技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開一種硅片倒小弧度圓角工裝，由給進(jìn)組件和夾具組件兩部分組成，所述夾具組件的頂部夾持硅片，底部與研磨機連接并在所述研磨機的驅(qū)動下帶動所述硅片高速旋轉(zhuǎn)；所述給進(jìn)組件包括工作臺，安裝在所述工作臺上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具為成型刀具，所述成型刀具在所述工作臺的控制下向所述夾具組件接近，磨削所述夾具組件端部的硅片。本實用新型區(qū)別于傳統(tǒng)的倒角機，由夾具組件和給進(jìn)組件兩部分組成，將夾具組件與研磨機的組件連接，帶動硅片工件高速旋轉(zhuǎn)，同時由給進(jìn)組件的工作臺給進(jìn)使成型刀具對準(zhǔn)工件邊緣部位進(jìn)行磨削，從而達(dá)到倒角的目的，能夠?qū)崿F(xiàn)硅片R1mm以下的圓角的倒角。

技術(shù)研發(fā)人員：龐亮;陸海鳳;劉杰;夏立慶;史衍斌;陳龍祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中鍺科技有限公司
文檔號碼：201720152288
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.20
技術(shù)公布日：2017.10.27