1.一種高純度鉭釕合金靶材，其特征在于：所述高純度鉭釕合金靶材的原料為純度大于99.995％的金屬釕粉和純度大于99.995％的金屬鉭粉，所述純度大于99.995％的金屬釕粉經(jīng)真空高溫升華提純得到，所述純度大于99.995％的金屬鉭粉經(jīng)真空高溫升華提純得到，所述真空高溫升華的真空度為10-2～10-4Pa，溫度為1100-1600℃，時(shí)間為12-24h。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純度鉭釕合金靶材，其特征在于：所述提純的原料為市售的純度為99.9％的金屬釕粉和市售的純度為99.9％的金屬鉭粉。
3.一種高純度鉭釕合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)將純度為99.9％的金屬釕粉加入鉭容器中，在真空條件下高溫升華，取出得到純度大于99.995％的金屬釕粉；
(2)將純度為99.9％的金屬鉭粉加入鉭容器中，在真空條件下高溫升華，取出得到純度大于99.995％的金屬鉭粉；
(3)將步驟(1)制備的金屬釕粉與步驟(2)制備的金屬鉭粉混合，在真空球磨罐中混合均勻后，進(jìn)行冷等靜壓壓成塊狀，真空燒結(jié)熔煉，得到高純度鉭釕合金錠；
(4)將步驟(3)制備的高純度鉭釕合金錠經(jīng)橫向熱鍛，退火處理，橫向墩粗，退火處理，熱軋，冷軋，結(jié)晶退火處理，得到高純度鉭釕合金靶材。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中，金屬釕粉中氣體元素C含量不大于60ppm，O含量不大于50ppm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中，金屬鉭粉中氣體元素C含量不大于60ppm，O含量不大于50ppm。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(1)或者步驟(2)中，真空條件的真空度為10-2～10-4Pa，高溫升華的溫度為1100-1600℃，高溫升華的時(shí)間為12-24h。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中，金屬釕粉與金屬鉭粉的原子數(shù)百分比為30-65at％：35-70at％。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中，真空燒結(jié)熔煉中真空度為0.3-4Pa，溫度為3000℃，時(shí)間為3-4h。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(4)中，熱軋的溫度為800-1000℃，冷軋的溫度為10-30℃，結(jié)晶退火處理的溫度為800-900℃。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種的高純度鉭釕合金靶材制備方法，其特征在于：所述步驟(4)中，高純度鉭釕合金靶材為圓餅狀，高純度鉭釕合金靶材的直徑不小于100mm，厚度為9-10mm。