1.一種一體化真空鍍膜機(jī),包括真空室體、擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵以及電氣柜,其特征在于:包括四方形框架,該方形框架包括底架及頂架,底架上從左至右順序安裝有真空室體、擴(kuò)散泵、機(jī)械泵以及電氣柜,所述真空室體通過真空閥門連接擴(kuò)散泵,所述頂架上焊有垂直于頂架的側(cè)架,所述側(cè)架上安裝有羅茨泵,且羅茨泵位于機(jī)械泵上方,且所述羅茨泵的排氣口與機(jī)械泵的入氣口正對(duì)并通過豎直的金屬管連接,所述羅茨泵的進(jìn)氣管與真空閥門和擴(kuò)散泵的排氣管連接,所述真空室體的半圓球形門位于框架的左外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種一體化真空鍍膜機(jī),其特征在于:所述電氣柜內(nèi)設(shè)有報(bào)警指示燈和緊急停止開關(guān)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種一體化真空鍍膜機(jī),其特征在于:所述擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵均通過螺釘安裝于焊于方形框架上的安裝板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種一體化真空鍍膜機(jī),其特征在于:所述進(jìn)氣管平行于頂架上方設(shè)置,所述排氣管位于擴(kuò)散泵與羅茨泵間且垂直于進(jìn)氣管。