技術特征：

技術總結(jié)
于此披露靜電卡盤組件和具有所述靜電卡盤組件的處理腔室。在一個實施方式中，提供一種靜電卡盤組件，靜電卡盤組件包括具有外邊緣的主體，外邊緣連接前側(cè)表面和背側(cè)表面。主體具有設置在主體中的夾持電極。晶片間隔掩模形成在主體的前側(cè)表面上。晶片間隔掩模具有多個細長特征結(jié)構。細長特征結(jié)構具有從中心到外邊緣徑向?qū)R的長軸。晶片間隔掩模具有限定在細長特征結(jié)構之間的多個徑向?qū)R的氣體通道。

技術研發(fā)人員：戈文達·瑞澤;羅伯特·T·海拉哈拉
受保護的技術使用者：應用材料公司
技術研發(fā)日：2016.01.06
技術公布日：2017.09.26