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燒結(jié)體和非晶膜的制作方法

文檔序號:11510976閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結(jié)
本發(fā)明涉及燒結(jié)體和非晶膜。本發(fā)明的課題在于提供能夠得到能夠保持良好的可見光透射率和導電性的透明導電膜、尤其是低折射率的非晶膜的燒結(jié)體。這種薄膜的透射率高且機械特性優(yōu)良,因此可用于顯示器的透明導電膜、光盤的保護膜。本發(fā)明的目的在于由此提高光器件的特性、降低設備成本、大幅改善成膜的特性。

技術研發(fā)人員:奈良淳史
受保護的技術使用者:捷客斯金屬株式會社
技術研發(fā)日:2013.12.24
技術公布日:2017.10.17
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