本實用新型涉及PECVD設(shè)備領(lǐng)域，更具體的說涉及一種用于制備氮化硅膜的PECVD設(shè)備。

背景技術(shù)：

目前，PECVD設(shè)備一般采用管式PECVD系統(tǒng)，反應(yīng)氣體采用硅烷和氫氣，管式PECAD系統(tǒng)的氣流從石英管的一端引入， 這樣會造成氣體分布不均勻。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種用于制備氮化硅膜的PECVD設(shè)備，能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體進行充分的混合，得到穩(wěn)定的氣體混合比，從而得到穩(wěn)定折射率的氮化硅膜。

本實用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的： 一種用于制備氮化硅膜的PECVD設(shè)備，具有石英反應(yīng)管、向所述石英反應(yīng)管通氣的通氣管，還包括和所述通氣管連接的氣體混合器，所述氣體混合器包括第一混合腔、第二混合腔、設(shè)在所述第一混合腔與所述第二混合腔之間的連接腔、設(shè)在所述連接腔中的用于混合的攪拌裝置、設(shè)在所述第一混合腔上的第一進氣口以及第二進氣口。

用戶將氣體從第一進氣口以及第二進氣口通入，經(jīng)過第一混合腔、攪拌裝置以及第二混合腔三次混合作用，氣體混合均勻，為后續(xù)得到穩(wěn)定折射率的氮化硅膜提供保障。

優(yōu)選的，所述第一混合腔中固定設(shè)有豎向設(shè)置的固定桿，所述固定桿通過多個固定支架與第一混合腔的腔壁連接，所述固定桿上設(shè)置有多個自下而上呈螺旋線分布的用于混合的折流板。折流板能夠增加混合效果。

優(yōu)選的，所述連接腔包括和所述第一混合腔連接的呈筒狀的豎直腔壁以及口徑逐漸變小的錐形腔壁。錐形腔壁一定程度上增加了氣體流動的路徑，能夠延長氣體在連接腔的時間，增加混合效果，此外，從錐形腔壁中出來的氣體斜向進入到第二混合腔并且與第二混合腔的腔壁相撞，相對于氣體直線進入第二混合腔中這一情況而言，增加混合的機率。

優(yōu)選的，所述攪拌裝置包括旋轉(zhuǎn)軸套、多個均布在所述旋轉(zhuǎn)軸套上的攪拌葉片、設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸套內(nèi)部的軸承、和所述軸承相連的固定軸。所述攪拌裝置對氣體的攪拌作用，進一步使得氣體混合均勻。

優(yōu)選的，所述第一進氣口以及第二進氣口上均設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。

綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：

能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體進行充分的混合，得到穩(wěn)定的氣體混合比，從而得到穩(wěn)定折射率的氮化硅膜。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的攪拌裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。

本具體實施例僅僅是對本實用新型的解釋，其并不是對本實用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對本實施例做出沒有創(chuàng)造性貢獻的修改，但只要在本實用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護。

實施例：如圖1、圖2所示，一種用于制備氮化硅膜的PECVD設(shè)備，具有石英反應(yīng)管1、向所述石英反應(yīng)管1通氣的通氣管2，還包括和所述通氣管2連接的氣體混合器3，所述氣體混合器3包括第一混合腔31、第二混合腔32、設(shè)在所述第一混合腔31與所述第二混合腔32之間的連接腔33、設(shè)在所述連接腔33中的用于混合的攪拌裝置34、設(shè)在所述第一混合腔31上的第一進氣口35以及第二進氣口36，所述第一混合腔31、第二混合腔32以及連接腔33三者一體成型。所述第一進氣口35以及第二進氣口36上均設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥。第一進氣口35通入硅烷，第二進氣口36通入氫氣，通過控制流量調(diào)節(jié)閥，設(shè)定硅烷與氫氣的比例，可以得到不同折射率的氮化硅膜。

用戶將氣體從第一進氣口35以及第二進氣口36通入，經(jīng)過第一混合腔31、攪拌裝置34以及第二混合腔32三次混合作用，氣體混合均勻，為后續(xù)得到穩(wěn)定折射率的氮化硅膜提供保障。

優(yōu)選的，所述第一混合腔31中固定設(shè)有豎向設(shè)置的固定桿311，所述固定桿311通過多個固定支架與第一混合腔31的腔壁連接，固定桿的頂端與第一混合腔31的頂端連接，可焊接，所述固定桿311上設(shè)置有多個自下而上呈螺旋線分布的用于混合的折流板312。折流板312能夠增加混合效果，呈螺旋線分布更加有利于氣體混合均勻。

優(yōu)選的，所述連接腔33包括和所述第一混合腔31連接的呈筒狀的豎直腔壁331以及口徑逐漸變小的錐形腔壁332。錐形腔壁332一定程度上增加了氣體流動的路徑，能夠延長氣體在連接腔33的時間，增加混合效果，此外，從錐形腔壁332中出來的氣體斜向進入到第二混合腔32并且與第二混合腔32的腔壁相撞，相對于直線進入第二混合腔32中，增加混合的機率。

優(yōu)選的，所述攪拌裝置34包括旋轉(zhuǎn)軸套341、多個均布在所述旋轉(zhuǎn)軸套341上的攪拌葉片342、設(shè)在所述轉(zhuǎn)軸套341內(nèi)部的軸承343、和所述軸承343相連的固定軸344，安裝時，固定軸344通過多個連接桿和豎直腔壁331實現(xiàn)固定連接，旋轉(zhuǎn)軸套341與軸承343過盈配合連接，固定軸344和軸承343過盈配合連接。當(dāng)氣體從第一混合腔31進入到連接腔33中，氣體壓迫攪拌葉片342，使得攪拌葉片342旋轉(zhuǎn)，攪拌葉片342旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)對氣體的攪拌，所述攪拌裝置34對氣體的攪拌作用，進一步使得氣體混合均勻。