技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種耐BOE腐蝕的金屬掩膜制備方法，特別是在石英晶體上鍍制耐BOE腐蝕的金屬掩膜層的制備方法。本發(fā)明具體包括清洗步驟和鍍膜步驟。本發(fā)明的顯著效果是：①實現(xiàn)了用單層Cr/Au掩膜層進行耐BOE腐蝕工藝；②解決了現(xiàn)有Cr/Au掩膜層腐蝕后出現(xiàn)表面鉆蝕，鼓包，甚至脫落等問題；③單層Cr/Au掩膜層轉(zhuǎn)移光刻圖形精度高，可以控制在1um以內(nèi)；④制備工藝過程簡單，易于控制，制備成本低廉，適合批量生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：馬日紅;畢小偉;梁德春;馬躍飛;劉福民
受保護的技術(shù)使用者：北京航天控制儀器研究所
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.31
技術(shù)公布日：2017.10.27