本發(fā)明屬于等離子化學(xué)氣相沉積
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體涉及到一種耐電擊穿涂層的制備方法。
背景技術(shù)：
：濕氣是對pcb(印制板組裝件)電路板最普遍、最具破壞性的主要因素。過多的濕氣會大幅降低導(dǎo)體間的絕緣抵抗性、加速高速分解、降低q值、及腐蝕導(dǎo)體。而電子電器設(shè)備在濺水、潑水、浸水以及水下環(huán)境中使用更易發(fā)生短路及腐蝕短路而失效。聚合物涂層由于經(jīng)濟(jì)、易涂裝、適用范圍廣等特點(diǎn)常用于材料表面的防護(hù)，可以賦予材料良好的物理、化學(xué)耐久性?；诰酆衔锿繉拥淖韪粜裕湓陔娮与娖?、電路板表面形成的保護(hù)膜可有效地隔離線路板，并可保護(hù)電路在水環(huán)境下免遭侵蝕、破壞，從而提高線路板的可靠性，增加其安全系數(shù)，并保證其使用壽命，被用作防水涂層。敷形涂覆(conformalcoating)是將特定材料涂覆到pcb上，形成與被涂物體外形保持一致的絕緣保護(hù)層的工藝過程，是一種常用的電路板防水方法可有效地隔離線路板，并可保護(hù)電路免遭惡劣環(huán)境的侵蝕、破壞。敷形涂層制備過程中也存在：液相法中溶劑容易對電路板器件造成損傷；熱固化涂層，高溫容易造成器件損壞；光固化涂層難以做到密閉的器件內(nèi)部。美國unioncarbideco.開發(fā)應(yīng)用了一種新型敷形涂層材料，派瑞林涂層(專利)，它是一種對二甲苯的聚合物，具有低水、氣體滲透性、高屏障效果能夠達(dá)到防潮、防水、防銹、抗酸堿腐蝕的作用。研究發(fā)現(xiàn)聚對二甲苯是在真空狀態(tài)下沉積產(chǎn)生，可以應(yīng)用在液態(tài)涂料所不敢涉及的領(lǐng)域如高頻電路、極弱電流系統(tǒng)的保護(hù)上。聚合物薄膜涂層厚度是影響聚對二甲苯氣相沉積敷形防護(hù)失效主要原因，印制電路板組件聚合物薄膜涂層3～7微米厚度易發(fā)生局部銹蝕失效，在不影響高頻介電損耗情況下涂層厚度應(yīng)≥30微米。派瑞林涂層制備原料成本高、涂層制備條件苛刻(高溫、高真空度要求)、成膜速率低，難以廣泛應(yīng)用。此外，厚涂層易導(dǎo)致散熱差、信號阻隔、涂層缺陷增多等問題。等離子體化學(xué)氣相沉積(plasmachemicalvapordeposition,pcvd)是一種用等離子體激活反應(yīng)氣體，促進(jìn)在基體表面或近表面空間進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子體化學(xué)氣相沉積法涂層具有(1)是干式工藝，生成薄膜均勻無針孔。(2)等離子體聚合膜的耐溶劑性、耐化學(xué)腐蝕性、耐熱性、耐磨損性能等化學(xué)、物理性質(zhì)穩(wěn)定。(3)等離子體聚合膜與基體黏接性良好。(4)在凹凸極不規(guī)則的基材表面也可制成均一薄膜。(5)涂層制備溫度低，可在常溫條件下進(jìn)行，有效避免對溫度敏感器件的損傷。(6)等離子體工藝不僅可以制備厚度為微米級的涂層而且可以制備超薄的納米級涂層。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題提供一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，通過引入帶有多官能團(tuán)交聯(lián)結(jié)構(gòu)的其他單體組分而引入額外的交聯(lián)點(diǎn)以形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。等離子體輝光放電時，低溫等離子體將單體組分中能量較高的活性基團(tuán)打斷形成活性點(diǎn)，被引入的額外活性點(diǎn)在等離子環(huán)境下相互交聯(lián)聚合，形成致密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：(1)將基材置于等離子體室的反應(yīng)腔體內(nèi)，對反應(yīng)腔體連續(xù)抽真空，將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到10-200毫托，通入惰性氣體或氮?dú)猓?2)通入單體蒸汽到真空度為30-300毫托，開啟等離子體放電，進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，在基材表面制備防水耐電擊穿涂層；所述單體蒸汽成分為：至少一種單官能度不飽和氟碳樹脂和至少一種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，所述單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30-50％；(3)停止等離子體放電，停止通入單體蒸汽，持續(xù)抽真空，保持反應(yīng)腔體真空度為10-200毫托1-5min后通入大氣至一個大氣壓，然后取出基材即可。所述步驟(1)中基材為固體材料，所述固體材料為電子部件或電器部件。且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx1-ipx8所述的環(huán)境使用。國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx1-ipx8所述的環(huán)境為：ipx1級:可以消除垂直落下水滴的有害影響；ipx2級:對與垂直方向在15度以內(nèi)落下的水滴有防護(hù)作用；ipx3級:可以消除與垂直方向在60度的噴霧狀水滴的有害影響；ipx4級:可以消除從不同方向飛濺水滴的有害影響；ipx5級:可以消除對各方向噴嘴噴射水流的有害影響；ipx6級:可以消除對各方向噴嘴強(qiáng)力噴射水流的有害影響；ipx7級:頂部距離水面0.15—1米，連續(xù)30分鐘，性能不受影響，不漏水；ipx8級:頂部距離水面1.5—30米，連續(xù)30分鐘，性能不受影響，不漏水。