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高效型爐管碎片清理裝置的制作方法

文檔序號:12581822閱讀:386來源:國知局
高效型爐管碎片清理裝置的制作方法

本實用新型涉及晶體硅太陽能電池制作設備技術領域,尤其是涉及一種高效型爐管碎片清理裝置。



背景技術:

太陽能晶片在PECVD工序為晶體硅太陽能生產線中等離子體增強化學氣相沉積工序,是以石墨舟為載體將去磷硅玻璃后的硅片放入石英爐管中,在400℃~450℃下進行沉積一層氮化硅的過程。目前,生產線一般使用管式設備,管式PECVD設備中的石英管為臥式爐管,長度約1.8m~2.2m,內有長約20mm的熱電偶探測儀。太陽能晶片在石英爐管中易產生碎片,若不及時清理,碎片易壓在石英爐管內熱電偶探頭上導致熱電偶測溫不準確,碎片還容易與石英管中的石墨舟接觸,導致石墨舟短路。目前清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內碎片,該辦法既耽誤生產進程和產量,又存在污染石英爐管的風險。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型要解決的技術問題是:為了解決清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內碎片,該辦法既耽誤生產進程和產量,又存在污染石英爐管的風險的問題,現(xiàn)提供了一種高效型爐管碎片清理裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種高效型爐管碎片清理裝置,包括支撐座、導桿、推桿和限位板,所述支撐座下表面沿其長度方向滑動設置有滑塊,所述滑塊上轉動設置有撥片,所述支撐座沿其長度方向的一端設有擋板,所述擋板上開設有與所述導桿相匹配的通孔,所述導桿的一端固定連接在所述滑塊上,所述導桿的另一端滑動設置在所述通孔內,所述推桿的一端與所述撥片鉸接,所述限位板轉動設置在導桿上,所述擋板位于所述滑塊與所述限位板之間,所述推桿沿其長度方向開設有第一卡槽及第二卡槽,所述限位板上開設有與所述第一卡槽相匹配的第一卡口及與所述第二卡槽相匹配的第二卡口,當限位板上的第一卡槽卡設在第一卡口時,此時撥片與支撐座相互保持水平狀態(tài),當限位板上的第二卡槽卡設在第二卡口時,此時撥片與支撐座相互保持垂直狀態(tài)。在放入爐管內前,限位板上的第一卡槽卡設在推桿的第一卡口內的,撥片與支撐座相互保持水平狀態(tài),推動限位板將撥片滑動支撐座遠離擋板的一端,在使用時,限位板上的第二卡槽卡設在推桿的第二卡口內的,撥片與支撐座相互保持垂直狀態(tài),拉動限位板,使得滑塊在沿支撐座長度方向滑動,從而使得撥片帶動爐管內的碎片,通過控制限位板可以反復的對爐管內的碎片進行清理。

進一步地,所述支撐座的下表面沿其長度方向設有導向塊,所述導向塊上沿所述支撐座長度方向開設有與滑塊相匹配的滑槽,所述滑塊滑動設置在滑槽內。通過滑塊與導向塊上的滑槽配合使得滑塊實現(xiàn)滑動。

進一步地,所述滑塊上設有用于限位撥片的定位塊,所述定位塊位于所述撥片靠近推桿的一端,當定位塊與所述支撐座接觸時,此時支撐座與撥片相互保持垂直狀態(tài)。通過定位塊能夠快速通過推桿調節(jié)支撐座與撥片垂直。

本實用新型的有益效果是:本實用新型高效型爐管碎片清理裝置在使用時,在放入爐管內前,限位板上的第一卡槽卡設在推桿的第一卡口內的,撥片與支撐座相互保持水平狀態(tài),推動限位板將撥片滑動支撐座遠離擋板的一端,在使用時,限位板上的第二卡槽卡設在推桿的第二卡口內的,撥片與支撐座相互保持垂直狀態(tài),拉動限位板,使得滑塊在沿支撐座長度方向滑動,從而使得撥片帶動爐管內的碎片,通過控制限位板可以反復的對爐管內的碎片進行清理,本實用新型操作簡單方便,能夠在支撐座拿出前通過控制限位板,從而控制撥片能夠反復的對爐管內的碎片進行清理,避免了清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫,用普通吸塵器清理石英爐管內碎片,該辦法既耽誤生產進程和產量,又存在污染石英爐管的風險的問題。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型高效型爐管碎片清理裝置未使用時的主視圖;

