技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種研磨頭結(jié)構(gòu)及化學(xué)機(jī)械研磨裝置，在外殼的上表面設(shè)置有多個導(dǎo)流孔，在所述外殼內(nèi)設(shè)置有多個通道，在所述外殼的側(cè)壁上設(shè)置有多個通道出口；所述通道導(dǎo)通所述導(dǎo)流孔和所述通道出口；在對化學(xué)機(jī)械研磨裝置進(jìn)行清洗之后，殘留在研磨頭外殼上的水能夠通過導(dǎo)流孔及通道流至研磨墊上，經(jīng)過處理之后再開始進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨，從而避免了在研磨過程中外殼上的水流到研磨墊上對研磨液造成影響，從而提高了研磨的效果；并且，由于外殼上的水能夠及時的排出，從而防止在研磨過程中外殼上水的流出帶來的結(jié)晶或顆粒，減少了由此產(chǎn)生的劃傷等不良。

技術(shù)研發(fā)人員：馮慶安;張連伯;馬冬;邱云光
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號碼：201621248207
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.15
技術(shù)公布日：2017.05.31