本實用新型涉及硅片加工領(lǐng)域，具體是涉及一種硅片倒小弧度圓角工裝。

背景技術(shù)：

光學(xué)冷加工的倒角工藝目前通常是采用碗型模具研磨方式在四軸倒角機上進行，但是這種倒角方式只能倒平角，對于需求倒圓角的工藝不能滿足。而市場上常見的倒圓角機又只能倒R2mm以上的圓角，對于R1mm以下的圓角沒有加工能力。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明目的：本實用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種應(yīng)用于硅片倒小弧度圓角的工裝。

技術(shù)方案：本實用新型所述硅片倒小弧度圓角工裝，由給進組件和夾具組件兩部分組成，所述夾具組件的頂部夾持硅片，底部與研磨機連接并在所述研磨機的驅(qū)動下帶動所述硅片高速旋轉(zhuǎn)；所述給進組件包括工作臺，安裝在所述工作臺上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具為成型刀具，所述成型刀具在所述工作臺的控制下向所述夾具組件接近，磨削所述夾具組件端部的硅片。

本實用新型進一步優(yōu)選地技術(shù)方案為，所述夾具組件包括主軸接手、彈夾和彈夾收緊帽，所述彈夾的頂部夾持所述硅片，所述主軸接手套設(shè)在所述彈夾的外側(cè)，所述彈夾收緊帽套設(shè)在所述主軸接手的外側(cè)，收緊所述彈夾；所述彈夾的底部通過螺栓與穿過所述主軸接手的研磨機的主軸連接，在所述研磨機的主軸的驅(qū)動下自由旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，所述給進組件的工作臺為十字工作臺。

優(yōu)選地，所述給進組件的刀架為旋轉(zhuǎn)刀架，所述旋轉(zhuǎn)刀架上固定有相同或不同半徑的成型刀具。

優(yōu)選地，所述成型刀具為圓弧形或圓形。

有益效果：（1）本實用新型區(qū)別于傳統(tǒng)的倒角機，由夾具組件和給進組件兩部分組成，將夾具組件與研磨機的組件連接，帶動硅片工件高速旋轉(zhuǎn)，同時由給進組件的工作臺給進使成型刀具對準工件邊緣部位進行磨削，從而達到倒角的目的，能夠?qū)崿F(xiàn)硅片R1mm以下的圓角的倒角；同時本實用新型中使用成型刀具磨削，適用范圍廣，對難加工的小尺寸圓角具有良好的加工能力。

（2）本實用新型中采用十字工作臺給進，具有平穩(wěn)及精度高等優(yōu)點；采用旋轉(zhuǎn)刀架，可以裝同樣半徑的刀具也可以裝不同半徑的刀具，可根據(jù)生產(chǎn)需要調(diào)整，提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實用新型所述硅片倒小弧度圓角工裝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型所述硅片倒小弧度圓角工裝的俯視圖；

圖3為本實用新型所述的夾具組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1-主軸接手、2-彈夾、3-彈夾收緊帽、4-螺栓、5-硅片、6-研磨機的主軸、7-十字工作臺、8-旋轉(zhuǎn)刀架、9-成型刀具。

具體實施方式

下面通過附圖對本實用新型技術(shù)方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于所述實施例。

實施例：一種硅片倒小弧度圓角工裝，由給進組件和夾具組件兩部分組成。

夾具組件包括主軸接手1、彈夾2和彈夾收緊帽3，彈夾2的頂部夾持硅片5，主軸接手1套設(shè)在彈夾2的外側(cè)，彈夾收緊帽3套設(shè)在主軸接手1的外側(cè)，收緊彈夾2；彈夾2的底部通過螺栓4與穿過主軸接手1的研磨機的主軸6連接，在研磨機的主軸6的驅(qū)動下自由旋轉(zhuǎn)。

給進組件包括十字工作臺7，安裝在十字工作臺7上的四聯(lián)裝旋轉(zhuǎn)刀架8，以及固定在旋轉(zhuǎn)刀架8上的四個相同或不同半徑的成型刀具9，成型刀具9為圓弧形或圓形，成型刀具9在十字工作臺7的控制下向夾具組件接近，磨削夾具組件端部的硅片5。

如上所述，盡管參照特定的優(yōu)選實施例已經(jīng)表示和表述了本實用新型，但其不得解釋為對本實用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實用新型的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節(jié)上作出各種變化。