技術總結
本發(fā)明提供一種高純度鉭釕合金靶材及其制備方法,將市售的純度為99.9%的釕粉和鉭粉分別經真空高溫升華提純至純度大于99.995%的釕粉和鉭粉,經球磨混合后,經冷等靜壓壓成塊狀,真空燒結熔煉,得到高純度鉭釕合金錠,然后高純度鉭釕合金錠經橫向熱鍛,退火處理,熱軋,冷軋,結晶退火處理,得到高純度鉭釕合金靶材。本發(fā)明的釕粉和鉭粉的提純工藝簡單,提純純度高,深度去除Ca、Cr、Co、Cu、Cd、Cl、Fe、K、Li、Mg、Na、Ni,制備的靶材成分均勻、純度高、晶粒細小,氧含量低,面積大,厚度薄。
技術研發(fā)人員:李風浪;李舒歆
受保護的技術使用者:東莞市聯(lián)洲知識產權運營管理有限公司
文檔號碼:201611049621
技術研發(fā)日:2016.11.25
技術公布日:2017.05.31