所述步驟(1)中等離子體室的容積為50-1000l，等離子體室的溫度控制在30～60℃；等離子體在此溫度下放電利于單體的聚合。通入惰性氣體或氮?dú)獾牧髁繛?～300sccm，所述惰性氣體為氬氣或氦氣中的一種，或氬氣和氦氣的混合物。惰性氣體或氮?dú)獾哪康脑谟讷@得穩(wěn)定的等離子體環(huán)境。所述步驟(2)中：通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓10-200毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為10-1000μl/min；所述單體為至少一種單官能度不飽和氟碳樹脂和至少一種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，所述單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30-50％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂包括：3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟己基)乙基甲基丙烯酸酯、2-(全氟十二烷基)乙基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯、1h,1h,2h,2h-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、(2h-全氟丙基)-2-丙烯酸酯、(全氟環(huán)己基)甲基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔、1-乙炔基-3,5-二氟苯或4-乙炔基三氟甲苯；該單官能度不飽和氟碳樹脂具有以下優(yōu)點(diǎn)：氟碳樹脂以牢固的c-f鍵為骨架，同其他樹脂相比，其耐熱性、耐化學(xué)品性、耐寒性、低溫柔韌性、耐候性和電性能等均較好，此外還具有不黏附性、不濕潤性。故氟碳樹脂涂層特別適合用于材料表面的防護(hù)，不僅可以賦予材料良好的物理、化學(xué)耐久性而且可以賦予材料優(yōu)異的防水、防油功能，可以廣泛應(yīng)用于分離、光學(xué)、醫(yī)用、電子、精密器械及高檔衣物等的涂裝領(lǐng)域。所述多官能度不飽和烴類衍生物包括：乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二縮三丙二醇二丙烯酸酯、二乙烯苯、聚乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二丙烯酸乙二醇酯、二乙二醇二乙烯基醚或二丙烯酸新戊二醇酯。該多官能度不飽和烴類衍生物具有多個交聯(lián)點(diǎn)，加入后可以增強(qiáng)涂層網(wǎng)絡(luò)的防護(hù)性能。所述步驟(2)中通入第一單體蒸汽之前進(jìn)行輝光放電對基材進(jìn)行轟擊預(yù)處理，輝光放電的功率為2～500w，放電時間為300～600s。該轟擊預(yù)處理可以清理基材表面的雜質(zhì)，同時可以活化基材的表面，利于涂層的沉積，提高涂層與基材的結(jié)合力。所述步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為2-500w，持續(xù)放電時間為600-7200秒，所述等離子體放電方式為射頻放電、微波放電、中頻放電或電火花放電。射頻等離子體是利用高頻高壓使電極周圍的空氣電離而產(chǎn)生的等離子體。微波法是利用微波的能量激發(fā)等離子體，具有能量利用效率高的優(yōu)點(diǎn)，同時由于無電極放電，等離子體純凈，是目前高質(zhì)量、高速率、大面積制備的優(yōu)異方法。所述等離子體射頻放電過程中控制等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖或連續(xù)輸出，等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出時，脈寬為2μs-1ms、重復(fù)頻率為20hz-10khz。連續(xù)式等離子體射頻放電沉積的過程等離子體對沉積膜有一定的刻蝕，脈沖射頻放電相對連續(xù)式給予一定的沉積時間有利于涂層的做厚、致密。本發(fā)明的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：1、多官能團(tuán)交聯(lián)結(jié)構(gòu)的引入使得涂層形成致密的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，在保障疏水性的同時提高了涂層薄膜的耐水下通電時間和耐電擊穿性能一般等離子體聚合選用單官能度單體，得到是具有一定交聯(lián)結(jié)構(gòu)涂層。交聯(lián)結(jié)構(gòu)是由于單體在等離子體輝光放電時隨機(jī)被打斷形成的眾多活性點(diǎn)通過交互連接的方式而形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。但是這種交聯(lián)結(jié)構(gòu)較為疏松，含有較多的線性成分，耐溶液滲透、溶解能力不足。本發(fā)明通過引入帶有多官能團(tuán)交聯(lián)結(jié)構(gòu)的其他單體組分而引入額外的交聯(lián)點(diǎn)以形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。等離子體輝光放電時，低溫等離子體將單體組分中能量較高的活性基團(tuán)打斷形成活性點(diǎn)，被引入的額外活性點(diǎn)在等離子環(huán)境下相互交聯(lián)聚合，形成致密網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。