)行移動(dòng)，以使得連接磁環(huán)可以磁性連接連接磁塊，以使得磁性連接的連接磁塊與連接磁環(huán)可以帶動(dòng)電熱細(xì)絲的底端部進(jìn)行移動(dòng)，同時(shí)也可以通過第三電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以通過主動(dòng)輪來帶動(dòng)被動(dòng)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過轉(zhuǎn)動(dòng)的被動(dòng)輪來同步帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)套進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，以通過轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)套來同步帶動(dòng)整個(gè)頂調(diào)組件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過頂調(diào)組件的呈90°轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)電熱細(xì)絲的頂端定位調(diào)節(jié)，同時(shí)也可以通過第一液壓推桿驅(qū)動(dòng)安裝架在導(dǎo)向桿上滑動(dòng)，并使得安裝架帶動(dòng)第二液壓推桿進(jìn)行移動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)至待調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)片處時(shí)，可以通過第二液壓推桿驅(qū)動(dòng)推桿塊推動(dòng)兩個(gè)滑動(dòng)塊在定位支架上滑動(dòng)，以使得安裝在兩個(gè)定位支架上的夾緊爪可以夾緊調(diào)節(jié)片，再通過相互配合的絲桿滑塊與絲桿滑軌來調(diào)節(jié)兩個(gè)定位滑板的位置，以通過定位滑板來帶動(dòng)整個(gè)頂調(diào)組件進(jìn)行移動(dòng)，從而使得兩個(gè)夾緊爪可以被調(diào)節(jié)至對(duì)應(yīng)方向上的不同調(diào)節(jié)片處，以實(shí)現(xiàn)對(duì)電熱細(xì)絲的頂端調(diào)節(jié)，進(jìn)而可以在一定程度上通過調(diào)節(jié)電熱細(xì)絲的位置來實(shí)現(xiàn)對(duì)電熱細(xì)絲的加熱性能調(diào)節(jié)。