圖2是本實用新型高效型爐管碎片清理裝置未使用時的左視圖;

圖3是本實用新型高效型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的主視圖;

圖4是本實用新型高效型爐管碎片清理裝置在撥片撥碎片時的左視圖;

圖5是本實用新型高效型爐管碎片清理裝置在使用時的結構狀態(tài)圖。

圖中:1、支撐座,2、導桿,3、推桿,301、第一卡口,302、第二卡口,4、限位板,401、第一卡槽,402、第二卡槽,5、滑塊,6、撥片,7、導向塊,701、滑槽、8、定位塊,9、擋板。

具體實施方式

現(xiàn)在結合附圖對本實用新型做進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本實用新型的基本結構,因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

實施例

如圖1、2、3、4和5所示,一種高效型爐管碎片清理裝置,包括支撐座1、導桿2、推桿3和限位板4,所述支撐座1下表面沿其長度方向滑動設置有滑塊5,所述滑塊5上轉動設置有撥片6,所述支撐座1沿其長度方向的一端設有擋板9,所述擋板9上開設有與所述導桿2相匹配的通孔,所述導桿2的一端固定連接在所述滑塊5上,所述導桿2的另一端滑動設置在所述通孔內,所述推桿3的一端與所述撥片6鉸接,所述限位板4轉動設置在導桿2上,所述擋板9位于所述滑塊5與所述限位板4之間,所述推桿3沿其長度方向開設有第一卡槽401及第二卡槽402,所述限位板4上開設有與所述第一卡槽401相匹配的第一卡口301及與所述第二卡槽402相匹配的第二卡口302,當限位板4上的第一卡槽401卡設在第一卡口301時,此時撥片6與支撐座1相互保持水平狀態(tài),當限位板4上的第二卡槽402卡設在第二卡口302時,此時撥片6與支撐座1相互保持垂直狀態(tài)。

所述支撐座1的下表面沿其長度方向設有導向塊7,所述導向塊7上沿所述支撐座1長度方向開設有與滑塊5相匹配的滑槽701,所述滑塊5滑動設置在滑槽701內。

所述滑塊5上設有用于限位撥片6的定位塊8,所述定位塊8位于所述撥片6靠近推桿3的一端,當定位塊8與所述支撐座1接觸時,此時支撐座1與撥片6相互保持垂直狀態(tài)。

上述高效型爐管碎片清理裝置在使用時,支撐座1上表面放置石英舟,再在石英舟上盛放了硅片,具體操作步驟如下:在支撐座1放入到爐管內時,首先轉動導桿2上的限位板4,使得撥片6與支撐座1保持水平狀態(tài),推動限位板4,導桿2在擋板9的通孔內滑動,滑塊5在導向塊7的滑槽701內滑動,并帶動撥片6向遠離擋板9的方向移動,調節(jié)至撥片6所需位置即可;當支撐座1上的硅片處理完后,此時限位板4上的第一卡口301卡設在第一卡槽401內,通過旋轉限位板4使得第一卡口301脫離第一卡槽401,并通過控制推桿3轉動,使得支撐座1與撥片6保持垂直狀態(tài),在定位塊8的作用下快速定位,轉動限位板4使得第二卡口302對準第二卡槽402卡入,拉動限位板4帶動滑塊5在滑槽701內滑動,使得撥片6逐漸向擋板9靠攏,從而對爐管內的碎片進行清理,通過再次調節(jié)限位板4使得撥片6與支撐座1保持水平,推動限位板4遠離擋板9,重復上述動作可以反復對爐管內的碎片進行清理,方便快捷。

上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示,通過上述的說明內容,相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內,進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容,必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。

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