相比于疏松線性成分較多的涂層結(jié)構(gòu)來說，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)具有更優(yōu)的致密性，能夠有效提高薄膜的耐水下通電時間和耐電擊穿性能。鍍膜基體材料在等離子環(huán)境下，表面被活化得到眾多活性位點(diǎn)，這些活性位點(diǎn)與經(jīng)等離子體激發(fā)的單體材料的活性自由基以較強(qiáng)的化學(xué)鍵相互結(jié)合，發(fā)生形式和種類繁多的基元反應(yīng)，使得基體材料的納米薄膜具有優(yōu)異的結(jié)合力和機(jī)械強(qiáng)度。通過控制不同單體配合方式，同時調(diào)控不同的工藝條件，以實(shí)現(xiàn)對材料表面的疏水性、拒水性和長時間耐水下通電性的有效調(diào)控，得到具有特殊微觀結(jié)構(gòu)的致密薄膜，耐水下通電時間和耐電擊穿性能分別提高了30-55％。2、通過引入交聯(lián)結(jié)構(gòu)的其他單體，控制單體配比及工藝參數(shù)，獲得復(fù)合、漸變結(jié)構(gòu)的聚合物納米涂層，既提保證了薄膜的疏水性，又提高了電子產(chǎn)品耐腐蝕和耐水下通電的性能。日常生活中的電子設(shè)備極易受液體侵蝕而損壞，在使用的過程中很容易暴露于液體環(huán)境中，如掉進(jìn)和濺入液體，很容易導(dǎo)致電子元器件的短路，造成電子設(shè)備不可挽回的損害。本發(fā)明專利的鍍膜方法大大增加了納米涂層在溶劑及腐蝕性環(huán)境的使用壽命，提高了產(chǎn)品的保護(hù)效果。主要應(yīng)用于以下產(chǎn)品：1、便攜設(shè)備鍵盤：便攜式鍵盤具有小而輕的特點(diǎn)，常用于計算機(jī)，手機(jī)等設(shè)備。其能便于用戶在旅程中辦公。但是當(dāng)其遇到常見液體的污染，如盛水茶杯的意外翻倒，雨水、汗液的浸透，鍵盤內(nèi)部容易短路，進(jìn)而損壞。使用該類納米涂層對其進(jìn)行鍍膜后，當(dāng)能夠保障鍵盤表面易清理，遇水后功能完好，使得鍵盤能夠適應(yīng)更加嚴(yán)峻的環(huán)境。2、led顯示屏：led顯示屏有商品宣傳，店面裝飾，照明，警示等用途。其部分用途需要面對雨水以或者多粉塵的惡劣環(huán)境，如下雨天時，商場露天led廣告屏幕，路面警示燈，生產(chǎn)車間的led顯示屏控制面板，這些惡劣環(huán)境導(dǎo)致led屏幕失靈，而且容易積灰，不易清洗，使用該納米涂層后，能夠有效解決上述問題。3、智能指紋鎖：指紋鎖是智能鎖具，它集合了計算機(jī)信息技術(shù)、電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)和現(xiàn)代五金工藝，被廣泛應(yīng)用于公安刑偵及司法領(lǐng)域。但是其遇水后，其內(nèi)部線路易短路，難以修復(fù)，需要暴力拆鎖，使用該涂層后，能夠避免這一問題。4、助聽器、藍(lán)牙耳機(jī)：助聽器與藍(lán)牙耳機(jī)均沒有通訊線，使用該涂層后，用戶可以在一定時間內(nèi)在有水環(huán)境下使用，如洗澡，下雨天，設(shè)備均不會因?yàn)橛晁櫛粨p壞。5、部分傳感器：部分傳感器需要在液體環(huán)境中工作，如水壓、油壓傳感器，以及水下作業(yè)設(shè)備中用到的傳感器，以及工作環(huán)境經(jīng)常遇水的傳感器，這些傳感器在使用該涂層后，能夠保障不會因?yàn)橐后w入侵機(jī)械設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)而導(dǎo)致傳感器失靈。6、大多數(shù)3c產(chǎn)品：如移動電話、筆記本、psp等。7、其他需要防水的設(shè)備：包括需要在潮濕環(huán)境中作業(yè)，或者可能遇到常見液體潑灑等意外情況，會影響內(nèi)部弱電線路正常運(yùn)行的設(shè)備。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明并不局限于具體實(shí)施例。實(shí)施例1一種防水耐電擊穿涂層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：(1)將基材置于等離子體室的反應(yīng)腔體內(nèi)，對反應(yīng)腔體連續(xù)抽真空，將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到10毫托，通入惰性氣體；步驟(1)中基材為固體材料，所述固體材料為電子部件-電路板。且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級ipx1所述的環(huán)境使用。步驟(1)中等離子體室的容積為50l，等離子體室的溫度控制在30℃；通入惰性氣體的流量為5sccm，所述惰性氣體為氬氣。(2)通入單體蒸汽到真空度為30毫托，開啟等離子體放電，進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，在基材表面制備防水耐電擊穿涂層；步驟(2)中：通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓10毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為10μl/min；單體蒸汽成分為：一種單官能度不飽和氟碳樹脂和一種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：2-全氟辛基丙烯酸乙酯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：二丙烯酸乙二醇酯；步驟(2)中通入第一單體蒸汽之前進(jìn)行輝光放電對基材進(jìn)行轟擊預(yù)處理。步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為2w，持續(xù)放電時間為7200秒，所述等離子體放電方式為射頻放電，等離子體射頻放電過程中控制等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出，等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出時，脈寬為2μs、重復(fù)頻率為20hz。(3)停止等離子體放電，停止通入單體蒸汽，持續(xù)抽真空，保持反應(yīng)腔體真空度為10毫托1min后通入大氣至一個大氣壓，然后取出基材即可。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間>10min0min0minipx1垂直滴水試驗(yàn)10min電子部件運(yùn)行正常。實(shí)施例2本實(shí)施例與實(shí)施例1基本的工藝步驟相同，不同的工藝參數(shù)如下：1、步驟(1)將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到40毫托，通入惰性氣體；基材為固體材料，所述固體材料為電器部件—電視機(jī)外殼，且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級ipx3所述的環(huán)境使用。等離子體室的容積為260l，等離子體室的溫度控制在40℃；通入惰性氣體的流量為60sccm，所述惰性氣體為氦氣。2、步驟(2)通入單體蒸汽到真空度為80毫托，開啟等離子體放電；通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓40毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為90μl/min；單體蒸汽成分為：一種單官能度不飽和氟碳樹脂和兩種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為35％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：二縮三丙二醇二丙烯酸酯和二乙烯苯；步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為25w，持續(xù)放電時間為5800秒，所述等離子體放電方式為射頻放電，等離子體射頻放電過程中控制等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出，等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出時，脈寬為0.1ms、重復(fù)頻率為400hz。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間50min10min0minipx3噴頭式淋水試驗(yàn)10min電器設(shè)備運(yùn)行正常。3、步驟(3)保持反應(yīng)腔體真空度為70毫托2min后通入大氣至一個大氣壓。實(shí)施例3本實(shí)施例與實(shí)施例1基本的工藝步驟相同，不同的工藝參數(shù)如下：1、步驟(1)將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到100毫托，通入惰性氣體；基材為固體材料，所述固體材料為電子部件-手機(jī)，且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx4所述的環(huán)境使用。等離子體室的容積為380l，等離子體室的溫度控制在45℃；通入惰性氣體的流量為130sccm，所述惰性氣體為氦氣與氬氣的混合物。2、步驟(2)通入單體蒸汽到真空度為130毫托，開啟等離子體放電；通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓100毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為180μl/min；單體蒸汽成分為：兩種單官能度不飽和氟碳樹脂和三種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為40％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：(全氟環(huán)己基)甲基丙烯酸酯和1-乙炔基-3,5-二氟苯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二乙烯苯和1,6-己二醇二丙烯酸酯；步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為100w，持續(xù)放電時間為4500秒，所述等離子體放電方式為射頻放電，等離子體射頻放電過程中控制等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出，等離子體射頻的能量輸出方式為脈沖輸出時，脈寬為1ms、重復(fù)頻率為10khz。3、步驟(3)保持反應(yīng)腔體真空度為130毫托3min后通入大氣至一個大氣壓。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間>110min50min5minipx4噴頭式濺水試驗(yàn)10min電子部件工作正常。實(shí)施例4本實(shí)施例與實(shí)施例1基本的工藝步驟相同，不同的工藝參數(shù)如下：1、步驟(1)將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到150毫托，通入氮?dú)?；基材為固體材料，所述固體材料為電器部件，且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx6所述的環(huán)境使用。等離子體室的容積為560l，等離子體室的溫度控制在50℃；通入氮?dú)獾牧髁繛?20sccm。2、步驟(2)通入單體蒸汽到真空度為220毫托，開啟等離子體放電；通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓150毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為320μl/min；單體蒸汽成分為：三種單官能度不飽和氟碳樹脂和一種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為45％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基甲基丙烯酸酯、2-全氟辛基丙烯酸乙酯和4-乙炔基三氟甲苯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：二丙烯酸乙二醇酯；步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為240w，持續(xù)放電時間為3200秒，所述等離子體放電方式為微波放電。3、步驟(3)保持反應(yīng)腔體真空度為160毫托4min后通入大氣至一個大氣壓。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間200min90min30minipx6強(qiáng)烈噴水試驗(yàn)10min電器部件工作正常。實(shí)施例5本實(shí)施例與實(shí)施例1基本的工藝步驟相同，不同的工藝參數(shù)如下：1、步驟(1)將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到200毫托，通入惰性氣體；基材為固體材料，所述固體材料為電器部件，且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx7所述的環(huán)境使用。等離子體室的容積為780l，等離子體室的溫度控制在55℃；通入惰性氣體的流量為250sccm，惰性氣體為氦氣。2、步驟(2)通入單體蒸汽到真空度為260毫托，開啟等離子體放電；通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓200毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為580μl/min；單體蒸汽成分為：四種單官能度不飽和氟碳樹脂和兩種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為48％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯、1h,1h,2h,2h-全氟辛醇丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔和1-乙炔基-3,5-二氟苯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：二縮三丙二醇二丙烯酸酯和二乙烯苯；步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為380w，持續(xù)放電時間為1600秒，所述等離子體放電方式為中頻放電。3、步驟(3)保持反應(yīng)腔體真空度為200毫托5min后通入大氣至一個大氣壓。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間>200min120min40～45minipx7水下1m浸水試驗(yàn)30min電器部件工作正常。實(shí)施例6本實(shí)施例與實(shí)施例1基本的工藝步驟相同，不同的工藝參數(shù)如下：1、步驟(1)將反應(yīng)腔體內(nèi)的真空度抽到200毫托，通入惰性氣體；基材為固體材料，所述固體材料為電子部件-傳感器，且所述基材表面制備防水耐電擊穿涂層后其任一界面可暴露于國際工業(yè)防水等級標(biāo)準(zhǔn)ipx8所述的環(huán)境使用。等離子體室的容積為1000l，等離子體室的溫度控制在60℃；通入惰性氣體的流量為300sccm，惰性氣體為氬氣。2、步驟(2)通入單體蒸汽到真空度為300毫托，開啟等離子體放電；通入單體蒸汽為將單體通過加料泵進(jìn)行霧化、揮發(fā)，由低壓200毫托引入反應(yīng)腔體，所述通入單體蒸汽的流量為1000μl/min；單體蒸汽成分為：五種單官能度不飽和氟碳樹脂和三種多官能度不飽和烴類衍生物的混合物，單體蒸汽中多官能度不飽和烴類衍生物所占的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為50％；所述單官能度不飽和氟碳樹脂為：3-(全氟-5-甲基己基)-2-羥基丙基甲基丙烯酸酯、1h,1h,2h,2h-全氟辛醇丙烯酸酯、2-(全氟丁基)乙基丙烯酸酯、3,3,3-三氟-1-丙炔和1-乙炔基-3,5-二氟苯；所述多官能度不飽和烴類衍生物為：乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二乙烯苯和二丙烯酸新戊二醇酯；步驟(2)中開啟等離子體放電的功率為500w，持續(xù)放電時間為600秒，所述等離子體放電方式為電火花放電。3、步驟(3)保持反應(yīng)腔體真空度為200毫托5min后通入大氣至一個大氣壓。耐水下通電性，水下浸泡實(shí)驗(yàn)結(jié)果：下表為本實(shí)施例制備的涂層在不同電壓下電流達(dá)到1ma所用時間測試：電壓3.8v5v12.5v時間>>200min>>120min>100minipx8水下2m潛水2h電器部件工作正常。當(dāng)前第1頁12